一种电镀装置。本实用新型专利技术的课题在于实现进行多种电镀时的空间节省。电镀装置具备：电镀作业部，在该电镀作业部中，包含旋转台部的至少一对电镀单元相邻配置；搬运起重机部，其具有架台，在将所述旋转台部相邻的方向设为第1方向且将与该第1方向交叉的方向设为第2方向时，该架台在所述电镀作业部的所述第2方向的一侧沿着所述第1方向延伸，该搬运起重机部以能够移动阴极容器的方式配置；以及投入部和/或回收部，其以能够载置所述阴极容器的方式配置在所述电镀作业部的周围的至少一方。置在所述电镀作业部的周围的至少一方。置在所述电镀作业部的周围的至少一方。
【技术实现步骤摘要】
电镀装置
[0001]本技术涉及一种电镀装置。
技术介绍
[0002]以往，已知如下的旋转式电镀装置(例如，参见专利文献1、专利文献2)，在该电镀装置中，使上表面侧开口、在内部收容有作为电镀对象物的工件和成为阳极的金属筒并且被供给了电镀液的阴极容器旋转来进行电镀处理。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2006
‑
22399号公报
[0006]专利文献2：日本特开2006
‑
274412号公报
技术实现思路
[0007]技术所要解决的课题
[0008]然而，存在对工件实施多种电镀的情况。在该情况下，针对每个电镀的种类准备电镀单元。此时，为了避免设备的大型化，要求适当地设定使阴极容器移动的动线。在专利文献1、专利文献2中，没有设想进行多种电镀，对于阴极容器的动线没有做出任何考虑，也没有考虑进行多种电镀时对空间的节省。
[0009]于是，本技术的课题在于实现进行多种镀覆时的空间节省。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]为了解决所述课题，本技术的电镀装置具有：电镀作业部，在该电镀作业部中，包含旋转台部的至少一对电镀单元相邻配置；搬运起重机部，其将阴极容器以能够移动的方式配置于所述旋转台部；架台，其使所述搬运起重机部移动；以及投入部和/或回收部，该投入部和/或回收部以能够载置所述阴极容器的方式配置于所述电镀作业部的周围的至少一方，在将所述旋转台部相邻的方向设为第1方向且将与该第1方向交叉的方向设为第2方向时，所述架台在所述电镀作业部的所述第2方向的一侧沿着所述第1方向延伸。
[0012]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述投入部和所述回收部隔着所述电镀作业部在所述第1方向上对置地配置。
[0013]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述投入部和所述回收部相邻，并且设置在所述电镀作业部的所述第1方向或第2方向的一侧。
[0014]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述架台以比至少所述一对电镀单元分别具有的旋转台部间的距离长的距离设置。
[0015]上述结构的电镀装置还可以构成为，在所述电镀作业部的所述第2方向的另一侧设置有配管设置部，该配管设置部配置有与电镀液供给管连接的配管。
[0016]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述电镀液供给管是挠性管。
[0017]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述阴极容器的上表面侧开口。
[0018]上述结构的电镀装置还可以构成为，在所述电镀作业部的所述第2方向的另一侧设置有电镀液槽，该电镀液槽与电镀液供给管连接。
[0019]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述投入部在所述第2方向的一侧具备待机位置。
[0020]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述回收部在所述第2方向的一侧具备取出位置。
[0021]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述一对电镀单元包括进行镀镍的单元和进行镀锡的单元。
[0022]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述一对电镀单元包括进行镀镍的单元和进行镀锡的单元，所述进行镀锡的单元配置在比进行镀镍的单元靠近所述回收部的一侧。
[0023]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述阴极容器在外形尺寸最大的外周面部具备电极。
[0024]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述阴极容器以至少能够从底部到侧壁部通电的方式设置。
[0025]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述一对电镀单元所具备的旋转台部之间的距离小于所述阴极容器的外径的3倍。
[0026]上述结构的电镀装置还可以构成为，所述一对电镀单元中的、之后进行电镀作业的单元所具备的旋转台部与所述取出位置之间的距离小于所述阴极容器的外径的6倍。
[0027]技术效果
[0028]根据本说明书公开的技术，能够实现进行多种电镀时的空间节省。
附图说明
[0029]图1(A)是表示第1实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图，图1(B)是表示阴极容器的直径与电镀装置所具备的旋转台部之间的距离和旋转台部至取出位置的距离的关系的说明图。
[0030]图2是示出图1所示的电镀装置中包含的各部分的配置的示意图。
[0031]图3(A)是表示第1实施方式的电镀装置的概要结构的主视图，图3(B)是阴极容器的侧视图。
[0032]图4(A)是表示第1实施方式的电镀装置的概要结构的右侧视图，图4(B)是表示第1实施方式的电镀装置的概要结构的左侧视图。
[0033]图5是旋转台部的说明图。
[0034]图6(A)是表示上升状态的阳极头的说明图，图6(B)是表示下降状态的阳极头的说明图，图6(C)是表示上升状态的水洗头的说明图，图6(D)是表示下降状态的水洗头的说明图。
[0035]图7(A)是水平方向伸缩部伸长且升降部伸长的状态的搬运起重机部的说明图，图7(B)是水平方向伸缩部伸长且升降部收缩的状态的搬运起重机部的说明图，图7(C)是水平方向伸缩部收缩且升降部伸长的状态的搬运起重机部的说明图，图7(D)是表示搬运起重机部的主体部旋转的情况的说明图。
[0036]图8是表示在设置于投入部的待机位置处设置的定位台周边的情况的说明图。
[0037]图9是表示电镀装置的控制系统的图。
[0038]图10是表示投入到投入部的阴极容器的移动情况的说明图。
[0039]图11(A)是表示在旋转台部搭载有阳极头的状态的说明图，图11(B)是表示一边向阴极容器内供给电镀液一边使旋转台部旋转的情况的说明图。
[0040]图12(A)是表示在旋转台部搭载有水洗头的状态的说明图，图12(B)是表示一边向阴极容器内供给清洗水一边使旋转台部旋转的情况的说明图。
[0041]图13是表示排出到回收部的阴极容器的移动情况的说明图。
[0042]图14是表示第2实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。
[0043]图15是表示第3实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。
[0044]图16是表示第4实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。
[0045]图17是表示第5实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。
[0046]图18是表示第6实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。
[0047]图19是表示第7实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。
[0048]图20是表示变形例的阴极容器的剖视图。
具体实施方式
[0049]以下，参照附图对本技术的实施方式进行说明。其中，在附图中，各部分的尺寸、比率等有时未表示为与实际情况完全一致。另外，为了便于绘图，有时根据附图而省略细节部分，或者省略构成要素本身。
[0050]第1实施方式
[0051]首先，参见图1(A)至图4(B)，对第1实施方式的电镀装置1的概要结构进行说本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电镀装置，其特征在于，该电镀装置具有：电镀作业部，在该电镀作业部中，包含旋转台部的至少一对电镀单元相邻配置；搬运起重机部，其将阴极容器以能够移动的方式配置于所述旋转台部；架台，其使所述搬运起重机部移动；以及投入部和/或回收部，所述投入部和/或回收部以能够载置所述阴极容器的方式配置于所述电镀作业部的周围的至少一方，在将所述旋转台部相邻的方向设为第1方向且将与该第1方向交叉的方向设为第2方向时，所述架台在所述电镀作业部的所述第2方向的一侧沿着所述第1方向延伸。2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述投入部和所述回收部隔着所述电镀作业部在所述第1方向上对置地配置。3.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述投入部和所述回收部相邻，并且设置在所述电镀作业部的所述第1方向或第2方向的一侧。4.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述架台以比至少所述一对电镀单元分别具有的旋转台部间的距离长的距离设置。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的电镀装置，其特征在于，在所述电镀作业部的所述第2方向的另一侧设置有配管设置部，该配管设置部配置有与电镀液供给管连接的配管。6.根据权利要求5所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀液供给管是挠性管。7.根据权利要求5所述的电镀装置，其特征在于，所述阴极容器的上表面侧开口。8.根据权利要求1至4中的任意一项...
【专利技术属性】
技术研发人员：川濑孝治，稻叶晃一，井田纪久子，山田航平，
申请(专利权)人：太阳诱电株式会社，
类型：新型
国别省市：
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