一种太阳能电池退火设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种太阳能电池退火设备，属于太阳能电池加工领域。一种太阳能电池退火设备，包括：链氧装置主体，主体具有供硅片通过的退火腔，退火腔具有进入口和出口；还包括：输送机构，设置在退火腔的进入口和出口之间，用于将硅片从进入口送至出口；冷却机构，设置在所述退火腔的出口处。本实用新型专利技术提供的一种太阳能电池退火设备，在退火腔的出口处设置冷却机构，可以使得退火过程中由化学反应产生的堆积偏磷酸低温液化，从而避免堆积在退火腔出口处的固体偏磷酸掉落在硅片上，影响硅片质量。影响硅片质量。影响硅片质量。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池退火设备


[0001]本技术涉及太阳能电池生产领域，具体地说，涉及一种太阳能电池退火设备。

技术介绍

[0002]太阳能电池，顾名思义，其是一种利用太阳光直接发电的光电原件，具体是利用半导体薄片接收一定程度的光照亮度，瞬间就可以输出电压及在有回路的情况下产生电流。
[0003]在太阳能电池片的生产过程中，需要对硅电池进行碱抛加工，其中的关键步骤便是通过链式退火设备对硅电池进行退火加工。其中硅的化学性质活泼，在高温下可以与氧等多种元素化合，而链式退火设备在机体内利用高温环境、O2和N2将硅片表面进行覆盖生成氧化膜，保护硅片制程中通过PSG正面不受刻蚀影响，只去除硅片四周的磷硅玻璃以及晶硅电池边缘的N型杂质与P型基底形成PN结，最终提高电池光电转换效率。
[0004]在经过各向腐蚀之后、在其表面就会出现晶面形成的金字塔状表面绒面结构，后经过扩散镀一层磷硅玻璃。但是在现有的工艺生产过程中，硅片通过链氧设备加工时，磷硅玻璃层中的POCI3会再次在链式退火设备的高温环境下，和O2、N2产生化学反应，从而在链式退火设备出料口形成偏磷酸堆积，该堆积的偏磷酸掉落到硅片上就会进入到PSG工序，从而直接导致酸洗异常，并导致批量小白点，造成大量的返工片，进入到后面成品端则会引起电池片EL或者电性能的异常。

技术实现思路

[0005]1、要解决的问题
[0006]针对现有技术中在通过现有的链式退火设备对硅电池进行加工时，容易在链式退火设备出料口处形成偏磷酸堆积，进而影响硅片质量的问题，本技术提供一种太阳能电池退火设备，利用低温对偏磷酸的溶解能力较低、表面张力大且低温呈现流体状态的特点，使得退火设备出口处堆积的偏磷酸液化，从而减少固态偏磷酸在出口处的堆积，避免固态的偏磷酸掉落在电池片上，影响硅片质量。
[0007]2、技术方案
[0008]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0009]一种太阳能电池退火设备，包括：
[0010]链氧装置主体，主体具有供硅片通过的退火腔，退火腔具有进入口和出口；还包括：
[0011]输送机构，设置在退火腔的进入口和出口之间，用于将硅片从进入口送至出口；
[0012]冷却机构，设置在所述退火腔的出口处。
[0013]优选地，所述冷却机构包括具有通入口和流出口的冷却管，冷却管连通冷却源。
[0014]优选地，所述冷却管的通入口和流出口均通入冷却源。
[0015]优选地，所述退火腔出口处具有独立的冷却腔，所述冷却机构设置在冷却腔内。
[0016]优选地，所述冷却管设置在冷却腔内壁上。
[0017]优选地，所述冷却管沿S型路线盘绕。
[0018]优选地，所述冷却腔处设置有收集组件，用于收集固化掉落的偏磷酸。
[0019]优选地，所述收集组件包括外嵌在冷却腔侧壁上的可拆卸收集板，收集板上表面具有凹槽。
[0020]优选地，所述冷却腔内壁设置有保温层。
[0021]优选地，所述输送机构输送路径的上方设置有至少一个灯管石棉套。
[0022]3、有益效果
[0023]相比于现有技术，本技术的有益效果为：
[0024](1)本技术提供的一种太阳能电池退火设备，在退火腔的出口处设置冷却机构，可以使得退火过程中由化学反应产生的堆积偏磷酸低温液化，从而避免堆积在退火腔出口处的固体偏磷酸掉落在硅片上，进入到PSG工序中，影响电池硅片质量，并且液化堆积的固体偏磷酸也方便设备内部的清洗。
[0025](2)本技术提供的一种太阳能电池退火设备，通过冷却管水冷的方式对冷却腔进行环境冷却，从而液化堆积的偏磷酸，冷却管的通入口和流出口均和冷却源连通，可以在冷却管中的冷却液流转一周成为废液时，重新收集利用，实现冷却液的循环，节省资源，降低成本。
[0026](3)本技术提供的一种太阳能电池退火设备，在退火腔的出口处设置独立的冷却腔，即将最容易形成偏磷酸堆积的出口位置设置为中空的冷却空间，可以更好地设置冷却管对其进行冷却，使其液态化，从而最大程度地减少偏磷酸的堆积。
[0027](4)本技术提供的一种太阳能电池退火设备，在退火腔的出口处设置收集组件，可以进一步避免堆积的固体偏磷酸落到硅片上，从而避免硅片上产生白点污损，造成大量的返工片，以此来提高电池片质量。
附图说明
[0028]图1为本技术一种太阳能电池退火设备的主视剖面图；
[0029]图2为本技术一种太阳能电池退火设备的右视剖面图。
[0030]图中：
[0031]1、主体；2、退火腔；3、出口；4、输送机构；
[0032]5、冷却机构；501、冷却管；502、通入口；503、流出口；
[0033]6、冷却腔；7、收集组件；701、收集板；702、凹槽；
[0034]8、保温层；9、冷却源；10、灯管石棉套；11、硅片；12、进入口。
具体实施方式
[0035]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于了解，下面结合实施例对本技术作进一步阐述。
[0036]在生产太阳能电池的过程中，需要对硅电池进行碱抛加工，其中的关键步骤便是通过链式退火设备对硅电池进行退火加工，主要是通过链氧设备在硅片表面覆盖氧化膜，在这过程中，由于一系列的化学反应会生成偏磷酸，此偏磷酸容易堆积在链式退火设备的出料口处，从而容易掉落到硅片，进入到PSG工序，从而直接导致酸洗异常，并导致批量小白
点，造成大量的返工片，进入到后面成品端则会引起电池片EL或者电性能的异常。为解决此问题，本实施例提供一种太阳能电池退火设备，具体如下：
[0037]如图1所示，一种太阳能电池退火设备，主要包括链氧装置主体1，主体1具有供硅片11通过的退火腔2，退火腔2具有进入口12和出口3；在退火腔2的进入口12和出口3之间设置输送机构4，可以将硅片11从进入口12送至出口3，具体的，输送机构4可以是通过依次排列的钢玉轴输送硅片11，并在输送机构4的上方设置加热机构，具体可以是在输送机构4的上方设置至少一个灯管石棉套10。
[0038]并在退火腔2的出口3处设置冷却机构5，以冷却液化出口3处容易形成的堆积固体偏磷酸，从而避免其掉落在硅片11上，进入到PSG工序中，影响电池硅片11质量，并且液化堆积的固体偏磷酸也方便设备内部的清洗。
[0039]具体的，如图1和图2所示，冷却机构5可以是具有通入口502和流出口503的冷却管501，冷却管501连通冷却源9。使用时通过冷却源9向冷却管501输入冷却液，并且冷却管501的通入口502和流出口503均可以通入冷却源9，如此可以在冷却管501中的冷却液流转一周成为废液时，重新收集利用，实现冷却液的循环，节省资源，降低成本。
[0040]为了进一步减少偏磷酸在退火腔2出口3处形成偏磷酸堆积，在退火腔2出口3处设置独立的冷却腔6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池退火设备，包括：链氧装置主体(1)，主体(1)具有供硅片(11)通过的退火腔(2)，退火腔(2)具有进入口(12)和出口(3)；其特征在于，还包括：输送机构(4)，设置在退火腔(2)的进入口(12)和出口(3)之间，用于将硅片(11)从进入口(12)送至出口(3)；冷却机构(5)，设置在所述退火腔(2)的出口(3)处。2.根据权利要求1所述的太阳能电池退火设备，其特征在于：所述冷却机构(5)包括具有通入口(502)和流出口(503)的冷却管(501)，冷却管(501)连通冷却源(9)。3.根据权利要求2所述的太阳能电池退火设备，其特征在于：所述冷却管(501)的通入口(502)和流出口(503)均通入冷却源(9)。4.根据权利要求2所述的太阳能电池退火设备，其特征在于：所述退火腔(2)出口(3)处具有独立的冷却腔(6)，所述冷却机构(5)设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：新型
国别省市：