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本申请涉及一种传送装置，具体公开了一种基板传送装置、控制方法及相关设备，装置包括滑轨、滑台、恒温平台和吸附平台，滑台滑动设置在滑轨上，滑台用于承托基板并带动基板移动；恒温平台安装在滑台上方；恒温平台内置有第一腔室，第一腔室与外部的供水机连接...
该专利属于季华实验室所有，仅供学习研究参考，未经过季华实验室授权不得商用。

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