光阻剥离方法技术

一种光阻剥离方法，适用来剥离一有机电激发光显示面板表面上的光阻，其特征是，该方法包括：　　　　该有机电激发光显示面板置于一传输滚轮单元上；　　　　该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第一正丁基乙酯剥离槽中；　　　　在该第一正丁基乙酯剥离槽中，提供正丁基乙酯剥离该有机电激发光显示面板表面上的光阻；　　　　该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第二正丁基乙酯剥离槽中；　　　　在该第二正丁基乙酯剥离槽中，提供正丁基乙酯剥离该有机电激发光显示面板表面上的光阻；　　　　该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一异丙醇剥离清洗槽中；　　　　在该异丙醇剥离清洗槽中，提供异丙醇以去除残留于该有机电激发光显示面板表面的光阻及正丁基乙酯；　　　　该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第一清洗槽中；　　　　以去离子水喷洒该有机电激发光显示面板表面，以洗掉残留的异丙醇；　　　　该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第二清洗槽中；　　　　以去离子水喷洒该有机电激发光显示面板表面，以洗掉残留的异丙醇；　　　　该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一吹干单元中；　　　　以一风刀清除附着于该有机电激发光显示面板表面的去离子水。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关一种光阻剥离的方法，特别是有关于一种聚亚醯胺层的图案显影后的光阻剥离的方法。
技术介绍
有机电激发光显示器(organic light emitting display，OLED)具有自发光、高亮度、高对比、宽视角、驱动电压低与高速应答等优点，为目前新世代显示器中最被寄予厚望的平面显示器。然而由于其技术较新、发展相较于其它显示器晚，技术尚未完全成熟，故目前全世界仅有日本Pioneer有小尺寸的产品推出，显示OLED在商品化过程还有许多的障碍有待克服，特别是对量产化的技术而言。光阻剥离(stripping)是在半导体或显示器的黄光微影工艺的最后一道步骤，将上道蚀刻步骤中保护图案的光阻去除，避免光阻残留污染下一道黄光微影工艺，以获得干净的有线路图案基板。对OLED面板每一道的电极接线层、ITO(铟锡氧化物)阳极层、隔离层等结构层的微影图案定义后的光阻剥离工艺而言，由于所使用的ITO基板表面较现今半导体电路所使用的磊晶硅基板粗糙，使得光阻不易从ITO表面被剥离，容易有光阻的残留现象发生在显示面板的ITO表面。一旦光阻残留于显示面板表面，特别是在ITO阳极发光区，就会阻挡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张毅，卢添荣，
申请(专利权)人：铼宝科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：