【技术实现步骤摘要】
一种成像系统和成像方法、检测系统和检测方法
[0001]本专利技术实施例涉及光学检测
，具体涉及一种成像系统和成像方法、检测系统和检测方法。
技术介绍
[0002]晶圆表面若存在缺陷，将导致以该晶圆作为基底的芯片失效。常用的手段是在芯片制备前或制备过程中，对晶圆表面的缺陷以及缺陷位置进行检测。目前，表面缺陷检测常用的技术是光学检测技术。其中一种光学检测方法是先获得晶圆表面的图像，再根据图像获得晶圆表面的缺陷等信息。而为了满足日益增长的对更小尺寸缺陷进行检测的需求，光学检测的分辨率有待进一步提高。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本专利技术实施例提供一种成像系统和成像方法、检测系统和检测方法，以进一步提高光学检测的分辨率。
[0004]为解决上述问题，本专利技术实施例提供如下技术方案：
[0005]一种成像系统，包括：
[0006]光源组件，用于向待测目标出射检测光，所述检测光经所述待测目标形成信号光；
[0007]探测组件，所述探测组件至少包括探测器件和第一处理器件；所述探测器件的探测面上具有N个光学采集模块，N为大于或等于2的自然数；所述N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出所述检测图像；所述N个光学采集模块具有相同的输出周期，但所述N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；
[0008]所述第一处理器件用于将所述N个光学采集模块的检测图像融合，获得所述待测目标的亚像素图像。>[0009]可选的，每个所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，M为大于或等于2的自然数；
[0010]在扫描方向上，所述N个光学采集模块依次等间距排列，所述扫描方向为对所述待测目标进行扫描的方向；
[0011]在所述扫描方向上，每个所述光学采集模块内的第一采集单元至第M采集单元依次等间距排列。
[0012]可选的，每个所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，M为大于或等于2的自然数；
[0013]在扫描方向上，所述N个光学采集模块彼此等间距嵌入设置，所述扫描方向为对所述待测目标进行扫描的方向；
[0014]在所述扫描方向上，所述N个光学采集模块的第i采集单元依次排列，i为1至M之间的任一自然数，包括1和M。
[0015]可选的，在垂直于所述扫描方向的方向上，所述N个光学采集模块对齐排列。
[0016]可选的，在垂直于所述扫描方向的方向上，所述N个光学采集模块依次错位排列；
[0017]并且，D1＝D/N；
[0018]其中，D1为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的错位距离，D为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的间距。
[0019]可选的，v/f＝D/A；
[0020]其中，v为对所述待测目标进行扫描的扫描速度，f为所述光学采集模块内的第一采集单元至第M采集单元的逐行驱动频率，D为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的间距，A为所述待测目标和所述探测器件之间的光学成像模组的放大倍率。
[0021]可选的，所述探测器件包括时间延迟积分探测器。
[0022]一种成像方法，应用于如上任一项所述的成像系统，所述成像方法包括：
[0023]向待测目标出射检测光，所述检测光经所述待测目标形成信号光；
[0024]使所述探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出所述检测图像；所述N个光学采集模块具有相同的输出周期，但所述N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；
[0025]将所述N个光学采集模块的检测图像融合，获得所述待测目标的亚像素图像。
[0026]可选的，所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，则使所述探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像包括：
[0027]对每个光学采集模块中的第一采集单元至第M采集单元依次逐行驱动，以对所述第一采集单元至所述第M采集单元的电荷进行积分，并根据积分后的电荷获得所述检测图像。
[0028]一种检测系统，包括成像系统和第二处理器件；
[0029]所述成像系统为如上任一项所述的成像系统；
[0030]所述第二处理器件用于根据所述成像系统获得的亚像素图像，获得所述待测目标的检测信息。
[0031]一种检测方法，应用于如上所述的检测系统，所述检测方法包括：
[0032]向待测目标出射检测光，所述检测光经所述待测目标形成信号光；
[0033]使所述探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出所述检测图像；所述N个光学采集模块具有相同的输出周期，但所述N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；
[0034]将所述N个光学采集模块的检测图像融合，获得所述待测目标的亚像素图像；
[0035]根据所述亚像素图像，获得所述待测目标的检测信息。
[0036]本专利技术实施例提供的成像系统和成像方法、检测系统和检测方法，探测器件的探测面上具有N个光学采集模块，N个光学采集模块可以分别根据信号光形成待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出检测图像。由于N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期，因此，将N个光学采集模块的检测图像融合之后，可以获得待测目
标的亚像素图像，即可以获得像素间距为单个检测图像像素间距的1/N的亚像素图像，从而可以提高图像的像素密度，提高探测器件的采样率，进而可以提高光学检测的分辨率和灵敏度。
附图说明
[0037]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0038]图1为本专利技术一个实施例提供的成像系统的结构示意图；
[0039]图2为本专利技术一个实施例提供的N个光学采集模块的结构示意图；
[0040]图3为本专利技术一个实施例提供的光学采集模块的检测图像的示意图；
[0041]图4为本专利技术一个实施例提供的N个光学采集模块的输出周期的时序图；
[0042]图5为本专利技术一个实施例提供的亚像素图像的示意图；
[0043]图6为本专利技术一个实施例提供的采集单元的结构示意图；
[0044]图7为本专利技术另一个实施例提供的采集单元的结构示意图；
[0045]图8为本专利技术另一个实施例提供的采集单元的结构示意图；
[0046]图9为本专利技术另一个实施例提供的采集单元的结构示意图；
[0047]图10为本专利技术另一个实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种成像系统，其特征在于，包括：光源组件，用于向待测目标出射检测光，所述检测光经所述待测目标形成信号光；探测组件，所述探测组件至少包括探测器件和第一处理器件；所述探测器件的探测面上具有N个光学采集模块，N为大于或等于2的自然数；所述N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出所述检测图像；所述N个光学采集模块具有相同的输出周期，但所述N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；所述第一处理器件用于将所述N个光学采集模块的检测图像融合，获得所述待测目标的亚像素图像。2.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，每个所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，M为大于或等于2的自然数；在扫描方向上，所述N个光学采集模块依次等间距排列，所述扫描方向为对所述待测目标进行扫描的方向；在所述扫描方向上，每个所述光学采集模块内的第一采集单元至第M采集单元依次等间距排列。3.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，每个所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，M为大于或等于2的自然数；在扫描方向上，所述N个光学采集模块彼此等间距嵌入设置，所述扫描方向为对所述待测目标进行扫描的方向；在所述扫描方向上，所述N个光学采集模块的第i采集单元依次排列，i为1至M之间的任一自然数，包括1和M。4.根据权利要求2或3所述的成像系统，其特征在于，在垂直于所述扫描方向的方向上，所述N个光学采集模块对齐排列。5.根据权利要求2或3所述的成像系统，其特征在于，在垂直于所述扫描方向的方向上，所述N个光学采集模块依次错位排列；并且，D1＝D/N；其中，D1为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的错位距离，D为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的间距。6.根据权利要求2或3所述的成像系统，其特征在于，v/f＝D/A；其中，v为对所述待测目标进行扫描的扫描速度，f为所述光学采集模块内的第一采集单元至第M采集单元的逐行驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，胡诗铭，张鹏斌，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。