本实用新型专利技术涉及一种截断机取样工具，具体说是截断机辅助取样装置。它的特点是包括筒状的支撑体，所述支撑体的前端有向前伸出的连接杆，连接杆呈中空管状，连接杆的前端固定有真空吸盘，支撑体上有真空发生器，连接杆的后端通过第一气路系统与真空发生器相连。采用该取样装置可避免安全隐患。样装置可避免安全隐患。样装置可避免安全隐患。
【技术实现步骤摘要】
截断机辅助取样装置
[0001]本技术涉及一种截断机取样工具，具体说是用于将截断机制备的薄片从其接料台上取下、以便测试的截断机辅助取样装置。特别适用于半导体行业的截断机。
技术介绍
[0002]半导体行业的截断机就是将晶棒截断成一个个薄片的设备。截断机在工作过程中，需要定时接取一个截断后的薄片作为样品测电阻率，检验晶棒的质量。传统的做法是工作人员手动接料，即在截断机截断一个薄片后，工作人员用手将薄片从截断机的接料台上取出。然而，手动接料时，工作人员的人体离截断机的接料头较近，存在截断机的接料头割伤的安全隐患。而且，薄片的厚度小，较锋利，直接用手接料，存在被薄片划伤的安全隐患。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种截断机辅助取样装置，采用该取样装置可避免安全隐患。解决了现有技术中存在的工作人员被截断机的接料头割伤和薄片划伤的安全隐患。
[0004]为解决上述问题，提供以下技术方案：
[0005]本技术的截断机辅助取样装置的特点是包括筒状的支撑体，所述支撑体的前端有向前伸出的连接杆，连接杆呈中空管状，连接杆的前端固定有真空吸盘，支撑体上有真空发生器，连接杆的后端通过第一气路系统与真空发生器相连。
[0006]所述支撑体的口部固定有盖板，所述连接杆位于盖板上，连接杆的前端位于筒体外，后端位于筒体内，连接杆与盖板间呈沿连接杆的轴向滑动状配合，所述真空吸盘与盖板间的那段连接杆上套有压缩弹簧。所述支撑体内有用于对连接杆进行限位的锁紧机构。
[0007]所述锁紧机构包括位于支撑体内的驱动单元和滑块，滑块上有便于连接杆穿过的锁紧孔，限位孔的孔径大于连接杆的外径。当驱动单元驱动滑块滑动到锁紧位置时，连接杆的外侧壁一侧与限位孔的一侧相抵，实现锁紧，当驱动单元驱动滑块滑动到松开位置时，连接杆外侧壁的四周与限位孔间均有间隙，实现解锁。
[0008]所述支撑体内同心固定有圆板，所述连接杆的后端对应的圆板上均有让位孔，连接杆的后端穿过让位孔伸出到远离盖板的圆板一侧，连接杆的外侧壁与让位孔间均呈滑动状配合。所述滑块有两个，它们均在靠近盖板的那个圆板板面上，且两个以圆板的轴线为中心对称设置，所述驱动单元为气缸，其位于两个滑块间，以便驱动两个滑块相向或背向运动。所述支撑体上有气源，气源通过第二气路系统与气缸相连。所述连接杆有不少于两个，且连接杆分为两组，两个连接杆组的位置与两个滑块一一对应，每个连接杆组中连接杆对应的滑块上均有所述限位孔。
[0009]所述滑块上有腰形孔，腰形孔内有导向杆，导向杆的一端固定在圆板上。
[0010]所述支撑体的侧壁的底部同心固定有弧形的限位块，限位块的大小与截断机接料台放置工件的弧形凹槽相适配。
[0011]所述支撑体的侧壁的顶部有把手。
[0012]采取以上方案，具有以下优点：
[0013]由于本技术的截断机辅助取样装置的支撑体的前端有向前伸出的连接杆，连接杆呈中空管状，连接杆的前端固定有真空吸盘，支撑体上有真空发生器，连接杆的后端通过第一气路系统与真空发生器相连。使用时，先将支撑体放置到截断机接料台上；再，向前推动支撑体，使支撑体前端的真空吸盘与截断机上的晶棒端面相抵；接着，启动真空发生器，真空发生器通过第一气路和连接杆对真空吸盘进行抽真空，使真空吸盘吸附在晶棒端面上；然后，启动截断机对晶棒进行切片；之后，取出支撑体，在真空吸盘的作用下，薄片吸附在真空吸盘上即完成接样；最后，通过取样装置将薄片送到实验区，关闭真空发生器，使薄片与真空吸盘脱离掉落到实验区中，等待下次取样即可。采用这种取样装置接样时，工作人员可从支撑体后端进行操作，从而保证工作人员远离截断机的切割头，确保切割头不会对工作人员的人体造成伤害。而且，整个接样过程，工作人员的身体无需与薄片接触，从而也避免了薄片划伤人的安全隐患。
附图说明
[0014]图1是本技术的截断机辅助取样装置的结构示意图；
[0015]图2图1的右视示意图；
[0016]图3是本技术的截断机辅助取样装置的A
‑
A向剖视示意图；
[0017]图4是本技术的截断机辅助取样装置的立体示意图(支撑体处于局部剖视的情况下)。
具体实施方式
[0018]以下结合附图和实施例对本技术作进一步详细描述。
[0019]如图1～4所示，本技术的截断机辅助取样装置包括筒状的支撑体1，所述支撑体1 的前端有向前伸出的连接杆10，连接杆10呈中空管状，连接杆10的前端固定有真空吸盘3，支撑体1上有真空发生器8，连接杆10的后端通过第一气路系统与真空发生器8相连。
[0020]所述支撑体1的口部固定有盖板5，所述连接杆10位于盖板5上，连接杆10的前端位于筒体外，后端位于筒体内，连接杆10与盖板5间呈沿连接杆10的轴向滑动状配合，所述真空吸盘3与盖板5间的那段连接杆10上套有压缩弹簧4。所述支撑体1内有用于对连接杆 10进行限位的锁紧机构。利用压缩弹簧4可确保真空吸盘3与晶棒端面的贴合度，利用锁紧机构对连接杆10进行锁定，从而防止搬运过程中发生晃动，确保薄片不会在搬运过程中掉落。
[0021]如图3所示，所述锁紧机构包括位于支撑体1内的驱动单元13和滑块14，滑块14上有便于连接杆10穿过的锁紧孔15，限位孔的孔径大于连接杆10的外径。当驱动单元13驱动滑块14滑动到锁紧位置时，连接杆10的外侧壁一侧与限位孔的一侧相抵，实现锁紧，当驱动单元13驱动滑块14滑动到松开位置时，连接杆10外侧壁的四周与限位孔间均有间隙，实现解锁。所述支撑体1内同心固定有圆板17，所述连接杆10的后端对应的圆板17上均有让位孔，连接杆10的后端穿过让位孔伸出到远离盖板5的圆板17一侧，连接杆10的外侧壁与让位孔间均呈滑动状配合。所述滑块14有两个，它们均在靠近盖板5的那个圆板17板面上，且两个以圆板17的轴线为中心对称设置，所述驱动单元13为气缸，其位于两个滑块14间，以便驱
动两个滑块14相向或背向运动。所述支撑体1上有气源9，气源9通过第二气路系统与气缸相连。所述连接杆10有不少于两个，且连接杆10分为两组，两个连接杆组的位置与两个滑块14一一对应，每个连接杆组中连接杆10对应的滑块14上均有所述限位孔。所述滑块14上有腰形孔12，腰形孔12内有导向杆11，导向杆11的一端固定在圆板17上。
[0022]为了便于与断机接料台放置工件的弧形凹槽适配。所述支撑体1的侧壁的底部同心固定有弧形的限位块2，限位块2的大小与截断机接料台放置工件的弧形凹槽相适配。
[0023]为了便于移动取样装置，所述支撑体1的侧壁的顶部有把手6。
[0024]如图4所示，本实施例中，所述第一气路系统包括分气块16和三通阀7，分气块16呈中空状，且有六个与连接杆10呈一一对应连接的气口、和一个与真空发生器8相连的气口。三通阀7的两个阀孔位于分气块16与真空发生器8间，另一个阀孔朝向空气，转动三通阀7 可使其块与真空本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.截断机辅助取样装置，其特征在于包括筒状的支撑体(1)，所述支撑体(1)的前端有向前伸出的连接杆(10)，连接杆(10)呈中空管状，连接杆(10)的前端固定有真空吸盘(3)，支撑体(1)上有真空发生器(8)，连接杆(10)的后端通过第一气路系统与真空发生器(8)相连。2.如权利要求1所述的截断机辅助取样装置，其特征在于所述支撑体(1)的口部固定有盖板(5)，所述连接杆(10)位于盖板(5)上，连接杆(10)的前端位于筒体外，后端位于筒体内，连接杆(10)与盖板(5)间呈沿连接杆(10)的轴向滑动状配合，所述真空吸盘(3)与盖板(5)间的那段连接杆(10)上套有压缩弹簧(4)；所述支撑体(1)内有用于对连接杆(10)进行限位的锁紧机构。3.如权利要求2所述的截断机辅助取样装置，其特征在于所述锁紧机构包括位于支撑体(1)内的驱动单元(13)和滑块(14)，滑块(14)上有便于连接杆(10)穿过的锁紧孔(15)，限位孔的孔径大于连接杆(10)的外径；当驱动单元(13)驱动滑块(14)滑动到锁紧位置时，连接杆(10)的外侧壁一侧与限位孔的一侧相抵，实现锁紧，当驱动单元(13)驱动滑块(14)滑动到松开位置时，连接杆(10)外侧壁的四周与限位孔间均有间隙，实现解锁。4.如权利要求3所述的截断机辅助取样装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴福文，倪艳艳，姚志雯，邹根根，姚小威，赵长政，
申请(专利权)人：无锡连强智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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