一种节能的集成电路湿法生产线制造技术

本实用新型专利技术公开了一种节能的集成电路湿法生产线，包括依次设置的用于对产品进行化学处理的药水槽、用于清洗产品表面化学药液的水洗槽、通过热风对产品进行烘干的烘干槽，烘干槽通过第一排风管连接有板式热交换器，第一排风管与板式热交换器的第一换热通道一端连通，板式热交换器的第一换热通道另一端为用于向外排风的排风口，板式热交换器的第二换热通道、药水槽、水洗槽三者之间连接有用于将板式热交换器的热量传递到药水槽和水洗槽的循环水路，生产线上还设有用于对药水槽和水洗槽进行辅助加热的辅助加热组件。行辅助加热的辅助加热组件。行辅助加热的辅助加热组件。

【技术实现步骤摘要】
一种节能的集成电路湿法生产线


[0001]本技术涉及一种节能的集成电路湿法生产线。

技术介绍

[0002]目前在采用湿法制程生产集成电路产品时一般都需要对产品依次进行以下处理：首先将产品放入药水槽中进行化学处理，然后再将产品放入水洗槽中进行清洗取出产品表面化学药液，最后在经过烘干槽将产品上的水分烘干。在化学处理和水洗的时候都对工作环境温度有一定要求，因此在药水槽和水洗槽处往往会需要安装加热设施分别对药水槽和水洗槽进行加热保证工作环境温度，而烘干槽一般是通过吹热风对产品进行烘干，在烘干过程中热风会直接向室外排放，加热药水槽和水洗槽、热风烘干都是高耗能的过程，这些能耗占据了生产过程很大一部分的成本。
[0003]因此，如何克服上述存在的缺陷，已成为本领域技术人员亟待解决的重要课题。

技术实现思路

[0004]本技术克服了上述技术的不足，提供一种节能的集成电路湿法生产线。
[0005]为实现上述目的，本技术采用了下列技术方案：
[0006]一种节能的集成电路湿法生产线，包括依次设置的用于对产品进行化学处理的药水槽1、用于清洗产品表面化学药液的水洗槽2、通过热风对产品进行烘干的烘干槽3，所述烘干槽3通过第一排风管4连接有板式热交换器5，所述第一排风管4与所述板式热交换器5的第一换热通道一端连通，所述板式热交换器5的第一换热通道另一端为用于向外排风的排风口51，所述板式热交换器5的第二换热通道、药水槽1、水洗槽2三者之间连接有用于将板式热交换器5的热量传递到药水槽1和水洗槽2的循环水路6，所述生产线上还设有用于对药水槽1和水洗槽2进行辅助加热的辅助加热组件7。
[0007]优选的，所述循环水路6包括经过所述板式热交换器5第二换热通道并在其中进行热交换的主路61、经过所述药水槽1并与其进行热交换的第一支路62、经过所述水洗槽2并与其进行热交换的第二支路63，所述第一支路62、第二支路63分别都有一端与所述主路61的其中一端连通，所述第一支路62、第二支路63剩余的一端都与所述主路61的另外一端连通，所述主路61上还设有用于驱动水循环的循环泵64。
[0008]优选的，所述第一支路62、第二支路63靠近所述主路61出水端的那端分别都设有用于控制该支路通断的第一阀门65。
[0009]优选的，所述辅助加热组件7包括分别设置在药水槽1和水洗槽2上的辅助加热器71、分别设置在所述药水槽1和水洗槽2上用于检测实时工作温度的温度传感器72，同一个槽上的辅助加热器71与温度传感器72之间还连接有用于根据实时工作温度控制辅助加热器71工作的温度控制器73。
[0010]优选的，所述板式热交换器5的排风口51上设有用于调节
[0011]优选的，所述烘干槽3与所述板式热交换器5的距离小于30m。
[0012]优选的，所述药水槽1的工作温度为40～55℃或80～90℃，所述水洗槽2的工作温度为25～45℃，所述烘干槽3的工作温度为65～150℃。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]本案生产线将烘干槽的热风通过第一排风管输送到板式热交换器中，板式热交换器再通过循环水路将热量传递到药水槽和水洗槽中，这样将烘干槽多余的热量用于加热药水槽和水洗槽便可降低生产线整体的能耗达到节能的作用，从而大大降低生产成本。另外，本案生产线还设有辅助加热组件用于对药水槽和水洗槽进行辅助加热，这样在烘干槽供应的热量不足以维持药水槽和水洗槽的工作温度时还可以通过辅助加热组件加热保证药水槽和水洗槽的温度。
附图说明
[0015]图1是本案生产线示意图。
[0016]图2是本案循环水路示意图。
[0017]图3是本案辅助加热组件示意图。
具体实施方式
[0018]以下通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
[0019]如图1至图3所示，一种节能的集成电路湿法生产线，包括依次设置的用于对产品进行化学处理的药水槽1、用于清洗产品表面化学药液的水洗槽2、通过热风对产品进行烘干的烘干槽3，所述烘干槽3通过第一排风管4连接有板式热交换器5，所述第一排风管4与所述板式热交换器5的第一换热通道一端连通，所述板式热交换器5的第一换热通道另一端为用于向外排风的排风口51，所述板式热交换器5的第二换热通道、药水槽1、水洗槽2三者之间连接有用于将板式热交换器5的热量传递到药水槽1和水洗槽2的循环水路6，所述生产线上还设有用于对药水槽1和水洗槽2进行辅助加热的辅助加热组件7。
[0020]如上所述，本案生产线将烘干槽3的热风通过第一排风管4输送到板式热交换器5中，板式热交换器5再通过循环水路6将热量传递到药水槽1和水洗槽2中，这样将烘干槽3多余的热量用于加热药水槽1和水洗槽2便可降低生产线整体的能耗达到节能的作用，从而大大降低生产成本。另外，本案生产线还设有辅助加热组件7用于对药水槽1和水洗槽2进行辅助加热，这样在烘干槽3供应的热量不足以维持药水槽1和水洗槽2的工作温度时还可以通过辅助加热组件7加热保证药水槽1和水洗槽2的温度。
[0021]如图1至图2所示，优选的，所述循环水路6包括经过所述板式热交换器5第二换热通道并在其中进行热交换的主路61、经过所述药水槽1并与其进行热交换的第一支路62、经过所述水洗槽2并与其进行热交换的第二支路63，所述第一支路62、第二支路63分别都有一端与所述主路61的其中一端连通，所述第一支路62、第二支路63剩余的一端都与所述主路61的另外一端连通，所述主路61上还设有用于驱动水循环的循环泵64，如此，便可通过水循环将烘干槽3的热量经过板式热交换器5传递到药水槽1和水洗槽2对两者进行加热。
[0022]如图1至图2所示，优选的，所述第一支路62、第二支路63靠近所述主路61出水端的那端分别都设有用于控制该支路通断的第一阀门65，如此，便可根据生产线的实际情况通
过两个第一阀门65控制热量的传递。
[0023]如图1、图3所示，优选的，所述辅助加热组件7包括分别设置在药水槽1和水洗槽2上的辅助加热器71、分别设置在所述药水槽1和水洗槽2上用于检测实时工作温度的温度传感器72，同一个槽上的辅助加热器71与温度传感器72之间还连接有用于根据实时工作温度控制辅助加热器71工作的温度控制器73，如此，两个温度控制器71便可分别根据药水槽1和水洗槽2的实际工作温度，在烘干槽3提供的热量不足以保证药水槽1、水洗槽2工作温度时，对应的温度控制器71即可控制辅助加热器72工作进行辅助加热保证工作温度。
[0024]如图1所示，优选的，所述板式热交换器5的排风口51上设有用于调节排风量大小的第二阀门，如此，便可通过调节排风口51的排风量大小进一步控制传递到药水槽1和水洗槽2的热量。
[0025]如图1所示，优选的，所述烘干槽3与所述板式热交换器5的距离小于30m，如此，便可保证烘干槽3的热风通过第一排风管4排向板式热交本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种节能的集成电路湿法生产线，其特征在于包括依次设置的用于对产品进行化学处理的药水槽(1)、用于清洗产品表面化学药液的水洗槽(2)、通过热风对产品进行烘干的烘干槽(3)，所述烘干槽(3)通过第一排风管(4)连接有板式热交换器(5)，所述第一排风管(4)与所述板式热交换器(5)的第一换热通道一端连通，所述板式热交换器(5)的第一换热通道另一端为用于向外排风的排风口(51)，所述板式热交换器(5)的第二换热通道、药水槽(1)、水洗槽(2)三者之间连接有用于将板式热交换器(5)的热量传递到药水槽(1)和水洗槽(2)的循环水路(6)，所述生产线上还设有用于对药水槽(1)和水洗槽(2)进行辅助加热的辅助加热组件(7)。2.根据权利要求1所述的一种节能的集成电路湿法生产线，其特征在于所述循环水路(6)包括经过所述板式热交换器(5)第二换热通道并在其中进行热交换的主路(61)、经过所述药水槽(1)并与其进行热交换的第一支路(62)、经过所述水洗槽(2)并与其进行热交换的第二支路(63)，所述第一支路(62)、第二支路(63)分别都有一端与所述主路(61)的其中一...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯洁新，卢中，王贵宾，吴礼晓，
申请(专利权)人：中山芯承半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：