半导体料盘自动运输设备制造技术

本发明专利技术涉及半导体料盘运输设备技术领域的半导体料盘自动运输设备，包括空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构，空盘物料舱和料盘物料舱之间为上下垂直分布，中转运输机构设置在料盘物料舱与取料运输机构之间，空盘物料舱和料盘物料舱的内部均设有第一抬升架，中转运输机构的内部设有第二抬升架，取料运输机的内部设有第三抬升架，设有用于驱动第一限位板体和第二限位板体移动的间隙调节机构，使得多个物料盘可进行堆叠进行一次性运输，提高了半导体料盘自动运输设备的运输效率，使半导体料盘自动运输设备适应不同尺寸的半导体料盘进行运输，达到减少不同尺寸的半导体料盘自动运输设备的目的。半导体料盘自动运输设备的目的。半导体料盘自动运输设备的目的。

【技术实现步骤摘要】
半导体料盘自动运输设备


[0001]本专利技术涉及半导体料盘运输设备
，具体为半导体料盘自动运输设备。

技术介绍

[0002]现有技术中半导体的检测，均需要料盘对半导体进行装载，并通过料盘运输生产线对料盘进行运输。料盘运输生产线一般通过滚筒式输送线对料盘进行滚动运输。
[0003]现有技术中存在不同尺寸的料盘，相对应的需要选择长度尺寸一致的滚筒式输送线进行运输，同时一种规格的滚筒式输送线只适配一种尺寸大小的料盘，导致生产者需要根据料盘尺寸投入多条料盘运输生产线，从而导致生产者的料盘运输设备成本投入量大；
[0004]在滚筒式输送线的末端一般由人工将物料盘进行堆叠，同时经过人工对物料盘的进行摆放方向进行调整统一，导致滚筒式输送线的自动化程度低，物料盘的运输效率低下。
[0005]因此，亟需半导体料盘自动运输设备来解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供半导体料盘自动运输设备，为了更好地解决滚筒式输送线无法适应不同尺寸大小的料盘和提高物料盘的运输效率的技术问题。
[0007]为了解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：
[0008]半导体料盘自动运输设备，包括空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构，空盘物料舱和料盘物料舱之间为上下垂直分布，中转运输机构设置在料盘物料舱与取料运输机构之间；
[0009]所述空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构均设有用于运输料盘的滚筒运输线，滚筒运输线包括若干根可转动的滚筒，空盘物料舱和料盘物料舱的内部均设有第一抬升架，中转运输机构的内部设有第二抬升架，取料运输机的内部设有第三抬升架，位于空盘物料舱和料盘物料舱内部的滚筒运输线均通过第一承载架与第一抬升架进行活动连接，位于中转运输机构和取料运输机构内部的滚筒运输线通过第二承载架分别与第二抬升架和第三抬升架进行活动连接，第二抬升架的高度大于第三抬升架的高度；
[0010]位于空盘物料舱和料盘物料舱内部的滚筒运输线顶部的两侧均设有第一限位板体，位于中转运输机构和取料运输机构内部的滚筒运输线顶部的两侧均设有第二限位板体，空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构的内部均设有用于驱动第一限位板体和第二限位板体移动的间隙调节机构，第一限位板体和第二限位板体分别与间隙调节机构进行固定连接，相邻两块第一限位板体通过间隙调节机构进行间隙调节，相邻两块第二限位板体通过间隙调节机构进行间隙调节；
[0011]所述中转运输机构的上方设有堆叠机械手，堆叠机械手包括伺服滑台组件、支持臂和夹具，支持臂的一端通过气动组件与夹具进行活动连接，支持臂的另一端与伺服滑台组件进行活动连接，夹具通过支持臂延伸至中转运输机构的上方，夹具通过伺服滑台组件可在中转运输机构与取料运输机构之间的上方进行移动。
[0012]上述说明中，作为进一步的方案，第一承载架与第二承载架的结构保持一致，第一承载架和第二承载架均包括承载板体、固定支架和滑动套筒，固定支架垂直固定连接在承载板体的两侧，滚筒的两端可转动地连接在固定支架的内侧壁，滑动套筒设置于承载板体的四个边角处，第一承载架与第二承载架均通过滑动套筒与第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架进行活动连接，第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的两侧均为导向杆，滑动套筒分别与对应的导向杆进行套接，第一承载架与第二承载架可沿导向杆进行上下滑动。
[0013]上述说明中，作为进一步的方案，第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部均设有用于驱动第一承载架与第二承载架进行上下滑动的抬升驱动组件；
[0014]抬升驱动组件包括抬升伺服电机和抬升丝杆，承载板体的一侧设有与抬升丝杆相匹配的螺接件，抬升伺服电机分别固定连接在第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部，抬升丝杆的一端与抬升伺服电机的输出轴进行固定连接，抬升丝杆的另一端贯穿第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部，且与螺接件进行螺接。
[0015]上述说明中，作为进一步的方案，位于中转运输机构和取料运输机构内部的间隙调节机构设置在第二抬升架和第三抬升架的内部，位于空盘物料舱、料盘物料舱内部的间隙调节机构设置在第一承载架的内部，第一限位板体和第二限位板体均通过连接座与间隙调节机构进行固定连接，连接座呈直角状结构，第一限位板体和第二限位板体的底部固定连接在连接座的一侧。
[0016]上述说明中，作为进一步的方案，间隙调节机构包括调节导轨、调节伺服电机、调节丝杆和调节滑块，调节滑块的底部可滑动地连接在调节导轨的中部，连接座远离第一限位板体和第二限位板体的一侧与调节滑块的顶部进行固定连接，第一限位板体和第二限位板体与调节导轨之间的夹角为90度；
[0017]调节伺服电机设置在调节导轨的一端，调节丝杆的一端与调节伺服电机的输出轴进行固定连接，连接座的中部设有向上凸起的螺接块，调节丝杆的另一端贯穿螺接块的中部，且与螺接块进行螺接。
[0018]上述说明中，作为进一步的方案，第一限位板体的中部开设有若干个套接通孔，滚筒插接在套接通孔的内部，滚筒可在套接通孔的内部进行移动；
[0019]第二限位板体的中部开设有若干条滑槽，滑槽贯穿第二限位板体的两侧面，滚筒插接在滑槽的内部，且与滑槽之间保持垂直的结构，滚筒可沿滑槽的内部进行滑动。
[0020]上述说明中，作为进一步的方案，固定支架的外侧壁均设有若干个从动轮和驱动轮，从动轮和驱动轮均可转动地连接在固定支架的外侧壁，滚筒的端部贯穿固定支架与从动轮进行固定连接；
[0021]固定支架的一侧设有运输伺服电机，运输伺服电机的输出轴贯穿固定支架与驱动轮进行固定连接，从动轮与驱动轮之间通过传动链条进行活动连接。
[0022]上述说明中，作为进一步的方案，伺服滑台组件包括移动伺服电机、移动滑块、移动导轨和移动丝杆，移动滑块的底部与移动导轨进行可滑动地连接，移动滑块的顶部与支持臂远离夹具的一端进行固定连接，移动伺服电机设置在移动导轨的一侧，移动丝杆的一端贯穿移动滑块的中部，且与移动滑块进行螺接；
[0023]移动丝杆的另一端设有传动同步轮，移动伺服电机的输出轴设有驱动同步轮，传动同步轮与驱动同步轮之间通过同步带进行活动连接。
[0024]上述说明中，作为进一步的方案，气动组件包括直线气缸和旋转气缸，直线气缸的顶部与支持臂一端的底部进行固定连接，直线气缸的底部与旋转气缸的顶部进行固定连接，旋转气缸可沿直线气缸的垂直方向进行移动；
[0025]夹具的中心固定连接在旋转气缸的底部，夹具可沿旋转气缸的中心进行旋转。
[0026]上述说明中，作为进一步的方案，取料运输机构远离中转运输机构的一侧设有料盘检测机构，料盘检测机构位于第三抬升架顶部所在的平面上，料盘检测机构包括检测气缸和限位开关，检测气缸的一端为推动部，限位开关固定连接在推动部的端部，推动部可向第三抬升架的一侧进行延伸，限位开关的开关探头可延伸至滚筒运输线的内部。
[0027]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.半导体料盘自动运输设备，其特征在于：包括空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构，空盘物料舱和料盘物料舱之间为上下垂直分布，中转运输机构设置在料盘物料舱与取料运输机构之间；所述空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构均设有用于运输料盘的滚筒运输线，滚筒运输线包括若干根可转动的滚筒，空盘物料舱和料盘物料舱的内部均设有第一抬升架，中转运输机构的内部设有第二抬升架，取料运输机的内部设有第三抬升架，位于空盘物料舱和料盘物料舱内部的滚筒运输线均通过第一承载架与第一抬升架进行活动连接，位于中转运输机构和取料运输机构内部的滚筒运输线通过第二承载架分别与第二抬升架和第三抬升架进行活动连接，第二抬升架的高度大于第三抬升架的高度；位于空盘物料舱和料盘物料舱内部的滚筒运输线顶部的两侧均设有第一限位板体，位于中转运输机构和取料运输机构内部的滚筒运输线顶部的两侧均设有第二限位板体，空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构的内部均设有用于驱动第一限位板体和第二限位板体移动的间隙调节机构，第一限位板体和第二限位板体分别与间隙调节机构进行固定连接，相邻两块第一限位板体通过间隙调节机构进行间隙调节，相邻两块第二限位板体通过间隙调节机构进行间隙调节；所述中转运输机构的上方设有堆叠机械手，堆叠机械手包括伺服滑台组件、支持臂和夹具，支持臂的一端通过气动组件与夹具进行活动连接，支持臂的另一端与伺服滑台组件进行活动连接，夹具通过支持臂延伸至中转运输机构的上方，夹具通过伺服滑台组件可在中转运输机构与取料运输机构之间的上方进行移动。2.根据权利要求1所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述第一承载架与第二承载架的结构保持一致，第一承载架和第二承载架均包括承载板体、固定支架和滑动套筒，固定支架垂直固定连接在承载板体的两侧，滚筒的两端可转动地连接在固定支架的内侧壁，滑动套筒设置于承载板体的四个边角处，第一承载架与第二承载架均通过滑动套筒与第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架进行活动连接，第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的两侧均为导向杆，滑动套筒分别与对应的导向杆进行套接，第一承载架与第二承载架可沿导向杆进行上下滑动。3.根据权利要求2所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部均设有用于驱动第一承载架与第二承载架进行上下滑动的抬升驱动组件；抬升驱动组件包括抬升伺服电机和抬升丝杆，承载板体的一侧设有与抬升丝杆相匹配的螺接件，抬升伺服电机分别固定连接在第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部，抬升丝杆的一端与抬升伺服电机的输出轴进行固定连接，抬升丝杆的另一端贯穿第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部，且与螺接件进行螺接。4.根据权利要求2所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述位于中转运输机构和取料运输机构内部的间隙调节机构设置在第二抬升架和第三抬升架的内部，位于空盘物料舱、料盘物料舱内部的间隙调...

【专利技术属性】
技术研发人员：禤永安，谢华春，黄世友，
申请(专利权)人：东莞市善易机械科技有限公司，
类型：发明
国别省市：