一种硅片清洗花篮制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗花篮，包括清洗槽，所述清洗槽的顶部固定连接有两个支架，两个所述支架之间的内部转动连接有转动杆，右侧所述支架上安装有驱动组件，所述驱动组件与转动杆相配合，所述转动杆的外侧固定连接有两组连接架。该实用新型专利技术通过清洗槽作为清洗部和支撑部，清洗槽上的两个支架对转动杆进行支撑，先对顶部的花篮本体的内部插状硅片，然后使用驱动组件带动转动杆转动，转动杆带动装好硅片的花篮本体组件围绕转动杆公转进入清洗槽的内部，从而实现了装置具备组合式花篮，无需反复将花篮与清洗部分离对接，操作方便，并且减少硅片在花篮搬运时的振动，防护效果好的优点。果好的优点。果好的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗花篮


[0001]本技术涉及一种硅片清洗花篮。

技术介绍

[0002]清洗花篮是硅片碱腐、制绒、清洗工艺过程中必不可少的载体，目前常用的清洗花篮的类型主要包括卡槽式和点接触式两种，将硅片均匀地分布在花篮内，避免硅片发生粘连以及溶液遗留问题，提高清洗效果。
[0003]但是现有的清洗花篮大多都是单独设置，需要反复将花篮放入再取出，以实现持续对硅片进行清洗，操作过于繁复，并且由于花篮与清洗槽分离设置，在不断地装卸时，容易发生磕碰损坏硅片，为此我们提出一种硅片清洗花篮，用以解决该类问题。

技术实现思路

[0004]针对
技术介绍
中提到的问题，本技术的目的在于提供一种硅片清洗花篮。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下的技术方案。
[0006]一种硅片清洗花篮，包括清洗槽，所述清洗槽的顶部固定连接有两个支架，两个所述支架之间的内部转动连接有转动杆，右侧所述支架上安装有驱动组件，所述驱动组件与转动杆相配合，所述转动杆的外侧固定连接有两组连接架，两组所述连接架上均转动连接有花篮本体。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述：所述驱动组件包括转动盘、滑杆和手柄，所述转动盘的左侧与转动杆固定连接，所述滑杆的左端贯穿并滑动连接至转动盘的左侧，所述滑杆的右侧与手柄转动连接。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：所述滑杆的外侧套设有弹簧，所述弹簧的一端与滑杆固定连接，所述弹簧的另一端与转动盘固定连接。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：右侧所述支架上开设有两个垂直排列的限位孔，所述滑杆的左端与限位孔相配合。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：所述花篮本体的底部开设有通槽，所述通槽的内部安装有两个底杆。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：所述花篮本体的左右两侧均固定连接有弧形配重块，两个所述弧形配重块相背的一侧均与连接架转动连接。
[0012]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0013]本方案通过清洗槽作为清洗部和支撑部，清洗槽上的两个支架对转动杆进行支撑，先对顶部的花篮本体的内部插状硅片，然后使用驱动组件带动转动杆转动，转动杆带动装好硅片的花篮本体组件围绕转动杆公转进入清洗槽的内部，并且另一个花篮本体转动至清洗槽的顶部，然后清洗槽对底部花篮本体内部的硅片进行清洗，而同时对顶部的花篮本体进行装片，然后重复上述动作实现持续对硅片进行装入和清洗，从而实现了装置具备组合式花篮，无需反复将花篮与清洗部分离对接，操作方便，并且减少硅片在花篮搬运时的振
动，防护效果好的优点。
附图说明
[0014]图1为本技术的正视剖面结构示意图；
[0015]图2为图1中A部结构放大示意图；
[0016]图3为本技术的正视立体结构示意图。
[0017]图中标号说明：
[0018]1、清洗槽；2、支架；21、限位孔；3、转动杆；4、驱动组件；41、转动盘；42、滑杆；421、弹簧；43、手柄；5、连接架；6、花篮本体；61、通槽；62、底杆；63、弧形配重块。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；
[0020]请参阅图1～3，本技术中，一种硅片清洗花篮，包括清洗槽1，清洗槽1的顶部固定连接有两个支架2，两个支架2之间的内部转动连接有转动杆3，右侧支架2上安装有驱动组件4，驱动组件4与转动杆3相配合，转动杆3的外侧固定连接有两组连接架5，两组连接架5上均转动连接有花篮本体6。
[0021]本技术中，通过清洗槽1作为清洗部和支撑部，清洗槽1上的两个支架2对转动杆3进行支撑，先对顶部的花篮本体6的内部插状硅片，然后使用驱动组件4带动转动杆3转动，转动杆3带动装好硅片的花篮本体6组件围绕转动杆3公转进入清洗槽1的内部，并且另一个花篮本体6转动至清洗槽1的顶部，然后清洗槽1对底部花篮本体6内部的硅片进行清洗，而同时对顶部的花篮本体6进行装片，然后重复上述动作实现持续对硅片进行装入和清洗，从而实现了装置具备组合式花篮，无需反复将花篮与清洗部分离对接，操作方便，并且减少硅片在花篮搬运时的振动，防护效果好的优点，解决了现有技术中的清洗花篮大多都是单独设置，需要反复将花篮放入再取出，以实现持续对硅片进行清洗，操作过于繁复，并且由于花篮与清洗部分离设置，在不断地装卸时，容易发生磕碰损坏硅片的问题。
[0022]请参阅图2，其中：驱动组件4包括转动盘41、滑杆42和手柄43，转动盘41的左侧与转动杆3固定连接，滑杆42的左端贯穿并滑动连接至转动盘41的左侧，滑杆42的右侧与手柄43转动连接。
[0023]本技术中，通过握住手柄43带动滑杆42转动，滑杆42带动转动盘41转动，转动盘41带动转动杆3转动，以实现带动两组连接架5和其上的两个花篮本体6公转，实现位置对调，实现清洗和装篮的同步进行，提高操作效率。
[0024]请参阅图2，其中：滑杆42的外侧套设有弹簧421，弹簧421的一端与滑杆42固定连接，弹簧421的另一端与转动盘41固定连接。
[0025]本技术中，通过弹簧421带动滑杆42向右发力，使其与右侧的支架2配合对转动盘41进行定位，以实现对转动杆3的定位，实现装置结构更加合理方便。
[0026]请参阅图2，其中：右侧支架2上开设有两个垂直排列的限位孔21，滑杆42的左端与限位孔21相配合。
[0027]本技术中，通过限位孔21配合滑杆42，使得滑杆42对转动盘41的定位效果更
好，更稳定。
[0028]请参阅图1与图3，其中：花篮本体6的底部开设有通槽61，通槽61的内部安装有两个底杆62。
[0029]本技术中，通过通槽61便于清洗液浸入花篮本体6的内部方便清洗硅片，并且通过底杆62使得花篮本体6结构更加稳定。
[0030]请参阅图1与图3，其中：花篮本体6的左右两侧均固定连接有弧形配重块63，两个弧形配重块63相背的一侧均与连接架5转动连接。
[0031]本技术中，通过弧形配重块63使得花篮本体6在转动过程中，始终保持水平稳定，避免花篮本体6反转造成硅片散落，使得装置结构更加稳定。
[0032]工作原理：使用时，先对顶部的花篮本体6的内部插状硅片，然后使用握住手柄43带动滑杆42转动，滑杆42带动转动盘41转动，转动盘41带动转动杆3转动，以实现带动两组连接架5和其上的两个花篮本体6公转进入清洗槽1的内部，并且另一个花篮本体6转动至清洗槽1的顶部，然后清洗槽1对底部花篮本体6内部的硅片进行清洗，而同时对顶部的花篮本体6进行装片，然后重复上述动作实现持续性对硅片进行装入和清洗，解决了现有技术中的清洗花篮大多都是单独设置，需要反复将花篮放入再取出，以实现持续对硅片进行清洗，操作过于繁复，并且由于花篮与清洗部分离设置，在不断地装卸时，容易发生磕碰损坏硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗花篮，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)的顶部固定连接有两个支架(2)，两个所述支架(2)之间的内部转动连接有转动杆(3)，右侧所述支架(2)上安装有驱动组件(4)，所述驱动组件(4)与转动杆(3)相配合，所述转动杆(3)的外侧固定连接有两组连接架(5)，两组所述连接架(5)上均转动连接有花篮本体(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮，其特征在于：所述驱动组件(4)包括转动盘(41)、滑杆(42)和手柄(43)，所述转动盘(41)的左侧与转动杆(3)固定连接，所述滑杆(42)的左端贯穿并滑动连接至转动盘(41)的左侧，所述滑杆(42)的右侧与手柄(43)转动连接。3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗花篮...

【专利技术属性】
技术研发人员：张旭强，
申请(专利权)人：江苏国汇合瑞半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：