碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及工程机械领域，具体涉及一种碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置。该过滤装置碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置，其特征在于，包括基板和筒体，所述基板呈空心结构，且所述基板的上表面设有多个呈阵列布设的第一滤孔，所述基板的下表面设有多个呈阵列布设的第二滤孔，所述第一滤孔和所述第二滤孔错位设置；所述筒体内设有1～3层阻挡层，所述阻挡层上设有多个第三滤孔。由此，解决了现有技术中真空镀膜设备维护周期长、闲置时间多且维护成本高的问题。本高的问题。本高的问题。

【技术实现步骤摘要】
碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置


[0001]本技术属于工程机械领域，涉及一种碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置。

技术介绍

[0002]目前，产线真空镀膜设备采用加热坩埚的方式进行镀膜。在该工艺过程中，工艺腔室中是真空氛围，并且腔室内充满碲化镉蒸汽，为保证工艺氛围也就是真空度，每台碲化镉的工艺腔室都会有两台真空泵抽真空(机械泵+罗茨泵)，真空泵与腔室之间由一段约1米的不锈钢筒体连接，由于腔室内部是高温碲化镉蒸汽(400℃
‑
550℃)，会有一部分碲化镉颗粒随气流溢出至真空泵沉积，一般会沉积在泵内部的转子上以及轴承上。容易造成真空泵负载过大，设备卡死。因此，现场需要三个季度就维护一次真空泵，每次维护还要委外保养，成本较高，周期很长，降低了设备的开机率。
[0003]因此，针对当前真空镀膜设备维护周期长、闲置时间多且维护成本高的问题，还需要提供一种更为合理的技术方案，以解决当前的技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置，以解决现有技术中真空镀膜设备维护周期长、闲置时间多且维护成本高的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供一种碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置，包括基板和筒体，所述基板呈空心结构，且所述基板的上表面设有多个呈阵列布设的第一滤孔，所述基板的下表面设有多个呈阵列布设的第二滤孔，所述第一滤孔和所述第二滤孔错位设置；所述筒体内设有1～3层阻挡层，所述阻挡层上设有多个第三滤孔。
[0006]在一种可能的设计中，所述第一滤孔、所述第二滤孔和所述第三滤孔的孔径为2mm～3mm。
[0007]在一种可能的设计中，所述基板和所述筒体的外表面为磨砂表面。
[0008]在一种可能的设计中，所述基板和所述筒体的外表面的粗糙度为Ra3.2～Ra6.3。
[0009]在一种可能的设计中，沿所述筒体的轴线方向，不同的阻挡层上的第三滤孔错位设置。
[0010]在一种可能的设计中，所述基板和筒体均有不锈钢材料制成。
[0011]在一种可能的设计中，所述阻挡层配设为两层。
[0012]在一种可能的设计中，所述基板的长为：200
‑
700mm，宽为：100
‑
500mm，高为：5
‑
10mm；
[0013]所述筒体的直径为：100
‑
300mm，高度为：200
‑
400mm。
[0014]通过上述技术方案，基于第一滤孔、第二滤孔和第三滤孔的设置，阻挡气体流动，可以延长工艺气体与过滤箱的接触时间，并增大接触面积。由此，通过这种方式来增加沉积的气体颗粒总量，减少对真空泵的污染，有效提高真空泵的使用效果和使用质量。而积灰较多的情况下，可以将该过滤装置快速地从碲化镉腔室拆除，并进行清理，可以缩短维护时
间、降低维护成本。同时，由于方便清理，且不需要通过特殊的方式进行加工，因此，所闲置的时间的较短，由于降低设备成本。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本技术提供的碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置在一种视角下的立体结构示意图；
[0017]图2是本技术提供的碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置在另一种视角下的立体结构示意图；
[0018]图3是本技术提供的碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置的剖视结构示意图；
[0019]图4是本技术提供的碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置的工作流程示意图。
[0020]上述附图中：1
‑
基板，2
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筒体，3
‑
阻挡层，4
‑
第一滤孔，5
‑
第二滤孔，6
‑
第三滤孔。
具体实施方式
[0021]下面结合附图及具体实施例来对本技术作进一步阐述。在此需要说明的是，对于这些实施例方式的说明虽然是用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。本文公开的特定结构和功能细节仅用于描述本技术示例的实施例。然而，可用很多备选的形式来体现本技术，并且不应当理解为本技术限制在本文阐述的实施例中。
[0022]根据本公开的具体实施方式，提供了一种碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置，图1至图4示出了其中的一种实施例。
[0023]现在采用的技术是碲化镉腔室的8A部分通过管道直接连接到真空泵，在工艺过程中真空腔室中有碲化镉受热升发现象，大部分碲化镉通过升华会沉积在TCO玻璃上面，但还是会有一小部分碲化镉随气流通过连接筒体进入真空泵组，由于碲化镉遇冷沉积后是颗粒状，很容易沉积在泵的转子和轴承上。而将过滤装置安装在腔室与真空泵之间的连接管道内部，可以增大工艺气体与过滤箱的接触面积，增加气体颗粒的沉积，减少对真空泵的污染，大大减少真空泵的维护频率。
[0024]参阅图1至图4所示，该碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置包括基板1和筒体2，所述基板1呈空心结构，且所述基板1的上表面设有多个呈阵列布设的第一滤孔4，所述基板1的下表面设有多个呈阵列布设的第二滤孔5，所述第一滤孔4和所述第二滤孔5错位设置；所述筒体2内设有1～3层阻挡层3，所述阻挡层3上设有多个第三滤孔6。
[0025]通过上述技术方案，基于第一滤孔4、第二滤孔5和第三滤孔6的设置，阻挡气体流动，可以延长工艺气体与过滤箱的接触时间，并增大接触面积。由此，通过这种方式来增加沉积的气体颗粒总量，减少对真空泵的污染，有效提高真空泵的使用效果和使用质量。而积灰较多的情况下，可以将该过滤装置快速地从碲化镉腔室拆除，并进行清理，可以缩短维护时间、降低维护成本。同时，由于方便清理，且不需要通过特殊的方式进行加工，因此，所闲
置的时间的较短，由于降低设备成本。
[0026]在一种实施例中，所述第一滤孔4、所述第二滤孔5和所述第三滤孔6的孔径为2mm～3mm，以能够有效地过滤气体中的大颗粒物质，从而保障工艺气的过滤效果和过滤质量。
[0027]在本公开提供的一种实施例中，所述基板1和所述筒体2的外表面为磨砂表面，有利于碲化镉微粒的吸附。
[0028]具体地，所述基板1和所述筒体2的外表面的粗糙度为Ra3.2～Ra6.3，这样设置，可以减少并避免外表面出现金属毛刺，既有利于吸附也可以防止金属屑进入真空泵、损坏泵体。
[0029]在一种实施例中，基板1和筒体2的外表面的粗糙度为Ra3.2；在另一种实施例中，基板1和筒体2的外表面的粗糙度为Ra6.3。
[0030]沿所述筒体2的轴线方向，不同的阻挡层3上的第三滤孔6错位设置。这样设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置，其特征在于，包括基板(1)和筒体(2)，所述基板(1)呈空心结构，且所述基板(1)的上表面设有多个呈阵列布设的第一滤孔(4)，所述基板(1)的下表面设有多个呈阵列布设的第二滤孔(5)，所述第一滤孔(4)和所述第二滤孔(5)错位设置；所述筒体(2)内设有1～3层阻挡层(3)，所述阻挡层(3)上设有多个第三滤孔(6)。2.根据权利要求1所述的碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置，其特征在于，所述第一滤孔(4)、所述第二滤孔(5)和所述第三滤孔(6)的孔径为2mm～3mm。3.根据权利要求2所述的碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置，其特征在于，所述基板(1)和所述筒体(2)的外表面为磨砂表面。4.根据权利要求1所述的碲化镉设备腔室多孔粉尘过滤装置，其特征在于，所述基板(1)和所述筒体(2)的外表面的粗糙度为Ra3....

【专利技术属性】
技术研发人员：岳志远，殷新建，蒋猛，陈东强，
申请(专利权)人：邯郸中建材光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：