一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置，包括：测试平台；自转电机，测试平台置于自转电机的转动端，且测试平台绕自转电机的转动端旋转，自转电机用于带动测试平台旋转；位移机构，自转电机置于位移机构上，且位移机构与自转电机连接，位移机构用于带动自转电机移动；底板，位移机构置于所述底板上，且所述位移机构与所述底板连接。上述技术方案通过测试平台、自转电机、位移机构以及底板的设置，使得所述自转电机可独立控制所述测试平台的转动；所述位移机构可独立控制所述自转电机的移动轨迹，即所述位移机构只负责自转半径的调节。这样有效的规避了频繁使用双电机定位而造成的误差值，且减小了整体体积，有效的提升了量产效率。了量产效率。了量产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置


[0001]本技术涉及自动膜厚测量仪测试平台调节
，尤其涉及一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置。

技术介绍

[0002]自动光学薄膜厚度测绘仪利用卤素灯及紫外灯反射及透射原理检验薄膜反射型号，并通过算法进行标定的装置。
[0003]现有自动光学薄膜厚度测绘仪中为了实现一个相对大范围的360检测通常采用较大的XY双向转动平台，由于双向转动平台是两者联动运行，定位会有误差，且平台过于大，下部支撑通常采用多个零件组成，因平台要求较高的平面度，所以需要多个零件的配合公差、尺寸链的匹配，对量产要求较高，成本贵，且完整一套设备的重量重，体积较大。

技术实现思路

[0004]鉴于上述问题，本申请提供一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置，以提高装置的精确度，同时提升产量和效率。
[0005]为实现上述目的，本申请提供了一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置，包括：
[0006]测试平台；
[0007]自转电机，所述测试平台置于所述自转电机的转动端，且所述测试平台绕所述自转电机的转动端旋转，所述自转电机用于带动所述测试平台旋转；
[0008]位移机构，所述自转电机置于所述位移机构上，且所述位移机构与所述自转电机连接，所述位移机构用于带动所述自转电机移动；
[0009]底板，所述位移机构置于所述底板上，且所述位移机构与所述底板连接。
[0010]在一些实施例中，所述测试平台包括第一旋转板、第二旋转板以及第三旋转板，所述第一旋转板固定于所述自转电机的转动端上，所述第二旋转板置于所述第一旋转板远离所述自转电机的一侧；所述第三旋转板置于所述第二旋转板远离所述第一旋转板的一侧。
[0011]在一些实施例中，所述第二旋转板的截面与所述第三旋转板的截面为相似图形，且所述第二旋转板的截面积小于所述第三旋转板的截面积。
[0012]在一些实施例中，所述测试平台上设置有依次贯穿所述第一旋转板、第二旋转板以及第三旋转板的通孔，螺丝穿过通过所述通孔将所述测试平台固定于所述自转电机上。
[0013]在一些实施例中，所述第二旋转板和/或第三旋转板为十字型。
[0014]在一些实施例中，所述位移机构包括：直线电机以及电机支撑座；
[0015]所述电机支撑座置于所述底板上，所述直线电机置于所述电机支撑座上，所述直线电机用于带动所述自转电机沿直线往复运动。
[0016]在一些实施例中，所述底板上设置有与所述位移机构适配的凹槽，且所述位移机构置于所述凹槽内。
[0017]在一些实施例中，所述自转电机远离所述位移机构的一侧设置有刻度线。
[0018]区别于现有技术，上述技术方案通过测试平台、自转电机、位移机构以及底板的设置，使得所述自转电机可独立控制所述测试平台的转动；所述位移机构可独立控制所述自转电机的移动轨迹，即所述位移机构只负责自转半径的调节。这样有效的规避了频繁使用双电机定位而造成的误差值，且减小了整体体积，有效的提升了量产效率。
[0019]上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式。
附图说明
[0020]通过阅读对下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在全部附图中，用相同的附图标号表示相同的部件。在附图中：
[0021]图1为具体实施方式所述一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置结构图；
[0022]图2为具体实施方式所述一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置滑动示意图；
[0023]图3为具体实施方式所述一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置爆炸图；
[0024]图4为具体实施方式所述测试平台结构图；
[0025]图5为具体实施方式所述测试平台侧视图。
[0026]附图标记说明：
[0027]10、测试平台；
[0028]11、第一旋转板；
[0029]12、第二旋转板；
[0030]13、第三旋转板；
[0031]20、自转电机；
[0032]30、位移机构；
[0033]31、直线电机；
[0034]32、电机支撑座；
[0035]40、底板；
[0036]41、凹槽。
具体实施方式
[0037]下面将结合附图对本申请技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本申请的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本申请的保护范围。
[0038]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同；本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
[0039]在本申请实施例的描述中，技术术语“第一”“第二”等仅用于区别不同对象，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量、特定顺序或主次
关系。在本申请实施例的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0040]在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
[0041]在本申请实施例的描述中，术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0042]在本申请实施例的描述中，术语“多个”指的是两个以上(包括两个)，同理，“多组”指的是两组以上(包括两组)，“多片”指的是两片以上(包括两片)。
[0043]在本申请实施例的描述中，技术术语“中心”“纵向”“横向”“长度”“宽度”“厚度”“上”“下”“前”“后”“左”“右”“竖直”“水平”“顶”“底”“内”“外”“顺时针”“逆时针”“轴向”“径向”“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。
[0044]在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，技术术语“安装”“相连”“连接”“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置，其特征在于，包括：测试平台；自转电机，所述测试平台置于所述自转电机的转动端，且所述测试平台绕所述自转电机的转动端旋转，所述自转电机用于带动所述测试平台旋转；位移机构，所述自转电机置于所述位移机构上，且所述位移机构与所述自转电机连接，所述位移机构用于带动所述自转电机移动；底板，所述位移机构置于所述底板上，且所述位移机构与所述底板连接。2.根据权利要求1所述一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置，其特征在于，所述测试平台包括第一旋转板、第二旋转板以及第三旋转板，所述第一旋转板固定于所述自转电机的转动端上，所述第二旋转板置于所述第一旋转板远离所述自转电机的一侧；所述第三旋转板置于所述第二旋转板远离所述第一旋转板的一侧。3.根据权利要求2所述一种自动膜厚测量仪测试平台调节装置，其特征在于，所述第二旋转板的截面与所述第三旋转板的截面为相似图形，且所述第二旋转板的截面积小于所述第三旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鸿飞，丁浩，黄晓晓，
申请(专利权)人：奥谱佳测江苏信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：