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本实用新型公开了单晶硅片加工技术领域的一种单晶硅片退火冷却箱,包括退火箱,退火箱的内部开设有开口向上的退火腔,退火腔的底部转动连接有转动柱,转动柱的顶端设置有放置组件,转动柱的底端贯穿退火箱并固定连接有电机,退火箱的两侧均固定安装有制冷机,...该专利属于扬州永翔新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州永翔新能源科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了单晶硅片加工技术领域的一种单晶硅片退火冷却箱,包括退火箱,退火箱的内部开设有开口向上的退火腔,退火腔的底部转动连接有转动柱,转动柱的顶端设置有放置组件,转动柱的底端贯穿退火箱并固定连接有电机,退火箱的两侧均固定安装有制冷机,...