反并联晶闸管的故障检测方法和电力控制装置制造方法及图纸

本公开提供一种反并联晶闸管的故障检测方法和电力控制装置，检测晶闸管的故障。一种反并联晶闸管的故障检测方法，所述反并联晶闸管具有并联且反向地连接的第一晶闸管和第二晶闸管，所述反并联晶闸管控制从交流电源向负载供给的电力，所述反并联晶闸管的故障检测方法包括以下步骤：停止所述第二晶闸管的输出指令并且向所述第一晶闸管发出输出指令，检测向所述负载供给的电压或电流来作为第一检测值；停止所述第一晶闸管的输出指令并且向所述第二晶闸管发出输出指令，检测向所述负载供给的电压或电流来作为第二检测值；以及基于所述第一检测值与所述第二检测值之差来判定所述反并联晶闸管的故障。并联晶闸管的故障。并联晶闸管的故障。

【技术实现步骤摘要】
反并联晶闸管的故障检测方法和电力控制装置


[0001]本公开涉及一种反并联晶闸管的故障检测方法和电力控制装置。

技术介绍

[0002]在基板处理装置设置有用于加热基板的加热器。设置有反并联晶闸管来作为控制加热器的输出的部件。
[0003]在专利文献1中公开有一种检测反并联地连接的第一晶闸管和第二晶闸管的故障的反并联晶闸管的故障检测器。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2017
‑
147924号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的问题
[0008]在反并联晶闸管中，要求在任一个晶闸管发生了故障的情况下检测故障。
[0009]在一个方面，本公开提供一种检测晶闸管的故障的反并联晶闸管的故障检测方法和电力供给装置。
[0010]用于解决问题的方案
[0011]为了解决上述课题，根据一个方式，提供一种反并联晶闸管的故障检测方法，所述反并联晶闸管具有并联且反向地连接的第一晶闸管和第二晶闸管，所述反并联晶闸管控制从交流电源向负载供给的电力，所述反并联晶闸管的故障检测方法包括以下步骤：停止所述第二晶闸管的输出指令并且向所述第一晶闸管发出输出指令，检测向所述负载供给的电压或电流来作为第一检测值；停止所述第一晶闸管的输出指令并且向所述第二晶闸管发出输出指令，检测向所述负载供给的电压或电流来作为第二检测值；以及基于所述第一检测值与所述第二检测值之差来判定所述反并联晶闸管的故障。/>[0012]专利技术的效果
[0013]根据一个方面，能够提供一种检测晶闸管的故障的反并联晶闸管的故障检测方法和电力供给装置。
附图说明
[0014]图1是基板处理装置的截面图的一例。
[0015]图2是表示向加热器供给电力的电源装置的结构的图的一例。
[0016]图3是反并联晶闸管的不同故障状态下向加热器供给的电力的一例。
[0017]图4是说明反并联晶闸管的故障检测方法的流程图的一例。
具体实施方式
[0018]下面，参照附图来对用于实施本公开的方式进行说明。在各附图中，对相同的结构部分标注相同的附图标记，有时省略重复的说明。
[0019]<基板处理装置>
[0020]使用图1来对本实施方式的基板处理装置100进行说明。图1是基板处理装置100的截面图的一例。
[0021]基板处理装置100具有例如由铝等形成为筒体的处理容器101。在处理容器101的内部配置有用于载置基板W的载置台102。载置台102具有例如由铝、镍等构成的基部和配置在基部上的由电绝缘性材料(电介质材料)构成的构件。由电绝缘性材料构成的构件例如由氮化铝(AlN)陶瓷形成。在由电绝缘性材料构成的构件的内部设置有加热器103。加热器103通过由电源装置(参照后述的图2)供电而发热，以对载置台102和载置于载置台102的基板W进行温度调整。另外，也可以是在由电绝缘性材料构成的构件形成多个分区、并在各分区分别设置能够独立地供电的加热器103的结构。在该情况下，与各分区的加热器103对应地分别设置电源装置。在载置台102以能够相对于载置台102的表面突出退回的方式设置有基板搬送用的三个基板支承销(未图示)。
[0022]在处理容器101的底部设置有排气口111。在排气口111连接有排气管112。在排气管112连接有进行压力调整的节流阀113和真空泵114，能够对处理容器101内进行抽真空。另一方面，在处理容器101的侧壁形成有基板搬入搬出口121，基板搬入搬出口121能够由闸阀G进行开闭。而且，在将闸阀G打开的状态下进行基板W的搬入搬出。
[0023]在处理容器101的顶壁中央设置有气体导入口131。在气体导入口131连接有气体供给配管132。在气体供给配管132连接有用于供给在处理中使用的处理气体的气体供给源133。另外，在气体供给配管132设置有由气体流量控制器、阀等构成的气体控制部134。
[0024]在像这样构成的基板处理装置100中，在打开闸阀G并将基板W载置在载置台102上之后关闭闸阀G，通过真空泵114对处理容器101内进行排气并通过节流阀113将处理容器101内调整为规定的压力，并且通过加热器103将载置台102上的基板W温度调整为规定温度。然后，从气体供给源133经由气体供给配管132和气体导入口131来向处理容器101内供给处理气体，来对基板W实施期望的处理。
[0025]此外，基板处理装置100的结构并不限于图1所示的结构。基板处理装置100也可以是在处理容器101内生成等离子体来对基板W实施处理的等离子体处理装置。
[0026]接着，使用图2来对向加热器103供给电力的电源装置进行说明。图2是表示向加热器103供给电力的电源装置的结构的图的一例。
[0027]电源装置具备交流电源10、反并联晶闸管20以及控制部30。反并联晶闸管20和控制部30构成对从交流电源10向加热器(负载)103供给的电力进行控制的电力控制装置。
[0028]交流电源10经由反并联晶闸管20来向加热器103供给交流电力。
[0029]反并联晶闸管20具有并联且反向地连接的第一晶闸管21和第二晶闸管22。第一晶闸管21根据来自控制部30的温度控制部31的输出指令而导通(ON：接通)，将来自交流电源10的正电压输出到加热器103，当来自交流电源10的交流电压为负电压时，第一晶闸管21截止(OFF：断开)。第二晶闸管22根据来自控制部30的温度控制部31的输出指令而导通(接通)，将来自交流电源10的负电压输出到加热器103，当来自交流电源10的交流电压为正电
压时，第二晶闸管22截止(断开)。
[0030]在载置台102设置有检测载置台102的温度的温度检测部41。另外，在电源装置设置有检测向加热器103供给的交流电压的电压检测部42。另外，在电源装置设置有检测向加热器103供给的交流电流的电流检测部43。
[0031]控制部30具有温度控制部31和故障判定部32。
[0032]温度控制部31通过控制输出指令的定时来控制第一晶闸管21和第二晶闸管22。由此，温度控制部31控制向加热器103供给的电力，从而控制加热器103的温度。温度控制部31输入载置台102的目标温度。另外，温度控制部31输入由温度检测部41检测出的载置台102的检测温度。温度控制部31基于目标温度和温度检测部41的检测温度来控制第一晶闸管21和第二晶闸管22，以使检测温度接近目标温度。
[0033]故障判定部32判定反并联晶闸管20(第一晶闸管21、第二晶闸管22)的故障。故障判定部32输入由电压检测部42检测出的加热器103的供给电压。另外，故障判定部32输入由电流检测部43检测出的加热器103的供给电流。
[0034]在此，反并联晶闸管20的故障模式分为以下三类。
[0035]第一故障本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反并联晶闸管的故障检测方法，所述反并联晶闸管具有并联且反向地连接的第一晶闸管和第二晶闸管，所述反并联晶闸管控制从交流电源向负载供给的电力，所述反并联晶闸管的故障检测方法包括以下步骤：停止所述第二晶闸管的输出指令并且向所述第一晶闸管发出输出指令，检测向所述负载供给的电压或电流来作为第一检测值；停止所述第一晶闸管的输出指令并且向所述第二晶闸管发出输出指令，检测向所述负载供给的电压或电流来作为第二检测值；以及基于所述第一检测值与所述第二检测值之差来判定所述反并联晶闸管的故障。2.根据权利要求1所述的反并联晶闸管的故障检测方法，其特征在于，在基于所述第一检测值与所述第二检测值之差来判定所述反并联晶闸管的故障的步骤中，在所述第一检测值与所述第二检测值之差为规定的第一阈值以上的情况下，将所述反并联晶闸管判定为故障。3.根据权利要求1或2所述的反并联晶闸管的故障检测方法，其特征在于，还包括以下步骤：停止所述第一晶闸管和所述第二晶闸管的输出指令，检测向所述负载供给的电压或电流来作为第三检测值；...

【专利技术属性】
技术研发人员：荻野贵史，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：