一种SE电池的选择性制绒方法技术

本发明专利技术涉及太阳能电池制造技术领域，具体公开一种SE电池的选择性制绒方法。本发明专利技术提供的SE电池的选择性制绒方法，在制绒之前对硅片的重掺杂区进行激光刻蚀，改变重掺杂区的晶粒取向，从而使得硅片接触区和非接触区的晶粒取向不同，进而使得在相同的制绒条件下，接触区和非接触区制绒后表面存在差异，非接触区形成完整有序排列的金字塔形貌，金字塔绒面致密，有利于陷光，对提高电池短路电流有积极作用；接触区部分形成抛光面+制绒面的混绒结构，增大了与电池正面金属浆料的接触性，电池的填充因子得到了显著提高，进而有效提高了电池的转化效率，且整个工艺操作简单，制绒效率高，具有较高的推广应用价值。较高的推广应用价值。

【技术实现步骤摘要】
一种SE电池的选择性制绒方法


[0001]本专利技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种SE电池的选择性制绒方法。

技术介绍

[0002]随着光伏技术的快速发展，晶体硅太阳能电池的转换效率逐年提高。目前，主流的P型双面PERC电池(钝化发射区背面电池)的研究已经遇到效率瓶颈。TOPCon(隧穿氧化钝化接触)电池是一种高效的太阳能电池，其通过在器件背面设置一层超薄的隧穿氧化层和一层高掺杂的多晶硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，有效降低表面复合和金属接触复合，提升了电池的开路电压和短路电流。
[0003]目前，选择性发射极(selective emitter，SE)太阳能电池，即在金属栅线与硅片接触部分及其附近进行高浓度掺杂，而在电极以外的区域进行低浓度掺杂，将接触区做重掺杂有利于电荷传输，将非接触区做轻掺杂有利于表面钝化，减少复合损失，提升电池开压，进而提升电池的转换效率。SE+TOPCon技术的结合，将进一步提高电池的转化效率，是未来高效太阳能电池的主流发展趋势。
[0004]但是，目前的制绒工艺是在硅片表面进行均匀制绒，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种SE电池的选择性制绒方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤a，采用激光对硅片栅线下方的重掺杂区进行激光刻蚀，得预处理硅片；步骤b，将所述预处理硅片浸入制绒液中进行制绒，得制绒硅片；步骤c，将所述制绒硅片浸入含氢氟酸的酸洗液中对硅片表面进行酸洗。2.如权利要求1所述的SE电池的选择性制绒方法，其特征在于，步骤a中，所述激光刻蚀的激光波长为500nm
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1500nm，脉冲的长度为10ps
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20ns，重复频率为120KHz
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180KHz，聚焦投射到硅片表面的激光光斑直径为10μm
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50μm。3.如权利要求1所述的SE电池的选择性制绒方法，其特征在于，步骤b中，所述制绒液包括如下质量浓度的组分：强碱1％
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5％，制绒添加剂0.5％
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4％，余量为水。4.如权利要求3所述的SE电池的选择性制绒方法，其特征在于，所述强碱为氢氧化钠或氢氧化钾；和/或所述制绒添加剂为拓邦TB20添加剂。5.如权利要求1所述的SE电池的选择性制绒方法，其特征在于，步骤b中，制绒温度为75℃
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85℃，制绒时间为5min
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10min。6.如权利要求1所述的SE电池的选择性制绒方法，其特征在于，步骤c中，所述含氢氟酸的酸溶液包括如下质量浓度的组分：HF 1％
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10％，HCl 0％
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5％，余量为水；和/或步骤c中，所述酸洗的温度为...

【专利技术属性】
技术研发人员：郎芳，王子谦，王红芳，潘明翠，马红娜，赵学玲，翟金叶，王平，张文辉，张磊，张伟，赵亮，李献朋，史金超，
申请(专利权)人：英利能源发展保定有限公司，
类型：发明
国别省市：