【技术实现步骤摘要】
水分在线检测与吸收的光刻胶生产罐装设备
[0001]本技术主要涉及半导体光刻机胶生产罐装设备。
技术介绍
[0002]半导体光刻胶的生产灌装主要包括材料预混、搅拌混合、过滤、取样检测、灌装等步骤。半导体光刻胶由于自身特性需要，要求保证合格的水分含量，但现有技术中半导体光刻胶生产罐装通常采用管控原料的水分状况进行管控，或者通过成品的取样送检确认水分含量，当原材料水含量异常或者空气湿度过大等造成水分超标，容易导致光刻胶产品质量得不到保证，且现有装置无法进行修复处理，且时效性差。
技术实现思路
[0003]针对现有技术存在的问题，本技术提供了一种水分在线检测与吸收的光刻胶生产罐装设备，本技术通过增加了水分监测及处理方式的设计，提升了生产效率和产品品质
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用了以下技术方案：一种水分在线检测与吸收的光刻胶生产罐装设备，包括搅拌釜和设在搅拌釜上的搅拌机构，所述搅拌釜的底部设有出液管，所述出液管设有罐装管路和循环支管，所述循环支管的另一端与搅拌釜顶部连通；
[0005]所述循环支管上设有并联的第一支管和第二支管，所述第一支管和第二支管上还分别设有在线微波水分检测仪和分子筛水分过滤器；所述第一支管、第二支管和罐装管路分别设有阀门。
[0006]作为优选，所述搅拌釜上还设有入料口，所述搅拌机构包括搅拌扇叶。
[0007]作为优选，所述第一支管、第二支管和罐装管路上的阀门均为电磁阀。
[0008]作为优选，所述循环支管上还设有与在线微波水分检测...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种水分在线检测与吸收的光刻胶生产罐装设备，其特征在于：包括搅拌釜和设在搅拌釜上的搅拌机构，所述搅拌釜的底部设有出液管，所述出液管设有罐装管路和循环支管，所述循环支管的另一端与搅拌釜顶部连通；所述循环支管上设有并联的第一支管和第二支管，所述第一支管和第二支管上还分别设有在线微波水分检测仪和分子筛水分过滤器；所述第一支管、第二支管和罐装管路分别设有阀门。2.根据权利要求1所述水分在线检测与吸收的光刻胶生产罐装设备，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：康凯，康威，陈旺，覃伯成，
申请(专利权)人：漳州思美科新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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