双凸齿平板硅片花篮制造技术

本实用新型专利技术公开了双凸齿平板硅片花篮，包括两个安装架，两个所述安装架之间安装有三个硅片齿排；所述安装架上开设有通孔，所述硅片齿排的两端通过通孔与安装架连接，所述安装架上开设有均匀分布的通风口；所述硅片齿排包含有两个不锈钢螺纹杆，两个所述不锈钢螺纹杆之间通过注塑方式包裹有双凸齿齿排，所述不锈钢螺纹杆的两端通过通孔延伸至两个所述安装架相背的一侧并螺纹连接有不锈钢螺丝。该实用新型专利技术，方便对硅片进行规整的放置整理，并避免硅片相互接触粘接，同时对硅片表面的遮挡较少，通风效果佳，方便对放置于硅片花篮内的硅片进行烘干工作，提高烘干效率与烘干效果，提升硅片的生产效率。片的生产效率。片的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
双凸齿平板硅片花篮


[0001]本技术涉及硅片花篮领域，更具体地说，涉及双凸齿平板硅片花篮。

技术介绍

[0002]硅片花篮是在硅片加工过程中用来承载硅片的，简单的说，硅片是由硅锭切割而成，这时的硅片有很多杂质，需要清洗等工艺，这些工艺是把硅片放在花篮里，花篮就是一个载具。
[0003]在硅片完成清洗完成后，往往需要对硅片进行烘干操作，传统的硅片花篮为了保持硅片的放置稳定，都会设置挡板对硅片进行限制，从而造成硅片表面造成部分遮挡，影响烘干的全面性与烘干效率，硅片花篮的整体通风能力不足，导致烘干空气流通效果差，进一步降低烘干效果，影响硅片的生产效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供双凸齿平板硅片花篮。
[0005]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0006]双凸齿平板硅片花篮，包括两个安装架，两个所述安装架之间安装有三个硅片齿排；
[0007]所述安装架上开设有通孔，所述硅片齿排的两端通过通孔与安装架连接，所述安装架上开设有均匀分布的通风口；
[0008]所述硅片齿排包含有两个不锈钢螺纹杆，两个所述不锈钢螺纹杆之间通过注塑方式包裹有双凸齿齿排，所述不锈钢螺纹杆的两端通过通孔延伸至两个所述安装架相背的一侧并螺纹连接有不锈钢螺丝。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：
[0010]所述双凸齿齿排包含有包裹部，所述包裹部包裹于不锈钢螺纹杆上，所述包裹部上一体成型有等距离排列的连接部，所述连接部上一体成型有两个对称设置的分隔齿。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：
[0012]所述分隔齿的截面形状为菱形，所述分隔齿与搁置硅片的接触处为菱角。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述：
[0014]所述连接部的两侧均开设有通风槽，所述通风槽位于；两个分隔齿之间。
[0015]作为上述技术方案的进一步描述：
[0016]所述安装架上一体成型有均匀分布的加强条，所述加强条位于相邻的两个通风口之间。
[0017]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0018]本方案，方便对硅片进行规整的放置整理，并避免硅片相互接触粘接，同时对硅片表面的遮挡较少，通风效果佳，方便对放置于硅片花篮内的硅片进行烘干工作，提高烘干效率与烘干效果，提升硅片的生产效率。
附图说明
[0019]图1为本技术的正视剖视结构示意图；
[0020]图2为本技术硅片齿排的侧视结构示意图；
[0021]图3为本技术安装架的测试结构示意图。
[0022]图中标号说明：
[0023]1、安装架；11、通孔；12、通风口；13、加强条；2、硅片齿排；21、不锈钢螺纹杆；22、双凸齿齿排；221、包裹部；222、连接部；223、分隔齿；224、通风槽；23、不锈钢螺丝。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；
[0025]请参阅图1～3，本技术中，双凸齿平板硅片花篮，包括两个安装架1，两个安装架1之间安装有三个硅片齿排2，从而形成用于搁置硅片的硅片花篮主体；
[0026]安装架1上开设有通孔11，硅片齿排2的两端通过通孔11与安装架1连接，安装架1上开设有均匀分布的通风口12，利用通孔11方便硅片齿排2的安装使用，而通风口12这便于空气流通，从而对放置于硅片齿排2上的硅片进行烘干，提高烘干效率；
[0027]硅片齿排2包含有两个不锈钢螺纹杆21，两个不锈钢螺纹杆21之间通过注塑方式包裹有双凸齿齿排22，注塑方式能够方便双凸齿齿排22的生产同时保证双凸齿齿排22与不锈钢螺纹杆21之间的稳定，避免出现缝隙，利用双凸齿能够对硅片进行分隔，避免两个硅片粘接在一起影响使用或影响烘干效果，不锈钢螺纹杆21的两端通过通孔11延伸至两个安装架1相背的一侧并螺纹连接有不锈钢螺丝23，利用不锈钢螺丝23能够将不锈钢螺纹杆21的两端固定在安装架1上，拆装简单便捷。
[0028]本技术中，能够构成硅片花篮对硅片进行规整的放置，并分隔每个硅片，在两个硅片之间形成一定间距的空隙，避免硅片贴合粘接在一起，硅片花篮对硅片的遮挡面减小，能够方便空气流通，以便于生产清洗后对硅片的烘干工作，提高烘干效率，提升硅片的生产速度。
[0029]其中：双凸齿齿排22包含有包裹部221，包裹部221包裹于不锈钢螺纹杆21上，包裹部221上一体成型有等距离排列的连接部222，连接部222上一体成型有两个对称设置的分隔齿223。
[0030]本技术中，通过连接部222将两个套管式的包裹部221进行连接，同时利用分隔齿223为相邻的两个硅片进行分隔，避免两个硅片接触，利用两个连接部222之间的空隙便于搁置硅片同时供空气的流通，便于烘干工作。
[0031]其中：分隔齿223的截面形状为菱形，分隔齿223与搁置硅片的接触处为菱角。
[0032]本技术中，菱形拐角对硅片的接触限制，能够在分隔硅片的同时减少与硅片的接触面积，避免遮挡的面积过多影响烘干的全面性，保证烘干效果。
[0033]其中：连接部222的两侧均开设有通风槽224，通风槽224位于两个分隔齿223之间。
[0034]本技术中，通过通风槽224进一步增强两个连接部222之间的通风效果，在搁置硅片后能够保持通风率，提升烘干效率。
[0035]其中：安装架1上一体成型有均匀分布的加强条13，加强条13位于相邻的两个通风
口12之间。
[0036]本技术中，利用加强条13增强开设通风口12后的安装架1结构强度，保证硅片花篮的整体强度，保证安装架1的结构稳定。
[0037]工作原理：利用三个硅片齿排2将两个安装架1进行连接形成硅片花篮，并通过不锈钢螺丝23固定不锈钢螺纹杆21完成安装，双凸齿齿排22方便分隔硅片避免硅片之间相互接触，同时提供空隙，配合通风口12、连接部222上的通风槽224提供通风率，方便对放置的硅片进行烘干工作，而分隔齿223则减小与硅片的接触面积，减少对硅片表面的遮挡，进一步提高烘干的全面性与烘干效果，满足使用者的使用需求，适合推广使用，提高硅片生产效率。
[0038]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式；但本技术的保护范围并不局限于此。任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.双凸齿平板硅片花篮，包括两个安装架(1)，其特征在于：两个所述安装架(1)之间安装有三个硅片齿排(2)；所述安装架(1)上开设有通孔(11)，所述硅片齿排(2)的两端通过通孔(11)与安装架(1)连接，所述安装架(1)上开设有均匀分布的通风口(12)；所述硅片齿排(2)包含有两个不锈钢螺纹杆(21)，两个所述不锈钢螺纹杆(21)之间通过注塑方式包裹有双凸齿齿排(22)，所述不锈钢螺纹杆(21)的两端通过通孔(11)延伸至两个所述安装架(1)相背的一侧并螺纹连接有不锈钢螺丝(23)。2.根据权利要求1所述的双凸齿平板硅片花篮，其特征在于：所述双凸齿齿排(22)包含有包裹部(221)，所述包裹部(221)包裹于不锈...

【专利技术属性】
技术研发人员：张旭强，张剑侠，张曼曼，
申请(专利权)人：江苏国汇合瑞半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：