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本实用新型提供了一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，包括套在氮化炉外侧的多个冷却套环，各个冷却套环自上而下等距排列并与设在氮化炉外的升降机构连接，冷却套环包括外调节环和导热内环，外调节环和导热内环之间有留有间隔。本实用新型与传统氮化炉冷却装置有...
该专利属于浙江中电环境科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江中电环境科技有限公司授权不得商用。

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