本实用新型专利技术公开了一种防倒吸的显影实验装置，包括设有开口的外壳、以及设置在外壳内部的作业箱、液体保温瓶、电动机、抽气泵和旋转托盘，所述作业箱还包括箱盖、设置在箱盖外部的输液泵和设置在箱盖内部的出液喷头，所述液体保温瓶通过输液管与输液泵连接，所述抽气泵的进气端和出气端分别设置吸气管和出气管，所述旋转托盘通过吸气管与抽气泵连接，且吸气管上设有缓冲瓶，所述出气管连接至外壳外部，所述旋转托盘设置在作业箱的内腔，并通过电动机驱动，所述电动机设在作业箱的底部；本实用新型专利技术的有益效果：通过对缓冲瓶内液体的液位监测，可以防止电子化学品被抽入抽气泵中而损坏抽气泵，对实验装置起到了保护作用。对实验装置起到了保护作用。对实验装置起到了保护作用。
【技术实现步骤摘要】
一种防倒吸的显影实验装置
[0001]本技术涉及实验器材领域，具体是一种防倒吸的显影实验装置。
技术介绍
[0002]现有的半导体实验室小型装置设备中将涂胶、显影等功能仪器分离开。其中显影机仅仅包含有真空旋转托盘系统和输液系统，在将晶圆或玻璃板旋转的同时将显影剂从储液罐抽出并滴加在晶圆后玻璃板中心上方进行显影反应。而涂胶机则在将晶圆或玻璃板旋转的同时，人手滴加光刻胶，旋转托盘按照一定的转速进行匀胶。
[0003]但旋转真空作业时晶圆或玻璃板遭遇破裂情况，而湿电子化学品就会不断输出被抽气泵抽入时，抽入的湿电子化学品则先到达缓冲瓶中，然后进入抽气泵内导致抽气泵的损坏。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种防倒吸的显影实验装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种防倒吸的显影实验装置，包括设有开口的外壳、以及设置在外壳内部的作业箱、液体保温瓶、电动机、抽气泵和旋转托盘，所述作业箱还包括箱盖、设置在箱盖外部的输液泵和设置在箱盖内部的出液喷头，所述液体保温瓶通过输液管与输液泵连接，所述抽气泵的进气端和出气端分别设置吸气管和出气管，所述旋转托盘通过吸气管与抽气泵连接，且吸气管上设有缓冲瓶，所述出气管连接至外壳外部，所述旋转托盘设置在作业箱的内腔，并通过电动机驱动，所述电动机设在作业箱的底部。
[0006]进一步的，所述外壳的外壁设置有PLC操作屏、报警灯和紧急制动按钮，所述PLC操作屏用于参数的显示，包括液体保温瓶的温度、湿电子化学品的使用量，所述紧急制动按钮用于作业时遇到不理想实验状况时的紧急制动，停止电动机、抽气泵以及出液喷头的运作。
[0007]进一步的，所述缓冲瓶上设置有液位检测器，所述液位检测器用于检测缓冲瓶中的液位的变化信号，当达到阈值时，警报灯亮起，起到提醒注意的效果。
[0008]进一步的，所述输液泵的输出端与出液喷头连接，且输液泵的输出端还设置有流量计，流量计可以实时的监测输液泵从液体保温瓶内抽取的光刻胶或显影剂或光刻胶剥离液或薄膜蚀刻液的计量。
[0009]进一步的，所述旋转托盘的表面设置有与吸气管连通的吸附孔，且旋转托盘的轴心处设有用于安装吸气管的安装孔，旋转托盘与吸气管之间为旋转滑动连接，这样旋转托盘在电动机的作用下转动时，吸气管不会发生转动。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过对缓冲瓶内液体的液位监测，可以防止电子化学品被抽入抽气泵中而损坏抽气泵，对实验装置起到了保护作用。
附图说明
[0011]图1为本技术的结构示意图。
[0012]图中：1、外壳；2、作业箱；3、液体保温瓶；4、PLC操作屏；5、电动机；6、抽气泵；7、缓冲瓶；8、旋转托盘；9、输液泵；10、出液喷头；11、报警灯；12、紧急制动按钮；13液位检测器。
具体实施方式
[0013]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0014]请参阅图1，本技术实施例中，一种防倒吸的显影实验装置，包括设有开口的外壳1、以及设置在外壳1内部的作业箱2、液体保温瓶3、电动机5、抽气泵6和旋转托盘8，所述作业箱2还包括箱盖、设置在箱盖内部的出液喷头10和设置在箱盖外部的输液泵9，所述旋转托盘8设于作业箱2的内腔并通过电动机5驱动，所述旋转托盘8还通过导管与抽气泵6连接，且导管上设有缓冲瓶7，所述缓冲瓶7上设置有液位检测器13，所述液体保温瓶3通过输液管与输液泵9连接，所述输液泵9与出液喷头10连通，所述旋转托盘8的表面设置有与导管连通的吸附孔。
[0015]实施例：
[0016]本装置用于实验室晶圆或玻璃板的小型实验，包括的光刻胶的旋涂实验、光刻胶曝光后的显影实验、光刻胶的剥离实验以及薄膜的蚀刻实验等需要在旋转情况下定量滴加湿电子化学品的实验操作；
[0017]外壳1是设有顶部开口的矩形外箱；可拆卸的液体保温储存瓶3可用于装填多种湿电子化学品，包括光刻胶、显影剂、光刻胶剥离液以及薄膜蚀刻液，所填装的湿电子化学品能够按照设定温度来进行加热或者保温，所填装的湿电子化学品可被流量计及输液泵9经由输液管吸上来，并从出液喷头10喷洒进行作业；作业箱2以及箱盖8均为透明材质，以便观察装置作业时的状态，在作业时需要将箱盖把手拉下来方可进行作业；电动机5带动着旋转托盘8的旋转，作业箱2的内部还设有用于支撑旋转托盘3的支撑台；旋转托盘8与晶圆或玻璃板间的空气经吸气管由抽气泵6抽出；若旋转真空作业时晶圆或玻璃板遭遇破裂情况，而湿电子化学品仍不断输出被抽气泵抽入时，抽入的湿电子化学品则先到达缓冲瓶中，此时缓冲瓶中的液位检测器13中的传感器产生了液位变化的信号，使报警灯11亮起，紧接着装置自动启动紧急制动，停止抽气泵6以及出液喷头10的运作，防止抽气泵继续运作抽入湿电子化学品损害抽气泵6；PLC操作屏4则用于装置的程序化作业的编程以及装置的各种参数显示，包括液体保温瓶3的温度，湿电子化学品的使用量；紧急制动按钮12则用于作业时的遇到不理想实验状况时的紧急制动，停止电动机5、抽气泵6以及出液喷头18的运作。
[0018]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制
所涉及的权利要求。
[0019]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种防倒吸的显影实验装置，其特征在于：包括设有开口的外壳（1）、以及设置在外壳（1）内部的作业箱（2）、液体保温瓶（3）、电动机（5）、抽气泵（6）和旋转托盘（8），所述作业箱（2）还包括箱盖、设置在箱盖内部的出液喷头（10）和设置在箱盖外部的输液泵（9），所述旋转托盘（8）设于作业箱（2）的内腔并通过电动机（5）驱动，所述旋转托盘（8）还通过导管与抽气泵（6）连接，且导管上设有缓冲瓶（7），所述缓冲瓶（7）上设置有液位检测器（13），所述液体保温瓶（3）通过输液管与输液泵（9）连接，所述输液泵（9）与出液喷头（10）连通，所述旋转托盘（...
【专利技术属性】
技术研发人员：李嘉利，高家勇，王勇军，
申请(专利权)人：漳州思美科新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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