本实用新型专利技术公开了一种碳化硅晶体生长用筛分装置，包括外壳、加热组件和筛分机构，所述外壳内形成有容纳腔，所述外壳的侧壁上安装有密封门；所述加热组件设于所述容纳腔内；所述筛分机构包括布置在所述容纳腔内的筛分架、筛网组件、输料管道和动力机构；所述筛分架内形成有多个间隔布置的安装腔；所述筛网组件插装在所述安装腔内，所述筛网组件上设有出料口；所述输料管道的进料端与所述筛网组件的出料口连接；所述动力机构布置在所述外壳的外部，所述动力机构与所述筛分架连接，以带动所述筛分架往复摆动实现物料筛分。本实用新型专利技术能够对碳化硅晶体生长使用后的净化材料进行筛分，以挑出合格的净化材料以备后续使用，降低了成本，提高了效率。提高了效率。提高了效率。
【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶体生长用筛分装置
[0001]本技术涉及碳化硅晶体生长领域，尤其是涉及一种碳化硅晶体生长用筛分装置。
技术介绍
[0002]物理气相传输法(PVT)作为制备导电型碳化硅晶体最常用的方法之一，主要是通过对坩埚进行加热，当其温度达到2100℃以上时，坩埚内的碳化硅粉末受热升华，向上移动，并在坩埚内温度梯度的作用下于坩埚盖的碳化硅籽晶上结晶、生长，从而成功地长出碳化硅晶体。考虑到晶体生长过程中，坩埚内部气氛不同，前期富硅，后期富碳，这两种状态易产生硅滴、碳包裹等杂质，导致晶体缺陷。为了减少上述情况的发生，通常会在坩埚内碳化硅粉料的上方设置净化材料，净化材料可抑制硅原子、碳原子的产生，以此来减少硅滴、碳包裹等杂质的产生，提升晶体生长的良率。
[0003]目前，为了降低使用成本，一般会将使用后的净化材料进行处理后再次投入使用。具体的，待生长结束取出碳化硅晶体后，可将石墨滤网上的净化材料倒出，经过初步的清洗烘干后，由人工靠肉眼识别挑出晶块，并将吸附在净化材料上的晶渣剥离，将合格的净化材料挑选出来以备后续使用，但大块的挑选，剥离相对简单，小的不好操作，费时费力，效率低。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术在于提出一种碳化硅晶体生长用筛分装置，可实现对碳化硅晶体生长使用后的净化材料进行筛分，以挑出合格的净化材料以备后续使用，降低成本，提高效率。
[0005]根据本技术实施例的碳化硅晶体生长用筛分装置，包括：
[0006]外壳，所述外壳内形成有容纳腔，所述外壳的侧壁上安装有密封门；
[0007]加热组件，所述加热组件设于所述容纳腔内；
[0008]筛分机构，所述筛分机构包括筛分架、筛网组件、输料管道和动力机构，所述筛分架布置在所述容纳腔内，并能够转动地安装在所述外壳上；所述筛分架内形成有多个间隔布置的安装腔；所述筛网组件插装在所述安装腔内，所述筛网组件上设有出料口；所述输料管道的进料端与所述筛网组件的出料口连接；所述动力机构布置在所述外壳的外部，所述动力机构与所述筛分架连接，以带动所述筛分架往复摆动实现物料筛分；
[0009]其中，所述外壳的侧壁上设有进气口，所述外壳的顶端设有散热孔，所述外壳的底部设有排料口，所述输料管道的出料端与所述排料口连接；所述排料口处安装有阀门。
[0010]根据本技术实施例的碳化硅晶体生长用筛分装置，针对晶渣与净化材料粘接之间留存有间隙的特点，通过提供密封的空间，在加热组件提供的高温条件下，晶渣与净化材料之间的间隙增大，物料间的相互摩擦使其从净化材料上分离。同时，还可实现对净化材料进行筛分，以挑出合格的净化材料以备后续使用，降低了成本，提高了效率。
[0011]在本技术的一些实施例中，所述筛网组件为上开口的抽屉状结构，所述出料口开设在所述筛网组件的后侧壁上，所述筛网组件的后侧壁上设有用于封堵所述出料口的封板。
[0012]在本技术的一些实施例中，还包括称重机构，所述称重机构包括：
[0013]储料斗，所述储料斗布置在所述外壳的下方正对所述排料口的位置；
[0014]称重单元，所述称重单元包括：
[0015]壳体，所述壳体内设有中空腔，所述壳体具有与所述中空腔连通的上开口和下开口；
[0016]封口组件，所述封口组件设置在所述中空腔内，以使所述上开口和所述下开口连通或隔断；
[0017]压力传感器，所述压力传感器安装在所述封口组件内；
[0018]其中，所述壳体的上开口于所述储料斗的出料口连通。
[0019]在本技术的一些实施例中，所述封口组件包括第一挡板，所述第一挡板具有第一工作状态和第二工作状态，在所述第一工作状态，所述第一挡板位于所述上开口和所述下开口之间，以使所述上开口和所述下开口隔断；在所述第二工作状态，所述第一挡板远离所述上开口和所述下开口，以使所述上开口和所述下开口连通。
[0020]在本技术的一些实施例中，还包括设置在所述称重机构下方的分装机构，所述分装机构包括：
[0021]坩埚台，所述坩埚台内形成有第一腔体，所述坩埚台的上表面设有多个与所述第一腔体上端连通的第一吸孔，所述第一腔体的进气端贯穿所述坩埚台，并连接有第一抽气机构；
[0022]旋转机构，所述旋转机构设在所述坩埚台的下方，以带动所述坩埚台自转；
[0023]其中，所述坩埚台与所述储料斗偏心设置。
[0024]在本技术的一些实施例中，还包括布置在所述分装机构一侧的振动机构，所述振动机构包括：
[0025]振动台，所述振动台内形成有第二腔体，所述振动台的上表面设有多个与所述第二腔体上端连通的第二吸孔，所述第二腔体的进气端贯穿所述振动台，并连接有第二抽气机构；
[0026]振动电机，所述振动电机安装在所述振动台的底部。
[0027]在本技术的一些实施例中，所述振动机构还包括布置在所述振动台下方的复位弹簧，所述复位弹簧远离所述振动台的一端与振动台安装支架连接。
[0028]在本技术的一些实施例中，还包括设置在所述分装机构远离所述振动机构一侧的推杆机构，所述推杆机构包括电动伸缩杆和设在所述电动伸缩杆端部的推板。
[0029]在本技术的一些实施例中，所述动力机构包括：
[0030]双向伺服电机，所述双向伺服电机布置在所述外壳的外部；
[0031]主动齿轮，所述主动齿轮安装在所述双向伺服电机的输出端；
[0032]从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述筛分架伸至所述外壳外部的端部，并与所述主动齿轮相啮合；
[0033]其中，所述从动齿轮周向上的齿纹夹角不超过60
°
。
[0034]在本技术的一些实施例中，所述加热组件包括多个电钨丝加热管，所述电钨丝加热管的两端与所述外壳的两侧内壁连接，所有所述电钨丝加热管均匀布置在所述筛分机构的上方和下方。
[0035]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0036]图1是根据本技术一个实施例的碳化硅晶体生长用筛分装置的示意图；
[0037]图2是图1中碳化硅晶体生长用筛分装置主视图的剖视图；
[0038]图3是图1中碳化硅晶体生长用筛分装置右视图的剖视图；
[0039]图4是图3中称重机构和分装机构的放大示意图；
[0040]图5是筛分组件后侧壁的示意图；
[0041]图6是称重单元称重时的示意图；
[0042]图7是图6的俯视图的剖视图；
[0043]图8是称重单元放料时的示意图；
[0044]图9是图8的俯视图的剖视图；
[0045]图10是动力机构中主动齿轮和从动齿轮的示意图。
[0046]附图标记：
[0047]筛分装置100；
[00本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，包括：外壳，所述外壳内形成有容纳腔，所述外壳的侧壁上安装有密封门；加热组件，所述加热组件设于所述容纳腔内；筛分机构，所述筛分机构包括筛分架、筛网组件、输料管道和动力机构，所述筛分架布置在所述容纳腔内，并能够转动地安装在所述外壳上；所述筛分架内形成有多个间隔布置的安装腔；所述筛网组件插装在所述安装腔内，所述筛网组件上设有出料口；所述输料管道的进料端与所述筛网组件的出料口连接；所述动力机构布置在所述外壳的外部，所述动力机构与所述筛分架连接，以带动所述筛分架往复摆动实现物料筛分；其中，所述外壳的侧壁上设有进气口，所述外壳的顶端设有散热孔，所述外壳的底部设有排料口，所述输料管道的出料端与所述排料口连接；所述排料口处安装有阀门。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述筛网组件为上开口的抽屉状结构，所述出料口开设在所述筛网组件的后侧壁上，所述筛网组件的后侧壁上设有用于封堵所述出料口的封板。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，还包括称重机构，所述称重机构包括：储料斗，所述储料斗布置在所述外壳的下方正对所述排料口的位置；称重单元，所述称重单元包括：壳体，所述壳体内设有中空腔，所述壳体具有与所述中空腔连通的上开口和下开口；封口组件，所述封口组件设置在所述中空腔内，以使所述上开口和所述下开口连通或隔断；压力传感器，所述压力传感器安装在所述封口组件内；其中，所述壳体的上开口于所述储料斗的出料口连通。4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述封口组件包括第一挡板，所述第一挡板具有第一工作状态和第二工作状态，在所述第一工作状态，所述第一挡板位于所述上开口和所述下开口之间，以使所述上开口和所述下开口隔断；在所述第二工作状态，所述第一挡板远离所述上开口和所述下开口，以使所述上开口和所述下开口连通。5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘留，陈俊宏，
申请(专利权)人：江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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