光固化性组合物及使用其的图案形成方法技术

本发明专利技术提供一种光固化性、密合性、脱模性、残膜性、图案形状、涂敷性（Ⅰ）、涂敷性（Ⅱ）、蚀刻适性都优良的组合物。根据本发明专利技术的光固化性组合物，包含（ａ）聚合性化合物、（ｂ）０．１～１５质量％的光聚合引发剂及／或光酸产生剂、（ｃ）至少一种０．００１～５质量％的含氟表面活性剂、硅氧烷类表面活性剂及含氟.硅氧烷类表面活性剂，并且（ｄ）该组合物在２５℃下黏度为３～１８ｍＰａ.ｓ，其中，前述（ａ）聚合性化合物含有（ｅ）皮肤原发刺激指数（ＰⅡ值）为４．０以下的聚合性不饱和单体、及（ｆ）在２５℃下黏度为３０ｍＰａ.ｓ以下的聚合性不饱和单体，这些聚合性不饱和单体的含量为５０质量％以上（其中，前述（ｅ）的聚合性不饱和单体和前述（ｆ）的聚合性不饱和单体，可以是部分相同或全部相同的聚合性不饱和单体）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
纳米压印法是如下技术使在光盘制造中公知的压纹技术得以 发展，将形成有凹凸图案的金属模原器(一般称为模具、母板、模板 等)压到抗蚀剂上，使其发生力学变形，将微细图案精密地进行转印。 由于一旦制作模具，就可以简单地重复成型纳米结构，故经济，同时 由于是一种有害的废弃*排出物少的纳米加工技术，因此，近年来期 待着应用于各种领域。在纳米压印法中，有2种情况的提案即，使用热塑性树脂作为被加工材料的情况(S. Chou et al.: Appl. Phys. Lett Vol. 67， 114， 3314 ( 1995))和使用光固化性组合物的情况(M. Colbunetal. Proc. SPIE， Vol. 676， 78 ( 1999))。热式纳米压印是，将模具压至加热 到玻璃化转变温度以上的高分子树脂上，在冷却后将模具脱离，由此 将微细结构转印于衬底上的树脂。由于在多种树脂材料和剥离材料中 都可以应用，故期待着应用于各个方面。在美国专利第5,772,905号 公报、美国专利第5,956,216号公报中，公开有使用热塑性树脂廉价 地形成纳米图案的纳米压印本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光固化性组合物，其包含（ａ）聚合性化合物、（ｂ）０．１～１５质量％的光聚合引发剂及／或光酸产生剂、（ｃ）至少一种０．００１～５质量％的含氟表面活性剂、硅氧烷类表面活性剂及含氟.硅氧烷类表面活性剂，并且（ｄ）该组合物在２５℃下黏度为３～１８ｍＰａ.ｓ，其中，　　　　前述（ａ）聚合性化合物含有（ｅ）皮肤原发刺激指数（ＰⅡ值）为４．０以下的聚合性不饱和单体、及（ｆ）在２５℃下黏度为３０ｍＰａ.ｓ以下的聚合性不饱和单体，这些聚合性不饱和单体的含量为５０质量％以上，其中，前述（ｅ）的聚合性不饱和单体和前述（ｆ）的聚合性不饱和单体，可以是部分相同或全部相同的聚合性不饱和单体。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：河边保雅，高柳丘，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]