下载多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备的技术资料

文档序号:37013244

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本实用新型涉及激光刻划设备领域,具体涉及一种多通道在线实时自动对焦的激光刻划设备。该激光刻划设备包括激光发射器、激光扫描器、聚焦镜片、调焦镜片、调节装置、检测装置和控制器,调节装置用于调整调焦镜片的位置;激光扫描器设置于发电玻璃的正上方投影...
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