一种扩散炉用的石英舟降温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉用的石英舟降温装置，包括箱体，所述箱体内设置有使石英舟受热均匀的旋转结构；所述箱体下壁设置有制冷腔，所述制冷腔内设置有使箱体内温度下降的制冷结构，所述制冷结构包括若干个能够朝向石英舟位置排风的排风扇。本实用新型专利技术能够使石英舟受热更加均匀和保持良好的降温环境，减少了造成不良片的产生，而且大量节省了降温时间，提高了生产加工效率。提高了生产加工效率。提高了生产加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉用的石英舟降温装置


[0001]本技术涉及太阳能电池片加工
，具体为一种扩散炉用的石英舟降温装置。

技术介绍

[0002]在硅片处理过程中，扩散设备具备十分重要；通过扩散工序用于形成电池片的PN结，用于发电产生电流；在异质结工艺太阳能电池片生产工艺中，采用扩散工艺对生产电池片的原材料硅片进行去除杂质的处理，提升电池片的转换效率。
[0003]传统的扩散工艺完成之后，自动化的桨会把石英舟取出来，舟和硅片的温度会从800度慢慢降到300度左右，然后机械臂将舟取放到缓存区域，缓存区域有多个风扇吹扫，降至室温后下片进入下道工序，这种降温方法的降温时间长，一轮降温时间需30分钟左右，而且石英舟上各个部位的散热不均匀，降温环境差，硅片容易受污染，造成不良片，严重影响生产加工效率。

技术实现思路

[0004]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种扩散炉用的石英舟降温装置，能够使石英舟受热更加均匀和保持良好的降温环境，减少了造成不良片的产生，而且大量节省了降温时间，提高了生产加工效率。
[0005]为解决上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉用的石英舟降温装置，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)内设置有使石英舟(6)受热均匀的旋转结构；所述箱体(1)下壁设置有制冷腔(2)，所述制冷腔(2)内设置有使箱体(1)内温度下降的制冷结构，所述制冷结构包括若干个能够朝向石英舟(6)位置排风的排风扇(4)。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉用的石英舟降温装置，其特征在于，所述制冷结构还包括设置于制冷腔(2)内的半导体制冷片(3)，若干个所述排风扇(4)在同一水平面上且等间距设置于箱体(1)内壁上，若干个所述排风扇(4)分别通过排风管(7)与所述制冷腔(2)相连通。3.根据权利要求2所述的一种扩散炉用的石英舟降温装置，其特征在于，所述半导体制冷片(3)的热端紧贴制冷腔(2)的下壁，所述半导体制冷片(3)的热端设置有多个散热片(5)，所述散热片(5)设置于制冷腔(2)外部...

【专利技术属性】
技术研发人员：李贺杰，赵俊鹏，耿朝阳，李志斌，
申请(专利权)人：江苏华恒新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：