一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，包括套在氮化炉外侧的多个冷却套环，各个冷却套环自上而下等距排列并与设在氮化炉外的升降机构连接，冷却套环包括外调节环和导热内环，外调节环和导热内环之间有留有间隔。本实用新型专利技术与传统氮化炉冷却装置有所区别的是，每个冷却套环相互独立，且留有相互距离的间隔，其能根据氮化炉的工作状态，对炉体的各个区段分开进行冷却控制，由于冷却套环与氮化炉外的升降机构连接，通过升降机构可控制各个冷却套环的位置，进而对炉体的冷却区域进行调整，保证炉体冷却均匀。保证炉体冷却均匀。保证炉体冷却均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置


[0001]本技术涉及冷却装置
，尤其涉及一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置。

技术介绍

[0002]在氮化炉进行渗氮处理后，需要将工件随炉体同步冷却，在冷却过程中，多数采用循环水冷的方式，进行热量交换，且循环水从底部进入，后从顶部排出。但由于冷却水在氮化炉底部时能够吸收较多的热量，但是随着水温的上升，其在氮化炉顶部时，吸收的热量有限，造成炉体底部温度先于顶部冷却，因此造成炉体内降温速度不一致，影响内部工件的渗氮质量。
[0003]于是申请号为CN202020907839.4的专利，其公开了一种氮化炉冷却系统，包括供水系统和自下至上依次布置的N级换热板，换热板内部设置螺旋水道，供水系统包括进水主管、排水主管和电动分水器，电动分水器的入水口与螺旋水道的出水口连通，电动分水器的两个出水口分别连通下一级换热板内部螺旋水道的进水口和排水主管，次级的螺旋水道进水口处设置三通阀。通过将冷却系统采用分级换热的设计，每级换热内部通入可调温的换热介质，从而解决炉体内降温速度不一致。在该冷却系统中，由于各段换热板环绕在炉体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，包括套在氮化炉外侧的多个冷却套环，其特征在于，各个所述冷却套环自上而下等距排列并与设在氮化炉外的升降机构连接，所述冷却套环包括外调节环(1)和导热内环(2)，所述外调节环(1)和导热内环(2)之间有留有间隔；所述间隔内设有螺旋管(3)，所述螺旋管(3)与导热内环(2)外侧相接，所述螺旋管(3)两端与设在外调节环(1)外的回流管件连通，所述间隔内设有风冷组件，所述风冷组件环绕在螺旋管(3)的周围并与外调节环(1)内侧固定连接。2.根据权利要求1所述的一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，其特征在于：所述回流管件包括注液管(6)和排液管(7)，所述注液管(6)一端与外部供液泵机连通，所述注液管(6)另一端设有多个支管(8)，位于所述注液管(6)上的各个支管(8)与设在各个螺旋管(3)上端口的第一接头(4)相连通，所述排液管(7)一端与外部冷凝设备连通，所述排液管(7)另一端设有多个支管(8)，位于所述排液管(7)上的各个支管(8)与设在各个螺旋管(3)下端口的第二接头(5)连通。3.根据权利要求2所述的一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，其特征在于：所述第一接头...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙燕清，王祎，陈能儿，
申请(专利权)人：浙江中电环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：