一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具制造技术

本实用新型专利技术涉及光谱自动膜厚测绘应用技术领域，且公开了一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具，包括测试平台，所述测试平台内部设置有固定机构。通过活动定位杆在对应槽内导向往复运动，再将圆挡和平档分别装在黑色箭头所指活动定位杆上，并用弹簧衔接其上，起到伸缩功能；通过如图2局部放大图中黑色箭头所指，两边的平档和圆挡部分分别有下部延伸区域可以掐入测试平台下方缺口，使用时分别扣动平档和圆挡上方圆弧缺口处，弹簧会自动回弹使平档和圆挡高出平台面实现对应位置晶圆固定作用，使用完毕后，回拨圆挡和平档并按压对应两组弹簧收缩，压平后，松开圆挡和平档，两者因弹簧回弹，自动掐入图2局部放大图的位置。置。置。

【技术实现步骤摘要】
一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具


[0001]本技术涉及光谱自动膜厚测绘应用
，具体为一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具。

技术介绍

[0002]自动光学薄膜厚度测绘仪是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自动薄膜厚度测绘仪。它利用波长范围最宽为200
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1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，自动光学薄膜厚度测绘仪就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度，以及其他光学常数如反射率、折射率和消光系数等，其厚度最大测绘范围可以达到1nm～250um。自动光学薄膜厚度测绘仪由测绘主机、测绘平台、Y型光纤及上位机软件搭建而成，核心器件采用高分辨率、高灵敏度光谱仪结合奥谱天成独有的算法技术，为用户提供的全新一代领先的自动光学薄膜厚度测量仪。
[0003]现有自动光学薄膜厚度测绘仪中测试平台部分基本采用外置挡板形式，在分别对4,6,8寸晶圆测试时，需要反复拆装对应尺寸的挡板，费时费工，且多次拆装容易影响平台的稳定性，本专利克服了频繁拆装晶圆挡板的问题，采用弹簧伸缩装置使用时将该装置弹出，不需要使用时，将伸缩装置按压下即可。为此需要提供一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具，包括测试平台，所述测试平台内部设置有固定机构；
[0006]所述固定机构包括支撑底座，所述支撑底座内壁设置有活动支座，所述活动支座表面与支撑底座内壁滑动连接，所述支撑底座表面与活动支座表面均开设有通孔，两个通孔内壁均设置有活动定位杆，两根所述活动定位杆表面分别与两个通孔内壁插接，所述活动支座表面开设有通孔二，通孔二内壁设置有挡片定位杆，所述挡片定位杆表面与通孔二内壁插接。
[0007]优选的，所述固定机构共有两组，两组所述固定机构分别设置在两个凹槽内壁，通过两组固定机构的设置，使得本装置改变了需要频繁拆装对应挡板的问题，保证了设备使用的效率及设备的稳定性。
[0008]优选的，所述测试平台左端凹槽内壁设置有晶圆板圆档，所述晶圆板圆档左面开设有通槽一，左端所述挡片定位杆表面与通槽一内壁滑动连接，通过活动定位杆在对应槽内导向往复运动，再将晶圆板圆挡装在活动定位杆上，并用弹簧一衔接其上，起到伸缩功能。
[0009]优选的，所述测试平台右端凹槽内壁设置有晶圆板平档，所述晶圆板平档右面开
设有通槽二，右端所述挡片定位杆表面与通槽二内壁滑动连接，通过活动定位杆在对应槽内导向往复运动，再将晶圆板平挡装在活动定位杆上，并用弹簧二衔接其上，起到伸缩功能。
[0010]优选的，通槽一内壁设置有弹簧一，弹簧一左面与通槽一内壁固定连接，左端所述挡片定位杆左面与弹簧一右面固定连接，通过弹簧一的设置，使得左端活动定位杆能够实现伸缩。
[0011]优选的，通槽二内壁设置有弹簧二，弹簧二右面与通槽二内壁固定连接，右端所述挡片定位杆右面与弹簧二左面固定连接，通过弹簧二的设置，使得右端活动定位杆能够实现伸缩。
[0012]优选的，所述测试平台顶面开设有两个凹槽，两个所述支撑底座底面分别与两个凹槽内壁固定连接，通过两个凹槽的设置，使得测试平台两面能够紧固固定。
[0013]优选的，通孔一和通孔二的数量均为两组，两组所述活动定位杆表面分别与两组通孔内壁插接，两组所述挡片定位杆表面分别与两组通孔二内壁插接，通过两个通孔一和两个通孔二的设置，使得两个挡片定位杆能够更加稳固。
[0014]优选的，两个凹槽内壁开设有通孔三，两个所述活动定位杆表面分别与两个通孔三内壁插接，通过通孔三的设置，使得活动定位杆能够更加稳固。
[0015]优选的，两个凹槽内壁均开设有L型槽，两个L型槽内壁分别与晶圆板圆档表面和晶圆板平档表面嵌入式连接，通过两个L型槽的设置，使得晶圆板圆档和晶圆板平档能够更加稳固。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具，通过活动定位杆在对应槽内导向往复运动，再将圆挡和平档分别装在黑色箭头所指活动定位杆上，并用弹簧衔接其上，起到伸缩功能；通过如图2局部放大图中黑色箭头所指，两边的平档和圆挡部分分别有下部延伸区域可以掐入测试平台下方缺口，使用时分别扣动平档和圆挡上方圆弧缺口处，弹簧会自动回弹使平档和圆挡高出平台面实现对应位置晶圆固定作用，使用完毕后，回拨圆挡和平档并按压对应两组弹簧收缩，压平后，松开圆挡和平档，两者因弹簧回弹，自动掐入图2局部放大图的位置。
附图说明
[0017]图1为本技术整体结构分解图；
[0018]图2为本技术固定机构结构示意图；
[0019]图3为本技术整体结构正视剖视图；
[0020]图4为本技术图3中A处的结构放大图；
[0021]图5为本技术整体结构俯视图。
[0022]图中：1测试平台、2晶圆板圆档、3晶圆板平档、4固定机构、401支撑底座、402活动支座、403活动定位杆、404挡片定位杆。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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图5，本技术提供一种技术方案：一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具，包括测试平台1，测试平台1内部设置有固定机构4；
[0025]测试平台1顶面开设有凹槽，固定机构4共有两组，两组固定机构4分别设置在两个凹槽内壁，固定机构4包括支撑底座401，支撑底座401底面与凹槽内壁固定连接，测试平台1顶面开设有两个凹槽，两个支撑底座401底面分别与两个凹槽内壁固定连接，支撑底座401内壁设置有活动支座402，活动支座402表面与支撑底座401内壁滑动连接，支撑底座401表面与活动支座402表面均开设有通孔，两个通孔内壁均设置有活动定位杆403，两根活动定位杆403表面分别与两个通孔内壁插接，活动支座402表面开设有通孔二，通孔二内壁设置有挡片定位杆404，挡片定位杆404表面与通孔二内壁插接，通孔一和通孔二的数量均为两组，两组活动定位杆403表面分别与两组通孔内壁插接，两组挡片定位杆404表面分别与两组通孔二内壁插接，两个凹槽内壁开设有通孔三，两个活动定位杆403表面分别与两个通孔三内壁插接，测试平台1左端凹槽内壁设置有晶圆板圆档2，晶圆板圆档2左面开设有通槽一，左端挡片定位杆404表面与通槽一内壁滑动连接，通槽一内壁设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具，包括测试平台(1)，其特征在于：所述测试平台(1)内部设置有固定机构(4)；所述固定机构(4)包括支撑底座(401)，所述支撑底座(401)内壁设置有活动支座(402)，所述活动支座(402)表面与支撑底座(401)内壁滑动连接，所述支撑底座(401)表面与活动支座(402)表面均开设有通孔，通孔内壁均设置有活动定位杆(403)，所述活动定位杆(403)表面与通孔内壁插接，所述活动支座(402)表面开设有通孔二，通孔二内壁设置有挡片定位杆(404)，所述挡片定位杆(404)表面与通孔二内壁插接。2.根据权利要求1所述的一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具，其特征在于：所述固定机构(4)共有两组，两组所述固定机构(4)分别设置在两个凹槽内壁。3.根据权利要求1所述的一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具，其特征在于：所述测试平台(1)左端凹槽内壁设置有晶圆板圆档(2)，所述晶圆板圆档(2)左面开设有通槽一，左端所述挡片定位杆(404)表面与通槽一内壁滑动连接。4.根据权利要求1所述的一种自动光学薄膜厚度测绘仪测试平台一体化固定扣具，其特征在于：所述测试平台(1)右端凹槽内壁设置有晶圆板平档(3)，所述晶圆板平档(3)右面开设有通槽二，右端所述挡片定位杆(404)表面与通槽二内壁滑动连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鸿飞，丁浩，黄晓晓，
申请(专利权)人：奥谱佳测江苏信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：