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一种液体微流喷射靶激光等离子体软Ｘ射线光源，属于短波段光源技术领域中涉及的一种光源，本发明要解决的技术问题是：提供一种液体微流喷射靶激光等离子体软Ｘ射线光源。解决的技术方案是：包括真空靶室、法兰、外桶、高压腔、制冷管、电阻加热丝、密封定位筒...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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