一种晶圆加工用吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆加工用吸盘，包括吸盘壳体，所述吸盘壳体的内部开设有腔体，所述吸盘壳体的边缘开设有安装槽，所述安装槽内从里向外依次设有第一吸板、第二吸板、第三吸板和第四吸板，所述吸盘壳体的底端设有橡胶吸板，所述吸盘壳体的另一端连接有连接板，所述连接板上开设有吸气孔，所述吸气孔上连通有主吸气管，所述主吸气管的一侧连通有副吸气管。本实用新型专利技术具有若干吸板对橡胶吸板进行支撑，使得晶圆在吸附的时候，不会因为晶圆中心处应力不均匀发生破裂，以及设有若干吸板，且吸板上开设有不同的，且错位的吸气孔，便于降低气压流速和强度，并且保持气压的均匀性，便于进行吸附和转移晶圆，保持晶圆的安全性。保持晶圆的安全性。保持晶圆的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用吸盘


[0001]本技术涉及晶圆
，具体为一种晶圆加工用吸盘。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]在晶圆进行生产加工的时候，需要对晶圆进行转移，在晶圆进行转移的时候，需要使用到吸盘对晶圆进行吸附，实现对晶圆进行转移，但是，现有的吸盘在使用的时候，因为内部的腔体较大，且气压流动速率和强度较大，容易造成晶元的破裂等问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆加工用吸盘，具有若干吸板实现对橡胶吸板进行支撑，使得晶圆在吸附的时候，不会因为晶圆中心处应力不均匀发生破裂，以及设有若干吸板，且吸板上开设有不同的，且错位的吸气孔，便于降低气压流速和强度，并且保持气压的均匀性，便于进行吸附和转移晶圆，保持晶圆的安全性等优点，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种晶圆加工用吸盘，包括吸盘壳体，所述吸盘壳体的内部开设有腔体，所述吸盘壳体的边缘开设有安装槽，所述安装槽内从里向外依次设有第一吸板、第二吸板、第三吸板和第四吸板，所述第一吸板、所述第二吸板、所述第三吸板和所述第四吸板处于所述腔体的内部，所述吸盘壳体的底端设有橡胶吸板，所述吸盘壳体的另一端固定连接有连接板，所述连接板上开设有吸气孔，所述吸气孔上连通有主吸气管，所述主吸气管的一侧连通有副吸气管，所述主吸气管的另一侧连通有泄压管。
[0007]较佳的，所述主吸气管的顶端焊接有连接法兰，所述连接法兰的边缘上开设有若干第一螺纹孔。
[0008]较佳的，所述泄压管上连通有外置的第一控制阀门，所述副吸气管的端部固定设有螺纹连接管，所述螺纹连接管上连接有外置的软管，所述软管上连接有第二控制阀门。
[0009]较佳的，所述第一吸板和所述第二吸板之间设有第一橡胶圈，所述第二吸板和所述第三吸板之间设有第二橡胶圈，所述第三吸板和所述第四吸板之间设有第三橡胶圈。
[0010]较佳的，所述第一吸板上开设有圆形吸气孔，所述第二吸板上开设有吸气环孔，所述第三吸板上开设有吸气涡轮线，所述第四吸板上开设有吸气六角孔，所述橡胶吸板开设有吸气条孔。
[0011]较佳的，所述腔体的底部设有安装环，所述第一吸板、所述第二吸板、所述第三吸板、所述第四吸板、所述第一橡胶圈、所述第二橡胶圈和所述第三橡胶圈通过若干加长螺杆和若干第二螺纹孔固定连接在所述安装环上。
[0012]较佳的，所述吸盘壳体的底端开设有连接槽，所述橡胶吸板的外侧连接有橡胶环，所述橡胶环的内侧固定设有连接环，所述连接环卡合连接在所述连接槽的内部。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]本技术在使用的时候，通过主吸气管和副吸气管实现对吸盘进行抽取，使得吸盘的腔体内能够形成负压，完成对晶圆的吸附，并且在腔体的内部设有若干吸板，且在吸板上设有不同的吸气孔，可以有效的实现对气流进行流速和强度的调节，并且若干吸板的设定便于实现对橡胶吸板进行支撑，使得橡胶吸板能够通过吸板进行支撑，保持强度，进而使得吸附的晶圆能够保持均匀的应力，不会造成晶元在转移时候，因为应力不均匀造成破裂损坏。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图；
[0016]图2为本技术的内部结构仰视爆炸示意图；
[0017]图3为本技术的内部结构侧视爆炸示意图；
[0018]图4为本技术的吸盘壳体的内部示意图。
[0019]图中：1、吸盘壳体；2、腔体；3、安装槽；4、安装环；5、连接槽；6、第一吸板；7、第二吸板；8、第三吸板；9、第四吸板；10、橡胶吸板；11、第一橡胶圈；12、第二橡胶圈；13、第三橡胶圈；14、圆形吸气孔；15、吸气环孔；16、吸气涡轮线；17、吸气六角孔；18、吸气条孔；19、橡胶环；20、连接环；21、加长螺杆；22、第二螺纹孔；23、主吸气管；24、连接法兰；25、螺纹孔；26、吸气孔；27、副吸气管；28、螺纹连接管；29、泄压管；30、连接板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：
[0022]一种晶圆加工用吸盘，包括吸盘壳体1，所述吸盘壳体1的内部开设有腔体2，所述吸盘壳体1的边缘开设有安装槽3，所述安装槽3内从里向外依次设有第一吸板6、第二吸板7、第三吸板8和第四吸板9，所述第一吸板6、所述第二吸板7、所述第三吸板8和所述第四吸板9处于所述腔体2的内部，所述吸盘壳体1的底端设有橡胶吸板10，所述吸盘壳体1的另一端固定连接有连接板30，所述连接板30上开设有吸气孔26，所述吸气孔26上连通有主吸气管23，所述主吸气管23的一侧连通有副吸气管27，所述主吸气管23的另一侧连通有泄压管29；在使用的时候，通过腔体2的设定实现对第一吸板6、第二吸板7、第三吸板8和第四吸板9进行安装固定，且第一吸板6、第二吸板7、第三吸板8和第四吸板9对橡胶吸板10进行支撑，保持橡胶吸板10的平衡性，使得晶圆在吸附的时候，能够保持应力，不会造成晶圆受力不均匀，受到破裂损坏。
[0023]具体的：在使用的时候，吸盘壳体1的上端通过连接板30连接主吸气管23，且主吸气管23通过吸气孔26与吸盘壳体1的腔体2进行连通，并且在主吸气管23的顶端焊接有连接
法兰24，连接法兰24的边缘上开设有若干第一螺纹孔25，连接法兰24既能够有效的实现密封，也能够通过第一螺纹孔25进行固定安装，保持稳定的连接安装；且在主吸气管23一侧的泄压管29上连通有外置的第一控制阀门，便于在使用的时候，进行泄压调节，主吸气管23另一侧的副吸气管27的端部固定设有螺纹连接管28，螺纹连接管28上连接有外置的软管，所述软管上连接有第二控制阀门，偏于实现连接，实现对腔体2的内部进行抽气，完成负压吸附晶圆，且便于控制气流的流量和强度；以及在腔体2的安装槽3内从里向外依次设有第一吸板6、第二吸板7、第三吸板8和第四吸板9，且第一吸板6和所述第二吸板7之间设有第一橡胶圈11，所述第二吸板7和所述第三吸板8之间设有第二橡胶圈12，所述第三吸板8和所述第四吸板9之间设有第三橡胶圈13，通过第一橡胶圈11、第二橡胶圈12和第三橡胶圈13实现对第一吸板6、第二吸板7、第三吸板8和第四吸板9进行支撑，在腔体2的底部设有安装环4，所述第一吸板6、所述第二吸板7、所述第三吸板8、所述第四吸板9、所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用吸盘，包括吸盘壳体(1)，其特征在于：所述吸盘壳体(1)的内部开设有腔体(2)，所述吸盘壳体(1)的边缘开设有安装槽(3)，所述安装槽(3)内从里向外依次设有第一吸板(6)、第二吸板(7)、第三吸板(8)和第四吸板(9)，所述第一吸板(6)、所述第二吸板(7)、所述第三吸板(8)和所述第四吸板(9)处于所述腔体(2)的内部，所述吸盘壳体(1)的底端设有橡胶吸板(10)，所述吸盘壳体(1)的另一端固定连接有连接板(30)，所述连接板(30)上开设有吸气孔(26)，所述吸气孔(26)上连通有主吸气管(23)，所述主吸气管(23)的一侧连通有副吸气管(27)，所述主吸气管(23)的另一侧连通有泄压管(29)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用吸盘，其特征在于：所述主吸气管(23)的顶端焊接有连接法兰(24)，所述连接法兰(24)的边缘上开设有若干第一螺纹孔(25)。3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用吸盘，其特征在于：所述泄压管(29)上连通有外置的第一控制阀门，所述副吸气管(27)的端部固定设有螺纹连接管(28)，所述螺纹连接管(28)上连接有外置的软管，所述软管上连接有第二控制阀门。4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用吸盘，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴继勇，
申请(专利权)人：江苏宿芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：