本申请涉及一种传送装置，具体公开了一种基板传送装置、控制方法及相关设备，装置包括滑轨、滑台、恒温平台和吸附平台，滑台滑动设置在滑轨上，滑台用于承托基板并带动基板移动；恒温平台安装在滑台上方；恒温平台内置有第一腔室，第一腔室与外部的供水机连接以向第一腔室循环注入预设温度的液体；恒温平台能够导热；吸附平台，吸附平台紧贴在恒温平台上方，吸附平台内置有第二腔室且上表面设置有多个与第二腔室连通的通孔；第二腔室与外部的真空发生器连接以使基板吸附在吸附平台的上表面；吸附平台能够导热，本申请的基板传送装置能够在转移基板过程中有效维持基板温度恒定，减少温度变化对墨水的影响，有利于提高成品质量。有利于提高成品质量。有利于提高成品质量。
【技术实现步骤摘要】
一种基板传送装置、控制方法及相关设备
[0001]本专利技术涉及一种传送装置，具体涉及一种基板传送装置、控制方法及相关设备。
技术介绍
[0002]OLED喷墨打印一般要求在无水无氧、恒温恒压的手套箱密闭空间中进行，OLED喷墨打印机将墨水打印至基板后，还需要在真空冷凝干燥腔体对基板进行真空冷凝干燥，以及在热板烘烤腔体进行加热烘烤等后续处理，基板往往需要转移和传输，而现有公开了一种基板传送装置（公告号为CN112010040A），该装置包括主传送臂和次级传送臂，主传送臂和次级传送臂以夹持基板的方式转移基板，然而该装置只考虑到减少基板变形以及传送时的稳定性，但并未考虑转移过程中基板的温度变化，处于湿膜状态下的基板若在转移过程发生温度变化，很可能会改变部分墨水的特性，以致影响成品质量，同时基板的温度分布的均匀性也会影响墨水干燥后的成膜质量，因此该装置无法很好适用于OLED喷墨打印领域。
[0003]基于上述现实情况，需要寻求一种能够确保基板在转移过程保持温度不变的传送装置。
技术实现思路
[0004]本申请的目的在于提供一种基板传送装置、控制方法及相关设备，在转移基板过程中能够有效维持基板温度恒定，减少温度变化对墨水的影响，有利于提高成品质量。
[0005]第一方面，本申请提供一种基板传送装置，应用于OLED喷墨打印机，包括滑轨和滑台，所述滑台滑动设置在所述滑轨上，所述滑台用于承托基板并带动所述基板移动；还包括：恒温平台，所述恒温平台安装在所述滑台上方；所述恒温平台内置有第一腔室，所述第一腔室与外部的供水机连接以向所述第一腔室循环注入预设温度的液体；所述恒温平台能够导热；吸附平台，所述吸附平台紧贴在所述恒温平台上方，所述吸附平台内置有第二腔室且上表面设置有多个与所述第二腔室连通的通孔；所述第二腔室与外部的真空发生器连接以使所述基板吸附在所述吸附平台的上表面；所述吸附平台能够导热。
[0006]本申请提供的基板传送装置，在恒温平台内注入预设温度的液体维持基板的温度，避免转移过程基板温度发生变化影响成品质量。
[0007]进一步的，还包括气浮平台，所述气浮平台安装在所述恒温平台和所述滑台之间，且所述气浮平台靠近所述滑台的一侧设置有多个气浮轴承，所述气浮轴承与外部的供气机连接以使所述气浮平台悬浮在所述滑台上。
[0008]因为气浮轴承为非接触式的传动方式，并不存在机械磨损的情况，因此消除了磨损带来的误差，有利于实现高精度的控制。
[0009]进一步的，所述滑台设置有定位槽，所述气浮平台安装在所述定位槽中且四周被所述定位槽包围；所述气浮平台的四周与所述定位槽的内壁存在间隔；
所述气浮平台的中央固定设置有第一磁力齿轮；所述定位槽设置有多个第二磁力齿轮，多个所述第二磁力齿轮沿所述第一磁力齿轮的周向方向均匀排布，且每个所述第二磁力齿轮均连接有一个第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述第二磁力齿轮旋转以带动所述气浮平台旋转。
[0010]因为第一磁力齿轮与第二磁力齿轮之间为非接触式的传动方式，并不存在机械磨损的情况，因此消除了磨损带来的误差，有利于实现高精度的控制。
[0011]进一步的，所述气浮平台的上表面设置有多个能够沿上下方向伸缩的顶针，所述顶针依次穿过所述恒温平台和所述吸附平台并与所述基板的底面接触；每个所述顶针均连接有一个第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述顶针伸出或缩入所述吸附平台的上表面。
[0012]该取放过程全程自动无需人手接触，能够避免基板被污染，有利于保证成品质量。
[0013]进一步的，还包括激光测量系统，所述激光测量系统包括光栅尺和位置传感器，所述光栅尺安装在所述滑轨上，所述位置传感器安装在所述滑台上。
[0014]第二方面，本申请提供一种基于如上述的所述基板传送装置的控制方法，包括以下步骤：S1.控制所述供水机工作，以使所述第一腔室被循环注入预设温度的液体；S2.控制所述供气机工作，以使所述气浮平台悬浮在所述滑台上；S3.把所述基板放置在所述吸附平台的上表面；S4.根据激光测量系统实时测量的数据控制所述滑台带动所述基板移动；S5.取出所述基板。
[0015]根据不同打印墨水的特性调节供水机的进出水温度，从而保证恒温平台的温度恒定，进而保证在运输过程中基板的温度恒定。
[0016]进一步的，步骤S3中的具体步骤包括：S31.控制所有所述第二驱动装置工作，以使所有所述顶针伸出所述吸附平台的上表面；S32.控制机械手将取得的所述基板放置在所述顶针上；S33.控制所有所述第二驱动装置工作，以使所有所述顶针缩入所述吸附平台的上表面；S34.控制所述真空发生器工作，以使所述基板吸附在所述吸附平台的上表面；步骤S4中的具体步骤包括：S41.通过所述激光测量系统实时获取所述基板的平面度数据和直线度数据；S42.根据所述平面度数据和直线度数据调控各个所述气浮轴承的气体流量和气体压力以及所述第二磁力齿轮的旋转角度，以修正所述基板的平面度和直线度；步骤S5中的具体步骤包括：S51.控制所述真空发生器停止工作；S52.控制所有所述第二驱动装置工作，以使所述顶针顶起所述基板；S53.控制所述机械手从所述顶针上取出所述基板。
[0017]利用激光测量系统实时测量传送过程中基板的平面度数据和直线度数据，并以此修正基板的平面度和直线度，达到精确调控的效果。
[0018]第三方面，本专利技术还提供了一种控制装置，用于控制如上述的所述基板传送装置，所述控制装置包括：第一控制模块，用于控制所述供水机工作，以使所述第一腔室被循环注入预设温度的液体；第二控制模块，用于控制所述供气机工作，以使所述气浮平台悬浮在所述滑台上；放置模块，用于把所述基板放置在所述吸附平台的上表面；第三控制模块，用于根据激光测量系统实时测量的数据控制所述滑台带动所述基板移动；取出模块，用于取出所述基板。
[0019]确保基板恒温不会引发墨水变性，从而提高成品质量，且利用无机械磨损的非接触式传动方式，大大提高了调控精度。
[0020]第四方面，本专利技术提供了一种电子设备，包括处理器以及存储器，所述存储器存储有计算机可读取指令，当所述计算机可读取指令由所述处理器执行时，运行如上述控制方法中的步骤。
[0021]第五方面，本专利技术提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时运行如上述控制方法中的步骤。
[0022]本专利技术的有益效果：本申请的基板传送装置，利用真空吸附的方式固定基板并确保基板各处与吸附平台贴合，使得恒温平台内液体的温度能够均匀传递到基板各处，确保基板温度恒定且温度分布均匀，从而达到减少温度变化对墨水的影响，提高成品质量的效果。
附图说明
[0023]图1为本申请实施例提供的一种基板传送装置的结构示意图。
[0024]图2为本申请实施例提供的一种基板传送装置的局部结构爆炸图。
[0025]图3为本申请实施例中气浮平台与滑台装配后的上视图。
[0026]图4为本申请实施本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板传送装置，应用于OLED喷墨打印机，包括滑轨和滑台，所述滑台滑动设置在所述滑轨上，所述滑台用于承托基板（100）并带动所述基板（100）移动；其特征在于，还包括：恒温平台（200），所述恒温平台（200）安装在所述滑台上方；所述恒温平台（200）内置有第一腔室，所述第一腔室与外部的供水机连接以向所述第一腔室循环注入预设温度的液体；所述恒温平台（200）能够导热；吸附平台（300），所述吸附平台（300）紧贴在所述恒温平台（200）上方，所述吸附平台（300）内置有第二腔室且上表面设置有多个与所述第二腔室连通的通孔；所述第二腔室与外部的真空发生器连接以使所述基板（100）吸附在所述吸附平台（300）的上表面；所述吸附平台（300）能够导热。2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，还包括气浮平台（400），所述气浮平台（400）安装在所述恒温平台（200）和所述滑台之间，且所述气浮平台（400）靠近所述滑台的一侧设置有多个气浮轴承（410），所述气浮轴承（410）与外部的供气机连接以使所述气浮平台（400）悬浮在所述滑台上。3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述滑台设置有定位槽（500），所述气浮平台（400）安装在所述定位槽（500）中且四周被所述定位槽（500）包围；所述气浮平台（400）的四周与所述定位槽（500）的内壁存在间隔；所述气浮平台（400）的中央固定设置有第一磁力齿轮（420）；所述定位槽（500）设置有多个第二磁力齿轮（510），多个所述第二磁力齿轮（510）沿所述第一磁力齿轮（420）的周向方向均匀排布，且每个所述第二磁力齿轮（510）均连接有一个第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述第二磁力齿轮（510）旋转以带动所述气浮平台（400）旋转。4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述气浮平台（400）的上表面设置有多个能够沿上下方向伸缩的顶针（430），所述顶针（430）依次穿过所述恒温平台（200）和所述吸附平台（300）并与所述基板（100）的底面接触；每个所述顶针（430）均连接有一个第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述顶针（430）伸出或缩入所述吸附平台（300）的上表面。5.根据权利要求4所述的基板传送装置，其特征在于，还包括激光测量系统，所述激光测量系统包括光栅尺（610）和位...
【专利技术属性】
技术研发人员：马赐文，周川堰，曹东豪，周志，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：
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