一种单晶硅片干燥用能均匀烘干的烘箱制造技术

本实用新型专利技术公开了单晶硅片干燥技术领域的一种单晶硅片干燥用能均匀烘干的烘箱，包括烘箱主体，烘箱主体前侧壁铰接安装设有箱门，烘箱主体内设有三组放置板，三组放置板顶部均开设有通风孔，烘箱主体内右侧壁设有固定箱，固定箱内设有移动机构，固定箱左侧壁滑动连接设有喷气盘，喷气盘左侧壁设有多组喷气嘴，喷气盘连接设有进风管，烘箱主体顶部设有热风机，热风机出风口连接设有输风管，输风管一端与进风管一端相连接，本实用在移动机构的作用下能够带动喷气盘和喷气嘴上下往复移动，从而能够对每层放置板上的单晶硅片进行均匀烘干，提高烘干效果。提高烘干效果。提高烘干效果。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片干燥用能均匀烘干的烘箱


[0001]本技术涉及单晶硅片干燥
，具体为一种单晶硅片干燥用能均匀烘干的烘箱。

技术介绍

[0002]单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上，用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，单晶硅片在生产完成后，需要对单晶硅片进行清洗，然后再进行干燥封装，现在对单晶硅片进行烘干的时候使用烘箱，烘箱内设有放置板，将单晶硅片平铺在放置板上，然后对单晶硅片进行烘干，但是现有的烘箱的热风口的位置大多是固定的，因为烘箱内的放置板是有几层的，所以不能够均匀的每层放置板上的单晶硅片进行烘干，因此，需要一种单晶硅片干燥用能均匀烘干的烘箱。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单晶硅片干燥用能均匀烘干的烘箱，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅片干燥用能均匀烘干的烘箱，包括烘箱主体，烘箱主体前侧壁铰接安装设有箱门，所述烘箱主体内设有三组放置板，三组放置板顶部均开设有通风孔，烘箱主体内右侧壁设有固定箱，固定箱内设有移动机构，固定箱左侧壁滑动连接设有喷气盘，喷气盘左侧壁设有多组喷气嘴，所述喷气盘连接设有进风管，所述烘箱主体顶部设有热风机，热风机出风口连接设有输风管，输风管一端与进风管一端相连接。r/>[0005]进一步的，所述移动机构包括固定箱内设有的丝杆，丝杆两端分别与固定箱内上下侧壁设有的轴承相连接，丝杆外壁套接设有滑块，滑块左侧壁与喷气盘右侧壁相连接，丝杆外壁套接安装设有从动锥齿轮，固定箱内设有与从动锥齿轮相啮合的主动锥齿轮，所述烘箱主体右侧壁设有电机，电机输出端贯穿烘箱主体右侧壁和固定箱右侧壁与主动锥齿轮右侧壁相连接。
[0006]进一步的，固定箱内右侧壁开设有导向槽，所述滑块右侧壁设有与导向槽相匹配的导向块。
[0007]进一步的，所述固定箱左侧壁开设有滑槽，滑块在滑槽内滑动连接。
[0008]进一步的，多组喷气嘴在喷气盘左侧壁呈线性阵列分布。
[0009]进一步的，三组放置板顶部右侧均开设有与开口，开口与固定箱、喷气盘和喷气嘴相匹配。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本实用在移动机构的作用下能够带动喷气盘和喷气嘴上下往复移动，从而能够对每层放置板上的单晶硅片进行均匀烘干，提
高烘干效果。
附图说明
[0011]图1为本技术结构示意图；
[0012]图2为本技术结构主视图；
[0013]图3为本技术固定箱内部结构示意图。
[0014]图中：1、烘箱主体；2、放置板；3、通风孔；4、固定箱；5、移动机构；50、丝杆；51、滑块；52、导向块；53、导向槽；54、电机；55、主动锥齿轮；56、从动锥齿轮；6、开口；7、喷气盘；8、喷气嘴；9、进风管；10、输风管；11、热风机；12、箱门。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]实施例1：
[0017]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种单晶硅片干燥用能均匀烘干的烘箱，包括烘箱主体1，烘箱主体1前侧壁铰接安装设有箱门12，烘箱主体1内设有三组放置板2，三组放置板2顶部右侧均开设有与开口6，开口6与固定箱4、喷气盘7和喷气嘴8相匹配，从而喷气盘7和喷气嘴8能够上下往复移动，三组放置板2顶部均开设有通风孔3，烘箱主体1内右侧壁设有固定箱4，固定箱4内设有移动机构5，固定箱4左侧壁滑动连接设有喷气盘7，喷气盘7左侧壁设有多组喷气嘴8，多组喷气嘴8在喷气盘7左侧壁呈线性阵列分布，喷气盘7连接设有进风管9，烘箱主体1顶部设有热风机11，热风机11出风口连接设有输风管10，输风管10一端与进风管9一端相连接。
[0018]请参阅图3，移动机构5包括固定箱4内设有的丝杆50，丝杆50两端分别与固定箱4内上下侧壁设有的轴承相连接，丝杆50外壁套接设有滑块51，固定箱4左侧壁开设有滑槽，滑块51在滑槽内滑动连接，在滑槽的作用下使得滑块51上下移动更加稳定，固定箱4内右侧壁开设有导向槽53，滑块51右侧壁设有与导向槽53相匹配的导向块52，在导向槽53和导向块52的作用下使得滑块51能够在丝杆50外壁上下移动，滑块51左侧壁与喷气盘7右侧壁相连接，丝杆50外壁套接安装设有从动锥齿轮56，固定箱4内设有与从动锥齿轮56相啮合的主动锥齿轮55，烘箱主体1右侧壁设有电机54，电机54输出端贯穿烘箱主体1右侧壁和固定箱4右侧壁与主动锥齿轮55右侧壁相连接。
[0019]工作原理：需要对单晶硅片进行烘干的时候，工作人员打开箱门12，然后将单晶硅片均匀平铺在放置板上，关闭箱门12，在热风机11的作用下将热风通过输风管10和进风管9输送到喷气盘7内(进风管9足够长)，在喷气嘴8的作用下对单晶硅片进行烘干，在电机54的作用下带动主动锥齿轮55进行转动，主动锥齿轮55带动从动锥齿轮56进行转动，从动锥齿轮56带动丝杆50进行转动，在导向槽53和导向块52的作用下使得滑块51在丝杆50外壁上下移动，滑块51带动喷气盘7上下移动，喷气盘7带动喷气嘴8上下移动，从而能够对每层放置板2上的单晶硅片进行均匀烘干。
[0020]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片干燥用能均匀烘干的烘箱，包括烘箱主体(1)，烘箱主体(1)前侧壁铰接安装设有箱门(12)，其特征在于：所述烘箱主体(1)内设有三组放置板(2)，三组放置板(2)顶部均开设有通风孔(3)，烘箱主体(1)内右侧壁设有固定箱(4)，固定箱(4)内设有移动机构(5)，固定箱(4)左侧壁滑动连接设有喷气盘(7)，喷气盘(7)左侧壁设有多组喷气嘴(8)，所述喷气盘(7)连接设有进风管(9)，所述烘箱主体(1)顶部设有热风机(11)，热风机(11)出风口连接设有输风管(10)，输风管(10)一端与进风管(9)一端相连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片干燥用能均匀烘干的烘箱，其特征在于：所述移动机构(5)包括固定箱(4)内设有的丝杆(50)，丝杆(50)两端分别与固定箱(4)内上下侧壁设有的轴承相连接，丝杆(50)外壁套接设有滑块(51)，滑块(51)左侧壁与喷气盘(7)右侧壁相连接，丝杆(50)外壁套接安装设有从动锥齿轮(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张靖，方艺霖，何飞，
申请(专利权)人：扬州永翔新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：