多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备制造技术

本实用新型专利技术涉及激光刻划设备领域，具体涉及一种多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备。该激光刻划设备包括激光发射器、激光扫描器、聚焦镜片、调焦镜片、调节装置、检测装置和控制器，调节装置用于调整调焦镜片的位置；激光扫描器设置于发电玻璃的正上方投影区域，激光发射器设置于发电玻璃的斜上方，且激光扫描器与激光发射器之间的设有聚焦镜片和调焦镜片；检测装置用于当前发电玻璃的形变信息，控制器分别通信连接于激光发射器、激光扫描器和调节装置，以根据形变信息发出相应的指令，以控制激光发射器、激光扫描器和调节装置执行相应的动作。由此，解决了现有技术中真空镀膜设备维护周期长、闲置时间多且维护成本高的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备


[0001]本技术属于激光刻划设备
，涉及一种多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备。

技术介绍

[0002]传统的薄膜发电玻璃在制作过程中，需要使用到激光刻划设备，以对不同的膜层进行刻划，以便组成多节串联电池，来提高电压。而为提高刻划速率，激光设备会对激光进行分束，主流设备可将一束光通过光的衍射或者折射等分为7束光，薄膜发电玻璃在膜层镀制过程中会持续经过600
°
的蒸镀并涉及溅射和活化、退火等高温工艺会使发电玻璃变形扭曲，在进行激光刻划时，焦点无法实时聚焦在膜层表面，会造成膜层刻不断或者爆边毛刺严重，造成芯片功率的降低。
[0003]由于在刻划过程中无法对7束激光分别同时进行实时的自动调焦，由于发电玻璃是弯曲的，导致生产中激光焦点无法一直在发电玻璃膜层位置，会导致离焦问题，反应到产品上会使刻线刻不断或者毛刺、爆边严重，导致电池短路、短路，降低发电玻璃功率。
[0004]因此，针对当前激光刻划设备在进行刻化时存在的无法自动调焦，影响了薄膜发电玻璃表面质量的问题，还需要提供一种更为合理的技术方案，以解决当前的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备，以解决现有技术中真空镀膜设备维护周期长、闲置时间多且维护成本高的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供一种多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备，包括激光发射器和激光扫描器，所述激光刻划设备还包括聚焦镜片、调焦镜片和调节装置，所述调节装置用于调整所述调焦镜片的位置；
[0007]所述激光扫描器设置于发电玻璃的正上方投影区域，所述激光发射器设置于所述发电玻璃的斜上方，且所述激光扫描器与所述激光发射器之间的设有所述聚焦镜片和所述调焦镜片，所述聚焦镜片设置于靠近所述激光扫描器的一侧；
[0008]所述激光刻划设备还包括检测装置和控制器，所述检测装置用于当前发电玻璃的形变信息，所述控制器分别通信连接于所述激光发射器、激光扫描器和所述调节装置，以根据所述形变信息发出相应的指令，以控制所述激光发射器、激光扫描器和所述调节装置执行相应的动作。
[0009]在一种可能的设计中，所述检测装置包括至少一组检测机构，每组检测机构包括激光测距传感器、第一全反射镜和第二全反射镜，所述激光测距传感器的光束路径为d；
[0010]所述第一全反射镜固定地设置于c点；所述第二全反射镜可调地设置于e点，以能够改变其相对于第一全反射镜的距离；
[0011]所述激光测距传感器设置于所述第一全反射镜和所述第二全反射镜的下方；所述发电玻璃设置于所述第一全反射镜和所述第二全反射镜的上方，以使得所述激光测距传感
器的光束垂直于所述发电玻璃。
[0012]在一种可能的设计中，所述检测装置包括七组检测机构，每组检测机构中的激光测距传感器均并排设置，不同组中所述第一全反射镜和所述第二全反射镜设置高度不同。
[0013]在一种可能的设计中，所述第二全反射镜通过调位器设置于e点，所述调位器包括电机、浮动件和永磁铁，所述电机通过套筒罩设于所述永磁铁的外周；所述浮动件配设为至少两组，其中一组设置于所述套筒的底壁，另一组设置于所述永磁铁的侧壁；所述电机的输出轴连接于所述第二全反射镜；
[0014]所述控制器通信连接于所述电机，以根据所述激光测距传感器检测的信息控制所述电机执行相应的动作。
[0015]在一种可能的设计中，所述检测装置包括激光测距传感器和第三全反射镜，所述激光测距传感器的光束以水平方向发射，以在将光路转变90
°
后，使反射后的光束能够垂直于入射于所述发电玻璃。
[0016]在一种可能的设计中，所述激光刻划设备还包括第四全反射镜、V型镜和通信连接于所述控制器的线性调节器，所述线性调节器连接于所述V型镜，以调节所述V型镜的高度；
[0017]所述激光扫描器准直后的激光束沿第一方向入射于所述第四全反射镜，反射的激光束经所述V型镜传递后，能够使得所述激光束沿第二方向出射；所述第一方向垂直于所述第二方向。
[0018]在一种可能的设计中，所述调节装置包括轨道、调节杆和基座，所述基座上设有限位槽，所述调焦镜片可拆卸地卡设于所述限位槽中；所述基座上还设有与所述轨道相适应的滑槽和与所述调节杆相适应的螺纹孔；
[0019]所述基座可移动地设置于所述轨道上，所述调节杆插设于所述螺纹孔中，以当拧紧所述调节杆时，能够使所述基座紧固于所述轨道。
[0020]在一种可能的设计中，所述控制器配置为中央处理器、数字信号处理器、专用集成电路和现场可编程门阵列中的一者。
[0021]通过上述技术方案，可以对发电玻璃的扭曲变形状态进行实时检测，并将检测到的发电玻璃扭曲信息传递给控制器，而控制器则可以根据这些信息，实时调节调焦镜片的位置，由此实现对激光束的高度调节，以此来消除抵消发电玻璃的变形量，确保焦点一直在发电玻璃上。由此，实现了实时自动聚焦，可以很好地解决发电玻璃在刻划过程中由于弯曲导致的焦点偏离问题，同时，还可以解决发电玻璃膜层刻不断和崩边毛刺严重的情况，进而提高发电玻璃整体的功率。由此，解决了现有技术中真空镀膜设备维护周期长、闲置时间多且维护成本高的问题。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1是发电玻璃的结构示意图；
[0024]图2是本技术提供的多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备在一种实施例
中的透视结构示意图；
[0025]图3是本技术提供的多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备在一种实施例中的结构示意图；
[0026]图4是激光测距传感器、第一全反射镜和第二全反射镜的设置位置示意图；
[0027]图5是电机、浮动件和永磁铁的结构示意图；
[0028]图6是第四全反射镜、V型镜和线性调节器的位置示意图；
[0029]图7是第四全反射镜、V型镜和线性调节器的结构示意图；
[0030]图8是发电玻璃在扭曲状态下的结构示意图。
[0031]上述附图中：1
‑
激光发射器，2
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调焦镜片，3
‑
聚焦镜片，4
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激光扫描器，5
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调节装置，51
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轨道，52
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调节杆，53
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基座，6
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发电玻璃，7
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激光测距传感器，81
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第一全反射镜，82
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第二全反射镜，91
‑
电机，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备，包括激光发射器(1)和激光扫描器(4)，其特征在于，所述激光刻划设备还包括聚焦镜片(3)、调焦镜片(2)和调节装置(5)，所述调节装置(5)用于调整所述调焦镜片(2)的位置；所述激光扫描器(4)设置于发电玻璃(6)的正上方投影区域，所述激光发射器(1)设置于所述发电玻璃(6)的斜上方，且所述激光扫描器(4)与所述激光发射器(1)之间的设有所述聚焦镜片(3)和所述调焦镜片(2)，所述聚焦镜片(3)设置于靠近所述激光扫描器(4)的一侧；所述激光刻划设备还包括检测装置和控制器，所述检测装置用于当前发电玻璃(6)的形变信息，所述控制器分别通信连接于所述激光发射器(1)、激光扫描器(4)和所述调节装置(5)，以根据所述形变信息发出相应的指令，以控制所述激光发射器(1)、激光扫描器(4)和所述调节装置(5)执行相应的动作。2.根据权利要求1所述的多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备，其特征在于，所述检测装置包括至少一组检测机构，每组检测机构包括激光测距传感器(7)、第一全反射镜(81)和第二全反射镜(82)，所述激光测距传感器(7)的光束路径为d；所述第一全反射镜(81)固定地设置于c点；所述第二全反射镜(82)可调地设置于e点，以能够改变其相对于第一全反射镜(81)的距离；所述激光测距传感器(7)设置于所述第一全反射镜(81)和所述第二全反射镜(82)的下方；所述发电玻璃(6)设置于所述第一全反射镜(81)和所述第二全反射镜(82)的上方，以使得所述激光测距传感器(7)的光束垂直于所述发电玻璃(6)。3.根据权利要求2所述的多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备，其特征在于，所述检测装置包括七组检测机构，每组检测机构中的激光测距传感器(7)均并排设置，不同组中所述第一全反射镜(81)和所述第二全反射镜(82)设置高度不同。4.根据权利要求2所述的多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备，其特征在于，所述第二全反射镜(82)通过调位器设置于e点，所述调位器包括电机(91)、浮动件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭秀斌，杨欢，邵传兵，殷新建，蒋猛，
申请(专利权)人：邯郸中建材光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：