【技术实现步骤摘要】
本技术属于机械，尤其涉及一种分体式晶体磨面刻槽装置。
技术介绍
1、目前，半导体硅、ln/lt、碳化硅等相关晶体在截断加工后，均需进行滚圆，磨of面或刻v-notch槽，现有刻槽磨面升降机构多为使用气缸升降，无法同时满足多种规格晶体的刻槽与磨面加工，使用气缸的升降机构的进给速度无法实时调整，升降机构的精度无法达到较高水准，对调试和程序提出较高要求，传统加工方式中磨of面与刻v-notch槽无法集成于滚磨机床上，多次装夹影响加工精度，费时废力，效率低，而现使用的多为一体式磨面刻槽砂轮，对于砂轮自身精度要求较高，对于装配，调试，程序均提出较高要求，且加工精度无法达到较高保证，无法满足目前半导体行业的快速发展。
技术实现思路
1、为了解决相关技术中的问题，本申请提供了一种分体式晶体磨面刻槽装置，解决了精度不可调、速度不可调以及维护成本和难度高的问题。
2、技术方案如下：
3、一种分体式晶体磨面刻槽装置，包括立柱机构，其中，所述立柱机构的侧面设置有升降滑板，升降滑板和立柱机构呈滑动状配合，所述立柱机构的上方设置有伺服电机，立柱机构内设置有滚珠丝杆，滚珠丝杆上螺纹连接有螺母，所述升降滑板通过螺母和滚珠丝杆连接，所述伺服电机和滚珠丝杆通过联轴器连接，所述伺服电机用于控制滚珠丝杆转动，使得升降滑板上升、下降；
4、升降滑板的侧面通过固定装置连接有驱动装置，所述驱动装置包括自上而下设置的驱动电机、机械主轴和电主轴，所述机械主轴竖直设置，所述驱动电机通过传动装置驱
5、通过上述技术方案，通过使用伺服电机配合滚珠丝杆，从而能够更加精确的控制升降滑板在上升和下降时的精度和速度，独立设置的刻槽砂轮和磨面砂轮，可以各自对其精度和速度进行调整，刻槽砂轮和磨面砂轮也可以各自进行安装和更换，从而降低了维护成本和各个机构的装配和调试的难度；
6、通过使用同步带将驱动电机和机械主轴连接，同步带的结构简单，占用空间较小，从而易于同步带、机械主轴和刻槽砂轮的安装、拆卸和维护，而且通过同步带实现传动的过程中产生的噪音较小，对机械主轴的作用力小，但传动效率高；
7、通过在驱动电机下方的升降滑板上设置电主轴，在满足驱动磨面砂轮的情况下，充分利用升降滑板的空间，并且使用具有较小体积的电主轴使得整个装置的体积进一步缩小，使得更能集成于滚磨机床上。
8、进一步地，所述立柱机构的两侧面分别设置有结构一致的v型导轨，所述升降滑板的顶部和底部均设置有防护罩。
9、通过上述技术方案，立柱机构上的v型导轨对升降滑板移动的方向进行限定，在升降滑板的移动位置满足精度需求的条件下，还能够节省升降滑板移动的空间与成本。
10、进一步地，所述固定装置包括间隔设置的第一安装座、第二安装座和第三安装座，所述第一安装座、第二安装座和第三安装座均通过螺栓安装在所述升降滑板的侧面。
11、通过上述技术方案，通过独立设置的第一安装座、第二安装座和第三安装座，通过螺栓连接使得安装和拆卸的时候都更加便捷，还降低了维护成本和操作难度，并且都设置在升降滑板上，使得各机构的结构紧凑，更易于集成于滚磨机床上。
12、进一步地，所述驱动电机通过螺栓固定安装在所述第一安装座的顶部，所述第一安装座上设置有第一孔洞，所述驱动电机的输出轴穿过第一孔洞；
13、所述第二安装座包括一体化设置的第一固定部、加强筋和用于放置机械主轴的轴承套，所述第一固定部通过多个螺栓固定安装在升降滑板的侧面，所述加强筋设置在第一固定部和轴承套之间；所述传动装置包括设置在所述机械主轴上方的同步带轮和传送带，所述同步带轮和所述机械主轴同轴转动连接，所述同步带轮和所述驱动电机的输出轴处于同一水平线，且通过所述传送带实现传送；所述机械主轴的底端设置有砂轮盖，所述砂轮盖设置在所述刻槽砂轮的底部。
14、通过上述技术方案，通过驱动电机输出轴和机械主轴通过同步带实现传动，可以单独且精确的对刻槽砂轮的精度和转动速度进行调整，刻槽砂轮可以进行单独的维护和更换，进而能够降低维护成本和难度；此外，一体化设置的第二安装座可以加快该装置组装时的效率，并能提供更高的稳定性。
15、进一步地，所述第三安装座包括一体化设置的第二固定部、第一轴夹和第二轴夹，所述第二固定部通过多个螺栓固定安装在升降滑板的侧面，所述第一轴夹和第二轴夹对称设置在所述第二固定部的侧面，且第一轴夹和第二轴夹的结构一致；
16、所述第一轴夹和第二轴夹的另一端弯折后形成连接板，两个连接板上对应设置有第二孔洞，所述两个连接板通过在第二孔洞内设置螺栓连接，连接后的第一轴夹和第二轴夹之间的空隙用于设置所述电主轴，且空隙和所述电主轴相适合。
17、通过上述技术方案，通过控制连接板上的螺栓即可完成安装和拆卸，结构简单，更易于电主轴的拆装和磨面砂轮的调整，同时加快了加工效率，进而更适合目前半导体行业的加工效率。
18、综上所述，一种分体式晶体磨面刻槽装置的有益效果为：
19、1、通过独立且间隔设置的驱动电机、机械主轴和电主轴，结构简单，不仅使得维护和控制都更加便捷，还降低了维护成本和操作难度，并且都设置在升降滑板上，使得各机构的结构紧凑，充分利用升降滑板的空间，从而更易于集成于滚磨机床上；
20、2、通过使用伺服电机配合滚珠丝杆，从而能够更加精确的控制升降滑板在上升和下降时的精度和速度；
21、3、独立设置的刻槽砂轮和磨面砂轮，可以各自对其精度和速度进行调整，刻槽砂轮和磨面砂轮也可以各自进行安装和更换，从而降低了维护成本和各个机构的装配和调试的难度。
22、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本技术。
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1.一种分体式晶体磨面刻槽装置，其特征在于，包括立柱机构，其中，所述立柱机构的侧面设置有升降滑板，升降滑板和立柱机构呈滑动状配合，所述立柱机构的上方设置有伺服电机，立柱机构内设置有滚珠丝杆，滚珠丝杆上螺纹连接有螺母，所述升降滑板通过螺母和滚珠丝杆连接，所述伺服电机和滚珠丝杆通过联轴器连接，所述伺服电机用于控制滚珠丝杆转动，使得升降滑板上升、下降；
2.根据权利要求1所述的一种分体式晶体磨面刻槽装置，其特征在于，所述立柱机构的两侧面分别设置有结构一致的v型导轨，所述升降滑板的顶部和底部均设置有防护罩。
3.根据权利要求1所述的一种分体式晶体磨面刻槽装置，其特征在于，所述固定装置包括间隔设置的第一安装座、第二安装座和第三安装座，所述第一安装座、第二安装座和第三安装座均通过螺栓安装在所述升降滑板的侧面。
4.根据权利要求3所述的一种分体式晶体磨面刻槽装置，其特征在于，所述驱动电机通过螺栓固定安装在所述第一安装座的顶部，所述第一安装座上设置有第一孔洞，所述驱动电机的输出轴穿过第一孔洞。
5.根据权利要求4所述的一种分体式晶体磨面刻槽装置，其
6.根据权利要求4所述的一种分体式晶体磨面刻槽装置，其特征在于，所述第三安装座包括一体化设置的第二固定部、第一轴夹和第二轴夹，所述第二固定部通过多个螺栓固定安装在升降滑板的侧面，所述第一轴夹和第二轴夹对称设置在所述第二固定部的侧面，且第一轴夹和第二轴夹的结构一致；
...【技术特征摘要】
1.一种分体式晶体磨面刻槽装置，其特征在于，包括立柱机构，其中，所述立柱机构的侧面设置有升降滑板，升降滑板和立柱机构呈滑动状配合，所述立柱机构的上方设置有伺服电机，立柱机构内设置有滚珠丝杆，滚珠丝杆上螺纹连接有螺母，所述升降滑板通过螺母和滚珠丝杆连接，所述伺服电机和滚珠丝杆通过联轴器连接，所述伺服电机用于控制滚珠丝杆转动，使得升降滑板上升、下降；
2.根据权利要求1所述的一种分体式晶体磨面刻槽装置，其特征在于，所述立柱机构的两侧面分别设置有结构一致的v型导轨，所述升降滑板的顶部和底部均设置有防护罩。
3.根据权利要求1所述的一种分体式晶体磨面刻槽装置，其特征在于，所述固定装置包括间隔设置的第一安装座、第二安装座和第三安装座，所述第一安装座、第二安装座和第三安装座均通过螺栓安装在所述升降滑板的侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪艳艳，吴福文，姚志雯，邹根根，于盛辉，
申请(专利权)人：无锡连强智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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