夹持式薄膜电镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种夹持式薄膜电镀装置，包括：两个轮轴组件，两个轮轴组件对称设置，两个轮轴组件同步运动，一轮轴组件与薄膜的一侧相连，另一轮轴组件与薄膜的另一侧相连；轮轴组件包括：轮轴，轮轴与薄膜的第一表面滚动相连；多个夹持装置，多个夹持装置均匀设在轮轴上；闭夹机构，闭夹机构位于轮轴的进料端，闭夹机构用于推动夹持装置压在薄膜的第二表面上，以使夹持装置与轮轴配合夹持住薄膜；开夹机构，开夹机构位于轮轴的出料端，开夹机构用于反向推动夹持装置，以释放薄膜。本发明专利技术具有提高薄膜输送稳定性，同时提高表面镀层均匀性和电镀效果的优点。效果的优点。效果的优点。

【技术实现步骤摘要】
夹持式薄膜电镀装置


[0001]本专利技术属于电镀装置
，具体涉及一种夹持式薄膜电镀装置。

技术介绍

[0002]薄膜产品通常需要在电镀槽内进行连续电镀，薄膜通常由滚轮进行导向输送，在电镀时，薄膜需要在电镀槽内保持稳定的移动速度才能保证电镀质量，然而现有电镀装置在通过滚轮对薄膜进行输送时，存在薄膜与滚轮不同步，导致薄膜表面张力不均，使得电镀效果降低；另一方面，在电镀槽尺寸不变和薄膜输送速度不变的情况下，薄膜在电镀槽内进行水平输送时，电镀的时间较短，电镀效果较差；同时电流在薄膜表面分布不均也导致了电镀层不均匀的情况发生。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本专利技术提出一种夹持式薄膜电镀装置，该夹持式薄膜电镀装置具有提高薄膜输送稳定性，同时提高表面镀层均匀性和电镀效果的优点。
[0005]根据本专利技术实施例的夹持式薄膜电镀装置，包括：两个轮轴组件，两个所述轮轴组件对称设置，两个所述轮轴组件同步运动，一所述轮轴组件与薄膜的一侧相连，另一所述轮轴组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，包括：两个轮轴组件，两个所述轮轴组件对称设置，两个所述轮轴组件同步运动，一所述轮轴组件与薄膜（6）的一侧相连，另一所述轮轴组件与薄膜（6）的另一侧相连；所述轮轴组件包括：轮轴（1），所述轮轴（1）与所述薄膜（6）的第一表面滚动相连；多个夹持装置（4），多个所述夹持装置（4）均匀设在所述轮轴（1）上；闭夹机构（2），所述闭夹机构（2）位于所述轮轴（1）的进料端，所述闭夹机构（2）用于推动所述夹持装置（4）压在所述薄膜（6）的第二表面上，以使所述夹持装置（4）与所述轮轴（1）配合夹持住所述薄膜（6）；开夹机构（3），所述开夹机构（3）位于所述轮轴（1）的出料端，所述开夹机构（3）用于反向推动所述夹持装置（4），以释放所述薄膜（6）。2.根据权利要求1所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述轮轴（1）包括：滚轮（11），所述滚轮（11）的外周面与所述薄膜（6）的第一表面滚动相连，多个所述夹持装置（4）沿圆周方向均匀分布在所述滚轮（11）的一侧；滚轴（12），所述滚轴（12）与所述滚轮（11）同轴设置，所述滚轴（12）的一端与所述滚轮（11）的一侧相连。3.根据权利要求2所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述滚轮（11）的外周面上开设有环形槽（13），所述环形槽（13）内设置有导电圈，所述导电圈与所述薄膜（6）的第一表面电连接，所述导电圈与第一电源（7）的负极相连。4.根据权利要求3所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述夹持装置（4）包括：安装座（41），所述安装座（41）设在所述滚轮（11）的一侧；翻转杆（42），所述翻转杆（42）的中部转动安装在所述安装座（41）上；连杆组件，所述连杆组件的一端与所述安装座（41）转动相连，所述连杆组件的另一端与所述翻转杆（42）的一端转动相连，所述翻转杆（42）的另一端位于所述滚轮（11）外周面的一侧。5.根据权利要求4所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述夹持装置（4）还包括：外端子（44），所述外端子（44）安装在所述翻转杆（42）朝向所述滚轮（11）外周面的一侧；导线（43），所述导线（43）的一端与所述外端子（44）相连；内端子（45），所述内端子（45）与所述导线（43）的另一端相连，所述滚轮（11）的外周面上开设有圆孔（14），所述内端子（45）设于所述圆孔（14）内，所述内端子（45）与第二电源（9）的负极相连。6.根据权利要求4所述的夹持式薄膜电镀装置，其特征在于，所述连杆组件包括：两个第一连杆（46），两个所述第一连杆（46）平行设置，两个所述第一连杆（46）的一端均与所述翻转杆（42）转动连接；两...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡水河，陈正能，
申请(专利权)人：常州欣盛半导体技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：