一种滤波器产品贴膜吸附治具及使用方法技术

技术编号:37140221 阅读:25 留言:0更新日期:2023-04-06 21:44
本发明专利技术公开了一种滤波器产品贴膜吸附治具及使用方法,涉及工件贴膜技术领域,包括相配合滑扣的吸盘板和保护罩,所述吸盘板的边缘设有滑槽,所述保护罩的边缘设有与所述滑槽滑动配合的凸条和限位挡片,所述吸盘板的吸合面与所述保护罩相对,所述吸盘板的下方设有用于吸附膜的抽真空吸盘机构,所述吸盘板上设有板提手和吸盘,所述吸盘配置有独立的吸盘提手,用于向上提起吸盘脱离吸盘板。本发明专利技术可以有效防止膜纸褶皱、气泡的产生,同时保证贴膜的精准度,不会出现金属膜与基板的相对偏移。不会出现金属膜与基板的相对偏移。不会出现金属膜与基板的相对偏移。

【技术实现步骤摘要】
一种滤波器产品贴膜吸附治具及使用方法


[0001]本专利技术涉及工件贴膜
,具体涉及一种滤波器产品贴膜吸附治具及使用方法。

技术介绍

[0002]随着半导体的快速发展,电子产品越来越普及,同时竞争越来越大,只有好的品质、良率才能立足发展壮大,由于技术的持续进步,产品尺寸越做越大,厚度越来越薄,产品的种类也越来越多,声表面滤波器产品逐渐成为主流FC芯片产品,声表面滤波器是在一块具有压电效应的材料基片上蒸发一层金属膜,然后经光刻,在两端各形成一对叉指形电极组成。当在发射换能器上加上信号电压后,就在输入叉指电极间形成一个电场使压电材料发生机械振动(即超声波)以超声波的形式向左右两边传播,向边缘一侧的能量由吸声材料所吸收。在接收端,由接收换能器将机械振动再转化为电信号,并由叉指形电极输出。同时声表面滤波器产品的工艺较新颖,行业中生产制作经验薄弱,一般为手动裁剪膜、手动撕膜以及手动贴膜,易产生偏差、褶皱、气泡等问题。

技术实现思路

[0003]1、专利技术要解决的技术问题
[0004]针对现有的工件贴膜易产生偏差、褶皱、气泡等技术问题,本专利技术提供了一种滤波器产品贴膜吸附治具及使用方法,它可以有效防止膜纸褶皱、气泡的产生,同时保证贴膜的精准度,不会出现金属膜与基板的相对偏移。
[0005]2、技术方案
[0006]为解决上述问题,本专利技术提供的技术方案为:
[0007]一种滤波器产品贴膜吸附治具及使用方法,包括相配合滑扣的吸盘板和保护罩,所述吸盘板的边缘设有滑槽,所述保护罩的边缘设有与所述滑槽滑动配合的凸条和限位挡片,所述吸盘板的吸合面与所述保护罩相对,所述吸盘板的下方设有用于吸附膜的抽真空吸盘机构,所述吸盘板上设有板提手和吸盘,所述吸盘配置有独立的吸盘提手,用于向上提起吸盘脱离吸盘板。
[0008]作为可选,所述抽真空吸盘机构包括抽真空吸盘板和真空电磁装置,所述抽真空吸盘板上设有用于抽真空的孔,所述真空电磁装置连接于所述孔,所述真空电磁装置连接有控制开关。
[0009]作为可选,所述抽真空吸盘板上设有定位销孔和定位销轴。
[0010]作为可选,所述抽真空吸盘板的上方设有用于承载膜的多孔陶瓷,所述抽真空吸盘板上设有用于容纳所述多孔陶瓷的凹槽。
[0011]作为可选,所述抽真空吸盘板上设有刻度线。
[0012]作为可选,所述多孔陶瓷的表面为颗粒结构。
[0013]作为可选,所述抽真空吸盘板的边缘设有台阶。
[0014]作为可选,所述吸盘的吸合面采用ESD材料制成。
[0015]作为可选,所述限位挡片上设有缓冲垫。
[0016]一种滤波器产品贴膜吸附治具的使用方法,用于所述的一种滤波器产品贴膜吸附治具,其特征在于,包括以下步骤:
[0017]一、将裁剪好的膜吸附在多孔陶瓷上;
[0018]二、将膜完全吸附平整后进行撕膜;
[0019]三、将膜吸附平整后,将吸附着基板的吸盘板放至撕完膜的上方;
[0020]四、轻压吸盘板使膜与基板粘合在一起,通过刻度线和定位销孔同定位;
[0021]五、再利用吸盘板,吸附基板的Pad面,将基板和膜整体吸走转移至真空压膜机作业平台上。
[0022]3、有益效果
[0023]采用本专利技术提供的技术方案,与现有技术相比,具有如下有益效果:
[0024]本专利技术提供的技术方案设置了相配合滑扣的吸盘板和保护罩,在基板和膜贴合后防止基板掉落,使用吸盘板和用于吸附膜的抽真空吸盘机构来贴膜,可以有效防止膜纸褶皱、气泡的产生,同时保证贴膜的精准度,不会出现膜与基板的相对偏移;更进一步的,采用多孔陶瓷承载膜,表面为颗粒结构,保证膜的平整度以及无气泡,提高贴合质量。
附图说明
[0025]图1为本专利技术实施例提出的一种滤波器产品贴膜吸附治具及使用方法的结构示意图。
[0026]图2为本专利技术实施例提出的一种滤波器产品贴膜吸附治具及使用方法的侧视图。
[0027]图3为本专利技术实施例提出的一种滤波器产品贴膜吸附治具及使用方法的抽真空吸盘机构的结构示意图。
[0028]1、吸盘板;2、基板;3、膜;4、保护罩;5、多孔陶瓷;6、抽真空吸盘机构;7、真空电磁装置;8、盒体;9、控制开关;10、通孔;11、刻度线;12、吸盘提手;13、板提手;14、定位销孔。
具体实施方式
[0029]为进一步了解本专利技术的内容,结合附图及实施例对本专利技术作详细描述。
[0030]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术,而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与专利技术相关的部分。本专利技术中所述的第一、第二等词语,是为了描述本专利技术的技术方案方便而设置,并没有特定的限定作用,均为泛指,对本专利技术的技术方案不构成限定作用。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本专利技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可
拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。同一实施例中的多个技术方案,以及不同实施例的多个技术方案之间,可进行排列组合形成新的不存在矛盾或冲突的技术方案,均在本专利技术要求保护的范围内。
[0031]实施例
[0032]结合附图1

3,一种滤波器产品贴膜吸附治具及使用方法,包括相配合滑扣的吸盘板1和保护罩4,所述吸盘板1的边缘设有滑槽,所述保护罩4的边缘设有与所述滑槽滑动配合的凸条和限位挡片,所述吸盘板1的吸合面与所述保护罩4相对,所述吸盘板1的下方设有用于吸附膜3的抽真空吸盘机构6,所述吸盘板1上设有板提手13和吸盘,所述吸盘配置有独立的吸盘提手12,用于向上提起吸盘脱离吸盘板1。
[0033]吸盘板1采用铝合金材质,降低治具重量,方便拿取操作。且所述吸盘的吸合面采用ESD材料制成,保护罩4为铝制加ESD橡胶垫材料,其用于防止在吸取过程掉落。所述限位挡片上设有缓冲垫,用于减缓限位挡片和吸盘板1以及基板2之间的碰撞。所述抽真空吸盘板1的上方设有用于承载膜3的多孔陶瓷5,所述抽真空吸盘板1上设有用于容纳所述多孔陶瓷5的凹槽。多孔陶瓷5的表面为颗粒结构,多孔陶瓷5采用陶瓷颗粒压合,孔密度本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滤波器产品贴膜吸附治具,其特征在于,包括相配合滑扣的吸盘板和保护罩,所述吸盘板的边缘设有滑槽,所述保护罩的边缘设有与所述滑槽滑动配合的凸条和限位挡片,所述吸盘板的吸合面与所述保护罩相对,所述吸盘板的下方设有用于吸附膜的抽真空吸盘机构,所述吸盘板上设有板提手和吸盘,所述吸盘配置有独立的吸盘提手,用于向上提起吸盘脱离吸盘板。2.根据权利要求1所述的一种滤波器产品贴膜吸附治具,其特征在于,所述抽真空吸盘机构包括抽真空吸盘板和真空电磁装置,所述抽真空吸盘板上设有用于抽真空的孔,所述真空电磁装置连接于所述孔,所述真空电磁装置连接有控制开关。3.根据权利要求2所述的一种滤波器产品贴膜吸附治具,其特征在于,所述抽真空吸盘板上设有定位销孔和定位销轴。4.根据权利要求2所述的一种滤波器产品贴膜吸附治具,其特征在于,所述抽真空吸盘板的上方设有用于承载膜的多孔陶瓷,所述抽真空吸盘板上设有用于容纳所述多孔陶瓷的凹槽。5.根据权利要求4所述的一种滤波器产品贴膜吸...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜磊张超陈泽李利苏州
申请(专利权)人:甬矽电子宁波股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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