X射线产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术之Ｘ光产生装置具有：一阴极电极１５、一用以控制该阴极电极１５所生电子束ｅ之栅极电极１７、一用以集束该电子束ｅ之聚焦电极１８、以及一藉由电子束ｅ之撞击而放出Ｘ光之阳极靶材１４。在阴极电极１５和栅极电极１７之间，受施加有一来自偏压电压产生部２０之偏压电压Ｖｂ。阳极靶材１４受施加一来自管电压产生部１９之管电压Ｖｔ。分压部３１对管电压Ｖｔ进行分压，而产生聚焦电压Ｖｆ。藉由将如此而得之聚焦电压Ｖｆ施加至聚焦电极１８上，将可以抑制电压变动对于电子束之焦点形成所造成的影响。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术系有关于一种具有X光管等之X光产生装置。(2)
技术介绍
X光产生装置系一种设有用以放出X光之X光管的装置，大多数利用于医疗或工业用诊断装置等。就X光管而言，亦因应于X光产生装置之用途，而有各种变化。例如，当要以X光来检查受检查物之细微结构等时，系使用一种叫作微聚焦的X光管，其在X光产生区域所在之阳极靶材上的电子束焦点尺寸为数μm至数十μm(例如参考特开2001-273860号公报)。上述微聚焦X光管具有一用以将供放出X光之阳极靶材或阴极等配置于各个真空容器内之构造。阴极由用以在加热器之加热下产生电子束的阴极电极、控制管电流的栅极电极、以及用以控制阳极靶材上之电子束焦点尺寸的聚焦电极等所构成。在具有此类构造之X光管中，一般系例如将阴极电极、阳极靶材、或栅极电极设定至接地电位，并施加一特定之(X光)管电压至阳极靶材上。X光管之动作状态系藉由例如控制一施加至聚焦电极或栅极电极之电压而受到调整。若系控制一施加至聚焦电极之电压的情形，系利用一与用以产生管电压之阳极靶材用电源分开而设之聚焦电极用电源，来产生一用以施加至聚焦电极之聚焦电压。然而，在控制聚焦电压之方式中，若用以施加至阳极靶材之管电压，与施加至聚焦电极之聚焦电压，有脉动等上之变动，将影响到电子束之焦点形状，而难以形成微小的焦点。亦即，若要将电子束之焦点形状作到最小，则例如维持图7之符号P所示之管电压与聚焦电压间之比例关系将相当重要。若管电压与聚焦电压有变动的话，图7所示之比例关系将无法保持，而难以形成微小焦点。根据本专利技术者之实验，已确认管电压与聚焦电压间之比率若变动0.15％以上，将对于焦点直径有很大的影响。相对于上述情形，在例如日本特开平7-29532号公报中，则记载有一X光产生装置，其将聚焦电压设定于接地电位，并随着该施加至阳极靶材之电压变化，而以一定之比率，使该施加至阴极电极之电压产生变化。藉由此类习知X光产生装置，由于聚焦电极保持于接地电位而没有变动，即使该施加至阳极靶材之电压有脉动产生，亦能保持微小焦点之稳定。然而，上述公报中所记载之X光产生装置由于必须将聚焦电极设定于接地电位，因而在装置构造上之限制相当大。例如，在习知X光产生装置中，一般虽然系将阳极靶材或栅极电极设定于接地电位，但在此类X光产生装置上，则无法应用上述公报中所记载之微小焦点形成方法。因此之故，于将阳极靶材或栅极电极设定于接地电位时，将有需要一种可以控制电压变动所对于电子束微小焦点形成之影响的技术。又，在微聚焦X光管中，系在阴极电极与栅极电极之间，施加一偏压电压，而以该偏压电压来控制一使X光产生之电子束电流(管电流)。当应用此类管电流之控制方式时，一般会独立设置一用以产生该偏压电压之电源。然而，在上述管电流控制方式中，当偏压电压用电源发生故障时，X光管内将产生过大的管电流。这样的过大管电流会导致阳极靶材之熔化等，而招致X光管之特性劣化，甚至破坏等。因此，当以该施加至阴极电极之偏压电压，来控制管电流时，将希望能提高其可靠度与安全性等。本专利技术之目的在于提供一种即使将阳极靶材或栅极电极设定于接地电位时，亦能抑制电压变动对于形成电子束焦点之影响的X光产生装置。本专利技术之其它目的则在于提供一种当以一施加至阴极电极之偏压电压来控制管电流时，能防止过大管电流产生，而藉以提高可靠性或安全性的X光产生装置。(3)
技术实现思路
本专利技术所揭第一X光产生装置包含一阴极电极，用以产生电子束；一栅极电极，用以控制该阴极电极所发生之该电子束流；一聚焦电极，用以使该电子束集束；一阳极靶材，用以藉由该聚焦电极所集束得之该电子束之撞击，而放出X光；一偏压电压产生部，用以产生一供施加至该阴极电极与该栅极电极间之偏压电压；一管电压产生部，用以产生一供施加至该阳极靶材之管电压；以及一分压部，用以对该管电压进行分压而产生聚焦电压，再将该聚焦电压施加至该聚焦电极。在本专利技术之X光产生装置中，由于系对管电压进行分压而产生聚焦电压，因而即使管电压中有脉动等变动产生，亦能维持管电压与聚焦电压间之比例关系。因此，管电压之变动所对于电子束焦点尺寸之影响即受到抑制，结果，将可以在有比较好之再现性下形成电子束微小焦点。第一X光产生装置还具特征在于在分压部中对聚焦电压进行分压而产生阴极电压，再将该阴极电压，与该偏压电压产生部所产生之偏压电压加以合成。在此场合下，分压部所产生之阴极电压之大小系被设定成即使有相同大小之电压被施加在阴极电极与栅极电极间，亦不会有管电压产生。藉此，将可以提高X光产生装置之安全性。本专利技术所揭第二X光产生装置包含一阴极电极，用以产生电子束；一栅极电极，用以控制该阴极电极所发生之该电子束流；一聚焦电极，用以使该电子束集束；一阳极靶材，用以藉由该聚焦电极所集束得之该电子束之撞击，而放出X光；一管电压产生部，用以产生一供施加至该阳极靶材之管电压；一聚焦电压产生部，用以产生一供施加至该聚焦电极之聚焦电压；一偏压电压产生部，用以产生一供施加至该阴极电极与该栅极电极间之偏压电压；以及一分压部，用以对该聚焦电压进行分压而产生阴极电压，再将该阴极电压与该偏压电压合成后，施加至该阴极电极。(4)附图说明图1显示本专利技术之第一实施例所成X光产生装置之概略构造与电路结构。图2显示本专利技术之第二实施例所成X光产生装置之概略构造与电路结构。图3为一显示本专利技术之实施例中之X光产生装置之管电压与聚焦电压间之关系的特性图。图4为一显示本专利技术之第二实施例中之X光产生装置之偏压电压产生部之输出电压和管电流间之关系的特性图。图5显示本专利技术之第三实施例所成之X光产生装置之概略构造与电路结构。图6显示本专利技术之第四实施例所成之X光产生装置之概略构造与电路结构。图7为一显示X光产生装置中之管电压与聚焦电压间之关系的特性图。图式代表符号说明10 X光管11 真空容器12 阴极13 阳极14 阳极靶材15阴极电极16加热器17栅极电极18聚焦电极19管电压产生部20偏压电压产生部21加热器电压产生部23聚焦电压产生部31，41分压部32管电压检测部33管电压比较部34管电压控制部35管电流控制部36管电流比较部37偏压电压控制部38加热器电压控制部(5)具体实施方式以下，就用以实施本专利技术之型态作一说明。图1为一显示本专利技术之第一实施例所成X光产生装置之构造的图式。该图所示之X光产生装置具有一微聚焦X光管10。微聚焦X光管10整体系由真空容器11所构成，在真空容器11内之其中一侧配置有阴极12，而在另一侧则配置有阳极13，阳极13具有一阳极靶材14。阴极12例如包含有用以产生电子束e之阴极电极15、用以加热阴极电极15之加热器16、用以控制电子束e之流量(例如管电流)的栅极电极17、以及用以集束电子束e而来控制阳极靶材14上所形成之电子束之焦点形状的聚焦电极。在本实施例之X光产生装置中，栅极电极17系成接地电位G；在阳极靶材14与接地电位G间，连接有一可改变输出之管电压产生部19；在阳极靶材14上受施加有一相对于栅极电极17为正的管电压Vt，管电压Vt被控制在特定值。又，在阴极电极15与接地电位G之间，连接有一输出可变之偏压电压产生部20，阴极电极15受施加有一相对于栅极电极17为正之偏压电压Vb。藉由该阴极电极15与栅极电极17间的偏压电压Vb本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ｘ光产生装置，其特征在于，具有：　　　　一阴极电极，用以产生电子束；　　　　一栅极电极，用以控制该阴极电极所发生之该电子束流；　　　　一聚焦电极，用以使该电子束集束；　　　　一阳极靶材，用以藉由该聚焦电极所集束得之该电子束之撞击，而放出Ｘ光；　　　　一偏压电压产生部，用以产生一供施加至该阴极电极与该栅极电极间之偏压电压；　　　　一管电压产生部，用以产生一供施加至该阳极靶材之管电压；以及　　　　一分压部，用以对该管电压进行分压而产生聚焦电压，再将该聚焦电压施加至该聚焦电极。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：下野隆，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：JP[日本]