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本发明涉及半导体料盘运输设备技术领域的半导体料盘自动运输设备，包括空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构，空盘物料舱和料盘物料舱之间为上下垂直分布，中转运输机构设置在料盘物料舱与取料运输机构之间，空盘物料舱和料盘物料舱的内部均设...
该专利属于东莞市善易机械科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市善易机械科技有限公司授权不得商用。

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