一种测量剥离液中光阻的浓度的方法技术

本发明专利技术公开了一种测量剥离液中光阻的浓度的方法。该测量剥离液中光阻的浓度的方法以下步骤：S102：制备光阻标样；S104：采集标样及待测试的样品对应的光谱；S106：对所采集的光谱进行n阶求导，得到并存储第n阶求导曲线，其中n为大于或等于1的整数；和S108：基于所得到的第n阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。根据建立的标准曲线，即可准确计算出作为测试样品的剥离液中光阻的浓度。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了。该测量剥离液中光阻的浓度的方法以下步骤：S102：制备光阻标样；S104：采集标样及待测试的样品对应的光谱；S106：对所采集的光谱进行n阶求导，得到并存储第n阶求导曲线，其中n为大于或等于1的整数；和S108：基于所得到的第n阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。根据建立的标准曲线，即可准确计算出作为测试样品的剥离液中光阻的浓度。【专利说明】
本专利技术涉及。
技术介绍
光阻(Photoresist，简称PR)广泛应用于TFT行业中各膜层掩膜图案的形成。光阻可分为负型光阻和正型光阻。正型光阻经曝光后，其曝光部分会变得更加容易溶于显影液中，而未曝光部分在基板上留下图案。剥离液(Stripper)中的正型光阻含量通常采用紫外-可见分光光度法(UV-VIS)测量。现有的测量剥离液中光阻的浓度的方法通常为直接读取吸光度法并建立数据库。但这种方法操作复杂，应用意义不大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供，其可更准确地测定剥离液中光阻的浓度。本专利技术通过如下技术方案实现:，所述测量剥离液中光阻的浓度的方法包括以下步骤:S102:制备光阻标样；S104:采集标样及待测试的样品对应的光谱；S106:对所采集的光谱进行η阶求导，得到并存储第η阶求导曲线，其中η为大于或等于I的整数；和S108:基于所得到的第η阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。作为上述技术方案的进一步改进，所述S102中，将光阻涂布在素玻璃上，经过曝光制程、显影制程和蚀刻制程，将光阻刮取目标质量，在烧杯中模拟剥离过程，得到目标浓度的标样。作为上述技术方案的进一步改进，所述S104中，利用紫外-可见分光光度计采集标样及待测试的样品的光谱。作为上述技术方案的进一步改进，所述S104包括以下步骤:溶剂选择:选择合适的溶剂，并以该溶剂为测试参比液；剥离液光谱采集:取一定量的新鲜剥离液，用所述溶剂稀释一定倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线；标样光谱采集:将多个目标浓度的标样，用所述溶剂稀释所述倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线；样品光谱采集:取待测试的样品，用所述溶剂稀释所述倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线。作为上述技术方案的进一步改进，所述S106中，将新鲜剥离液、标样以及待测试的样品的吸收曲线进行η阶求导转换，并保存各个转换后的第η阶求导曲线，其中η为1、2、3或4。作为上述技术方案的进一步改进，所述S108中，当新鲜剥离液的第η阶求导曲线在第一波长处吸收为O,而标样及待测试的样品在第一波长处有一致波谷时，以第一波长处波谷值与标样的光阻的浓度建立标准曲线。作为上述技术方案的进一步改进，所述S108中，当新鲜剥离液的第η阶求导曲线在第二波长处吸收为0，而标样及待测试的样品在第二波长处有一致波峰时，以第二波长处波峰值与标样的光阻的浓度建立标准曲线。作为上述技术方案的进一步改进，所述S108中，当新鲜剥离液的第η阶求导曲线在第三波长至第四波长区间吸收均为0，而标样及待测试的样品在第三波长处有一致波谷且在第四波长处有一致波峰时，以第三波长至第四波长的振幅与标样的光阻的浓度建立标准曲线。作为上述技术方案的进一步改进，所述剥离液为有机胺类剥离液。作为上述技术方案的进一步改进，所述光阻为酚醛树脂类正型光阻。本专利技术的有益效果是:本专利技术的测量剥离液中光阻的浓度的方法中，先制备光阻标样；接着采集标样及待测试的样品对应的光谱；然后对所采集的光谱进行η阶求导，得到并存储第η阶求导曲线，其中η为大于或等于I的整数；最后基于所得到的第η阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。依据建立好的标准曲线，可更准确地测定剥离液中光阻的浓度。【专利附图】【附图说明】图1是根据本专利技术的一个具体实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法中制备光阻标样的步骤的示意图；图2是显示本专利技术的一个具体实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法中得到的第η阶求导曲线在λ I处形成波谷的示意图；图3是显示本专利技术的一个具体实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法中得到的第η阶求导曲线在λ 2处形成波峰的示意图；图4是显示本专利技术的一个具体实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法中得到的第η阶求导曲线在λ 3处形成波谷并在λ 4处形成波峰的示意图；图5是根据本专利技术的一个具体实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法的流程示意图。【具体实施方式】以下结合附图对本专利技术的【具体实施方式】进行进一步的说明。如图1至图5所示，本实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法包括以下步骤:S102:制备光阻标样；S104:采集标样及待测试的样品对应的光谱；S106:对所采集的光谱进行η阶求导，得到并存储第η阶求导曲线，其中η为大于或等于I的整数；和S108:基于所得到的第η阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。在本实施例中，所述剥离液为有机胺类剥离液。所述光阻为酚醛树脂类正型光阻。如图1所示，在所述S102中，将光阻涂布在素玻璃上(步骤Α)，经过曝光制程(步骤B)、显影制程(步骤C)和蚀刻制程(步骤D)，将光阻刮取目标质量，在烧杯中模拟剥离过程，得到目标浓度的标样(步骤F)。标样制备过程中，除用于涂布光阻的素玻璃不需要预先镀好金属膜或非金属膜层外，其他制程参数的设计与控制均需与实际产线上的参数完全一致。在所述S104中，利用紫外-可见分光光度计采集标样及待测试的样品的光谱。其中，所述S104包括以下步骤:溶剂选择:根据剥离液组分的溶解性质与化学性质，并结合经济、安全性，选择合适的溶剂，并以该溶剂为测试参比液；基线扫描:参比池以所述溶剂为参比，样品池放置溶剂，在可见光区-紫外光区扫描基线，并保存扫描曲线；剥离液光谱采集:取一定量的新鲜剥离液，用所述溶剂稀释一定倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线，并保存；标样光谱采集:将多个目标浓度的标样(例如3至5个)，用所述溶剂稀释所述倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线，并保存；样品光谱采集:取待测试的样品，用所述溶剂稀释所述倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线，并保存。在所述S106中，将新鲜剥离液、标样以及待测试的样品的吸收曲线进行η阶求导转换，并保存各个转换后的第η阶求导曲线，其中η例如为1、2、3或4。其中，可以采用紫外-可见分光光度计操作软件自带的“求导”功能，直接进行第η阶求导转换；也可以采用“吸光度-波长”的原始值进行积分逐级至第η阶求导，并用作图软件进行曲线拟合。在所述S108中，当新鲜剥离液的第η阶求导曲线在第一波长λ I处吸收为0，而标样及待测试的样品在第一波长λ I处有一致波谷时，如图2所示，以第一波长λ I处波谷值与标样的光阻的浓度建立标准曲线。在所述S108中，当新鲜剥离液的第η阶求导曲线在第二波长λ 2处吸收为0，而标样及待测试的样品在第二波长λ2处有一致波峰时，如图3所示，以第二波长λ2处波峰值与标样的光阻的浓度建立标准曲线。在所述S108中，当新鲜剥离液的第η阶求导曲线在第三波长λ 3至第四波长λ 4区间吸收均为0，而标样及待测试的样品在第三波长λ 3处有一致波谷且在第四波长λ 4处有一致波峰时，如图4所示，以第三波长λ3至第四波长λ4的振幅与标样的光阻的浓度建立标准本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述测量剥离液中光阻的浓度的方法包括以下步骤：S102：制备光阻标样；S104：采集标样及待测试的样品对应的光谱；S106：对所采集的光谱进行n阶求导，得到并存储第n阶求导曲线，其中n为大于或等于1的整数；和S108：基于所得到的第n阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王俐，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44