江苏国汇合瑞半导体材料有限公司专利技术

江苏国汇合瑞半导体材料有限公司共有10项专利

  • 本技术属于硅片清洗设备领域,公开了一种硅片花篮,包括两个对称设置的花篮挡板,其特征在于:所述花篮挡板为“山”字形,两个所述花篮挡板的中部设置有等距离竖直排列的双面花篮齿杆,每个所述双面花篮齿杆的两侧均设置有与其对应的单面花篮齿杆,每个所...
  • 本实用新型公开了一种用于硅片花篮综合测试装置,包括基座,所述基座的顶部安装有可调节移动座,所述基座的顶部固定连接有L形架,所述基座的顶部转动连接有定位柱,所述定位柱的顶部与L形架转动连接,所述定位柱的外侧安装有等距离排列的尺寸测试机构。...
  • 本实用新型属于花篮齿杆领域,公开了一种硅片清洗花篮齿杆,包括花篮齿杆本体,所述花篮齿杆本体包括多个拼接齿杆和连接杆,多个所述拼接齿杆从左至右通过连接杆首尾连接;左右相邻的两个所述拼接齿杆的相对侧均开设有与连接杆适配的拼接槽,所述拼接齿杆...
  • 本实用新型公开了双凸齿平板硅片花篮,包括两个安装架,两个所述安装架之间安装有三个硅片齿排;所述安装架上开设有通孔,所述硅片齿排的两端通过通孔与安装架连接,所述安装架上开设有均匀分布的通风口;所述硅片齿排包含有两个不锈钢螺纹杆,两个所述不...
  • 本实用新型公开了一种可调节的硅片花篮,包括两个相互固定连接的隔板,两个所述隔板之间通过螺栓固定连接有两个档杆,所述档杆转动连接有两个第一支撑杆,相邻的两个所述第一支撑杆另一端之间转动连接有第一活动限制杆,所述第一活动限制杆的两端均转动连...
  • 本实用新型公开了一种硅片清洗花篮,包括清洗槽,所述清洗槽的顶部固定连接有两个支架,两个所述支架之间的内部转动连接有转动杆,右侧所述支架上安装有驱动组件,所述驱动组件与转动杆相配合,所述转动杆的外侧固定连接有两组连接架。该实用新型通过清洗...
  • 本实用新型涉及硅片花篮检测装置技术领域,尤其涉及一种可适配多尺寸的硅片花篮检测装置,解决了现有技术中市场上的硅片花篮检测装置在使用过程中,受硅片花篮尺寸不同的影响,人员通常需要准备多个应对不同尺寸的检测装置轮换着进行使用,这无疑造成了检...
  • 本实用新型公开了一种硅片承载花篮,包括承载板,所述承载板的顶部固定连接有两个支撑板,所述承载板的顶部设置有两个限位板,两个所述限位板均滑动连接在背面的支撑板上,正面的所述支撑板上开设有通槽,两个所述限位板的正面均固定连接有同步板,所述同...
  • 本实用新型属于硅片花篮技术领域,公开了一种可兼容硅片花篮,包括两个挡板,两个所述挡板上安装有一一对应的夹块,对应的两个所述夹块之间穿插有稳定杆与包裹杆,所述包裹杆的内侧转动连接有螺纹调节杆,所述稳定杆与包裹杆之间固定连接有第一隔片,所述...
  • 本实用新型属于硅片花篮技术领域,公开了一种高稳定性硅片花篮,包括两个侧板,两个所述侧板上均开设有两个调节槽,四个所述调节槽的内部均安装有连接组件,四个所述连接组件之间分别安装有两个夹柱,两个所述夹柱相对的一侧均开设有等距离排列地插槽。该...
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