一种液体微流喷射靶激光等离子体软X射线光源制造技术

一种液体微流喷射靶激光等离子体软Ｘ射线光源，属于短波段光源技术领域中涉及的一种光源，本发明专利技术要解决的技术问题是：提供一种液体微流喷射靶激光等离子体软Ｘ射线光源。解决的技术方案是：包括真空靶室、法兰、外桶、高压腔、制冷管、电阻加热丝、密封定位筒、旋转手柄、隔热板、阀杆、喷嘴等部件，外桶通过法兰在真空靶室的顶部与其密封固连，制冷管的进口与出口分别与左右隔热管密封固连，伸向真空靶室内的制冷管紧密缠绕在高压腔的平直段上，外侧还缠绕电阻加热丝，密封定位筒焊接在外桶顶部中央，隔热板的侧面与密封定位筒内表面滑动接触，阀体的上端与波纹管固连并插入到隔热板的下凹槽内，阀尖能够封住喷嘴，激光束聚焦在从喷嘴喷出的微流上，产生激光等离子体辐射软Ｘ射线。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于短波段光源
中涉及的一种液体微流喷射靶激光等离子体软X射线光源。二、技术背景在空间光学、天体物理、辐射计量等现代科学探索中，作为手段往往需要软X射线光源，在医学诊断、材料分析、投影光刻、显微镜技术等现代高科技领域中，软X射线光源已经得到较多的应用。据了解目前世界上研究开发的软X射线光源，有同步辐射、毛细管放电、激光等离子体等几种类型。最早的激光等离子体软X射线光源，是功率密度极大的脉冲激光聚焦在金属靶面上，产生高温激光等离子体辐射软X射线，这种情况在激光等离子体形成的同时，也伴随着金属碎屑的产生，会对邻近光源的软X射线光学元件造成损坏或降低光学性能，为此要对靶的材料进行改变，近年来科学家们把靶的材料改变为气体或液体。与本专利技术最为接近的已有技术，是美国的专利US 6,760.406B2，如图1所示包括真空泵1、聚焦透镜2、激光器3、真空靶室4、压力罐5、制冷头6、进气管7、压力罐喷嘴8、加热电阻丝9、微流10、激光束11。压力罐5内的工作物质，经压力罐5端面的制冷头6制冷后，从压力罐喷嘴8喷出，形成微流10进入真空靶室4、激光器3发射出的激光经聚光透镜2聚本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体微流喷射靶激光等离子体软Ｘ射线光源，包括真空靶室、真空泵、聚光透镜、激光束、加热丝、喷嘴、其特征在于还包括法兰（１６）、外桶（１７）、隔热板（１８）、制冷管进口端（１９）、密封定位筒（２０）、旋转手柄（２１）、工作物质输进管（２２）、制冷管出口端（２３）、隔热板（２４）、液压波纹管（２５）、高压腔（２６）、制冷管（２７）、阀杆（２９）、微流（３１）；外桶（１７）通过法兰（１６）在真空靶室（１５）的顶部与真空靶室（１５）密封固连，左右两个隔热管（１８）在外桶（１７）的顶部穿过外桶（１７）并与其焊接固定，制冷管（２７）的进口端（１９）与左边的隔热管（１８）密封配合安装，伸向外桶（１７）和真...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：尼启良，齐立红，陈波，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：82[中国|长春]