碳化硅粉的合成装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅粉的合成装置，该合成装置包括反应坩埚、反应组件和出料组件，所述反应坩埚限定出反应腔，所述反应坩埚的底部设有出料口；所述反应组件有多个，多个所述反应组件设于所述反应腔内，用于提供反应场所并将反应生成的碳化硅粉输送至所述反应腔的底部；所述出料组件设于所述反应腔内，用于将堆积在所述反应腔底部的碳化硅粉推送至所述出料口；所述反应坩埚侧壁的上部设有供反应气体通入的第一进气口，所述反应坩埚侧壁的下部设有供载气通入的第二进气口；所述反应坩埚的顶部设有出气孔。本实用新型专利技术可降低碳化硅粉末内部单质夹杂问题，获得高纯度的碳化硅粉；同时还可进行连续出料，提升产率和效率。提升产率和效率。提升产率和效率。

【技术实现步骤摘要】
碳化硅粉的合成装置


[0001]本技术涉及碳化硅粉合成领域，尤其是涉及一种碳化硅粉的合成装置。

技术介绍

[0002]碳化硅作为第三代半导体的代表，在新能源等领域具有重要作用。碳化硅晶体的重要原辅料之一是碳化硅粉，而碳化硅粉的纯度直接影响碳化硅晶体的质量，且对其导电性能、位错密度以及杂质含量等也有重大影响，因此想要获取高质量的碳化硅晶体，就必须要以高纯度的碳化硅粉作为原料。但现有碳化硅粉的制备存在合成纯度低、内含包裹物、无法连续出料等问题。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术在于提出一种碳化硅粉的合成装置，能够降低碳化硅粉末内部单质夹杂问题，提升碳化硅粉的纯度，制得高纯度的碳化硅粉；同时还可进行连续出料，提升产率和效率。
[0004]本技术还提出一种利用上述合成装置合成碳化硅粉的方法。
[0005]根据本技术实施例中碳化硅粉的合成装置，包括：
[0006]反应坩埚，所述反应坩埚限定出反应腔，所述反应坩埚的底部设有出料口；
[0007]反应组件，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅粉的合成装置，其特征在于，包括：反应坩埚，所述反应坩埚限定出反应腔，所述反应坩埚的底部设有出料口；反应组件，所述反应组件有多个，多个所述反应组件设于所述反应腔内，用于提供反应场所并将反应生成的碳化硅粉输送至所述反应腔的底部；出料组件，所述出料组件设于所述反应腔内，用于将堆积在所述反应腔底部的碳化硅粉推送至所述出料口；其中，所述反应坩埚侧壁的上部设有供反应气体通入的第一进气口，所述反应坩埚侧壁的下部设有供载气通入的第二进气口；所述反应坩埚的顶部设有出气孔。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅粉的合成装置，其特征在于，所述反应组件包括：反应杆，所述反应杆布置在所述反应腔内，用于提供反应场所；收集器，所述收集器设于所述反应杆上，所述收集器可沿所述反应杆的轴向方向往复移动，以将沉积在反应杆上的碳化硅粉从反应杆上剥离；驱动机构，所述驱动机构与所述收集器连接，以驱动所述收集器在所述反应杆上的移动。3.根据权利要求2所述的一种碳化硅粉的合成装置，其特征在于，所述反应杆上设有碳化硅层。4.根据权利要求2所述的一种碳化硅粉的合成装置，其特征在于，所述驱动机构包括：第一螺杆，所述第一螺杆设于所述反应腔内，且能够转动地安装在所述反应坩埚上；第一电机，所述第一电机设于所述反应坩埚的外部，并与所述第一螺杆连接；连接板，所述连接板设于所述第一螺杆上，并可随所述第一螺杆的转动沿所述第一螺杆的轴向方向往复移动；其中，所述第一螺杆与所述反应杆平行布置；所述连接板与所述收集器连接。5.根据权利要求1所述的一种碳化硅粉的合成装置，其特征在于，所述反应坩埚的水平截面为圆形，所述出料...

【专利技术属性】
技术研发人员：许成凯，
申请(专利权)人：江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：