CVD设备的数据采集方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及数据处理技术领域，提供了一种CVD设备的数据采集方法和装置，其中方法包括：通过通讯协议连接CVD设备；其中，所述CVD设备上设置有多个传感器用于采集CVD设备的各项参数；所述参数至少包括温度、压力、流量、电流、电压；获取所述CVD设备上各个所述传感器对应采集的各项参数；对各项所述参数进行统一汇总管理；生成交互界面，以通过所述交互界面修改所述参数；其中，所述交互界面的后台提供修改所述参数的接口。本发明专利技术通过中央管理器获取到CVD设备的各项参数，在中央管理器上对各项参数进行统一汇总管理，同时还可以进行参数的修改。改。改。

【技术实现步骤摘要】
CVD设备的数据采集方法和装置


[0001]本专利技术涉及数据处理
，特别涉及一种CVD设备的数据采集方法和装置。

技术介绍

[0002]CVD设备是半导体技术行业中一种重要的工艺设备，其用于对相关的半导体产品/材料进行工艺处理，处理过程中通常具备高温高压的特性。CVD设备在对不同产品/材料进行处理时，其采用的参数不同，且参数数量较多，不便于进行参数的管理；目前，通常也只是进行参数的简单记录，并没有进行统一管理。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的为提供一种CVD设备的数据采集方法和装置，旨在克服目前没有对CVD设备的参数进行统一管理的缺陷。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供了一种CVD设备的数据采集方法，应用于中央管理器，所述方法包括以下步骤：通过通讯协议连接CVD设备；其中，所述CVD设备上设置有多个传感器用于采集CVD设备的各项参数；所述参数至少包括温度、压力、流量、电流、电压；获取所述CVD设备上各个所述传感器对应采集的各项参数；对各项所述参数进行统一汇总管理；生成交互界面，以通过所述交互界面修改所述参数；其中，所述交互界面的后台提供修改所述参数的接口。
[0005]进一步地，所述对各项所述参数进行统一汇总管理的步骤，包括：获取所述参数的特征信息；其中，所述特征信息包括所述参数的种类特征、数量特征以及数值特征；将所述参数与所述参数的特征信息形成训练对，将所述训练对输入至第一初始网络模型中进行训练，得到所述第一初始网络模型的第一权重参数；其中，所述第一初始网络模型为深度学习模型；根据所述参数的种类特征、数量特征，匹配多个对应的管理终端；其中，各个所述管理终端上存储有与所述参数的种类特征、数量特征一致的训练数据，且所述训练数据的数值特征不同于所述参数的数值特征；基于各个所述管理终端上的训练数据训练各所述管理终端上预设的第二初始网络模型，得到各所述第二初始网络模型的第二权重参数；基于所述第一权重参数以及各所述第二权重参数，进行聚合计算，得到对应的聚合值；基于所述聚合值更新所述第一初始网络模型的第一权重参数，得到更新后的网络模型作为参数汇总模型；将待分类参数输入至所述参数汇总模型中进行检测，得到所述待分类参数的汇总结果；其中，所述待分类参数的汇总结果包括所述待分类参数的种类、数量以及数值。
[0006]进一步地，所述基于所述第一权重参数以及各所述第二权重参数，进行聚合计算，得到对应的聚合值的步骤，包括：将所述第一权重参数以及各所述第二权重参数发送至第三方终端，以基于所述第三方终端对所述第一权重参数以及第二权重参数进行聚合计算，得到对应的聚合值，并接收所述第三方终端返回的聚合值；其中，所述第三方终端是所述中央管理器以及所述管理终端预先协商好的可信第三方；所述第三方终端分别与中央管理器以及管理终端之间加密通讯，所述中央管理器将第一权重参数发送至所述第三方终端，所述管理终端将所述第二权重参数发送至所述第三方终端。
[0007]进一步地，所述基于所述第一权重参数以及各所述第二权重参数，进行聚合计算，得到对应的聚合值的步骤，包括：生成随机干扰数据，将所述第一权重参数与所述随机干扰数据合成之后发送至第三方终端；基于所述管理终端将所述第二权重参数发送至所述第三方终端；以基于所述第三方终端对所述第一权重参数、随机干扰数据以及第二权重参数进行聚合计算，得到对应的聚合值，并接收所述第三方终端返回的聚合值；其中，所述第三方终端是所述中央管理器以及所述管理终端预先协商好的可信第三方；所述第三方终端分别与中央管理器以及管理终端之间加密通讯。
[0008]进一步地，所述获取所述CVD设备上各个所述传感器对应采集的各项参数的步骤之后，还包括：将各项所述参数表征为第一参数集合；其中，所述第一参数集合中各个元素描述的是各个所述参数对应的数值，且所述第一参数集合按照预设排序规则进行排列得到；从厂商数据库中，选择出相同行业的厂商，并确定出所述厂商所对应的厂商终端；其中，所述厂商终端上存储有第二参数集合，所述第二参数集合的元素描述的是所述厂商的设备参数所对应的数值，且所述第二参数集合与所述第一参数集合的排序相同；中央管理器采用多个不同的哈希函数，分别将所述第一参数集合中的元素映射至目标哈希表中；所述厂商终端采用所述哈希函数，分别将所述第二参数集合中的元素映射至目标哈希表中；其中，所述目标哈希表中的元素为第一参数集合/第二参数集合中元素对应的哈希值；所述中央管理器上的多个哈希函数与所述厂商终端上的多个哈希函数一一对应相同；所述中央管理器与所述厂商终端之间执行随机OT协议，针对所述目标哈希表中的每个元素，生成对应的随机序列；其中，所述随机序列生成时，以所述目标哈希表中的元素为选择向量；根据所述随机序列，将所述第一参数集合以及第二元素集合中的元素，表达为对应的第一随机序列集合以及第二随机序列集合；所述中央管理器将所述第一随机序列集合发送至第三方终端，所述厂商终端将所述第二随机序列集合发送至所述第三方终端，以基于所述第三方终端计算所述第一随机序列集合以及第二随机序列集合中相同的元素，得到相同元素集合；其中，所述第三方终端是所述中央管理器以及所述管理终端预先协商好的可信第三方；所述第三方终端分别与中央管理器以及管理终端之间加密通讯；接收所述第三方终端反馈的所述相同元素集合，基于所述相同元素集合，在所述
第一参数集合中查找对应的目标元素；所述目标元素表征的是所述中央管理器与所述厂商终端相同的参数。
[0009]进一步地，所述将各项所述参数表征为第一参数集合的步骤，包括：获取预设的参数顺序规则；其中，所述参数顺序规则是针对n个预设参数的排列规则；其中，所述预设参数包括了所述CVD设备上的所有参数；建立参数集合，其中所述参数集合中包括n个元素位；其中，每个元素位对应一个预设参数；遍历所述参数集合中的元素位，选择对应所述预设参数的参数所对应的数值，填入对应的所述元素位中，得到所述第一参数集合；若所述参数中没有所述预设参数，则在对应的元素位填入预设数字；其中，所述预设数字为对应所述预设参数的数字；不同的预设参数对应不同的预设数字。
[0010]本专利技术还提供了一种CVD设备的数据采集装置，应用于中央管理器，包括：通讯单元，用于通过通讯协议连接CVD设备；其中，所述CVD设备上设置有多个传感器用于采集CVD设备的各项参数；所述参数至少包括温度、压力、流量、电流、电压；获取单元，用于获取所述CVD设备上各个所述传感器对应采集的各项参数；管理单元，用于对各项所述参数进行统一汇总管理；生成交互界面，以通过所述交互界面修改所述参数；其中，所述交互界面的后台提供修改所述参数的接口。
[0011]进一步地，所述管理单元，包括：获取子单元，用于获取所述参数的特征信息；其中，所述特征信息包括所述参数的种类特征、数量特征以及数值特征；第一训练子单元，用于将所述参数与所述参数的特征信息形成训练对，将所述训练对输入至第一初始网络模型中进行训练，得到所述第一初始网络模型的第一权重参数；其中，所述第一初始网络模型为深度学习模型；匹配子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD设备的数据采集方法，其特征在于，应用于中央管理器，所述方法包括以下步骤：通过通讯协议连接CVD设备；其中，所述CVD设备上设置有多个传感器用于采集CVD设备的各项参数；所述参数至少包括温度、压力、流量、电流、电压；获取所述CVD设备上各个所述传感器对应采集的各项参数；对各项所述参数进行统一汇总管理；生成交互界面，以通过所述交互界面修改所述参数；其中，所述交互界面的后台提供修改所述参数的接口。2.根据权利要求1所述的CVD设备的数据采集方法，其特征在于，所述对各项所述参数进行统一汇总管理的步骤，包括：获取所述参数的特征信息；其中，所述特征信息包括所述参数的种类特征、数量特征以及数值特征；将所述参数与所述参数的特征信息形成训练对，将所述训练对输入至第一初始网络模型中进行训练，得到所述第一初始网络模型的第一权重参数；其中，所述第一初始网络模型为深度学习模型；根据所述参数的种类特征、数量特征，匹配多个对应的管理终端；其中，各个所述管理终端上存储有与所述参数的种类特征、数量特征一致的训练数据，且所述训练数据的数值特征不同于所述参数的数值特征；基于各个所述管理终端上的训练数据训练各所述管理终端上预设的第二初始网络模型，得到各所述第二初始网络模型的第二权重参数；基于所述第一权重参数以及各所述第二权重参数，进行聚合计算，得到对应的聚合值；基于所述聚合值更新所述第一初始网络模型的第一权重参数，得到更新后的网络模型作为参数汇总模型；将待分类参数输入至所述参数汇总模型中进行检测，得到所述待分类参数的汇总结果；其中，所述待分类参数的汇总结果包括所述待分类参数的种类、数量以及数值。3.根据权利要求2所述的CVD设备的数据采集方法，其特征在于，所述基于所述第一权重参数以及各所述第二权重参数，进行聚合计算，得到对应的聚合值的步骤，包括：将所述第一权重参数以及各所述第二权重参数发送至第三方终端，以基于所述第三方终端对所述第一权重参数以及第二权重参数进行聚合计算，得到对应的聚合值，并接收所述第三方终端返回的聚合值；其中，所述第三方终端是所述中央管理器以及所述管理终端预先协商好的可信第三方；所述第三方终端分别与中央管理器以及管理终端之间加密通讯，所述中央管理器将第一权重参数发送至所述第三方终端，所述管理终端将所述第二权重参数发送至所述第三方终端。4.根据权利要求2所述的CVD设备的数据采集方法，其特征在于，所述基于所述第一权重参数以及各所述第二权重参数，进行聚合计算，得到对应的聚合值的步骤，包括：生成随机干扰数据，将所述第一权重参数与所述随机干扰数据合成之后发送至第三方终端；基于所述管理终端将所述第二权重参数发送至所述第三方终端；以基于所述第三方终端对所述第一权重参数、随机干扰数据以及第二权重参数进行聚合计算，得到对应的聚合值，并接收所述第三方终端返回的聚合值；其中，所述第三方终端是所述中央管理器以及所述管理终端预先协商好的可信第三方；所述第三方终端分别与中央管理器以及管理终端
之间加密通讯。5.根据权利要求1所述的CVD设备的数据采集方法，其特征在于，所述获取所述CVD设备上各个所述传感器对应采集的各项参数的步骤之后，还包括：将各项所述参数表征为第一参数集合；其中，所述第一参数集合中各个元素描述的是各个所述参数对应的数值，且所述第一参数集合按照预设排序规则进行排列得到；从厂商数据库中，选择出相同行业的厂商，并确定出所述厂商所对应的厂商终端；其中，所述厂商终端上存储有第二参数集合，所述第二参数集合的元素描述的是所述厂商的设备参数所对应的数值，且所述第二参数集合与所述第一参数集合的排序相同；中央管理器采用多个不同的哈希函数，分别将所述第一参数集合中的元素映射至目标哈希表中；所述厂商终端采用所述哈希函数，分别将所述第二参数集合中的元素映射至目标哈希表中；其中，所述目标哈希表中的元素为第一参数集合/第二参数集合中元素对应的哈希值；所述中央管理器上的多个哈希函数与所述厂商终端上的多个哈希函数一一对应相同；所述中央管理器与所述厂商终端之间执行随机OT协议，针对所述目标哈希表中的每个元素，生成对应的随机序列；其中，所述随机序列生成时，以所述目标哈希表中的元素为选择向量；根据所述随机序列，将所述第一参数集合以及第二元素集合中的元素，表达为对应的第一随机序列集合以及第二随机序列集合；所述中央管理器将所述第一随机序列集合发送至第三方终端，所述厂商终端将所述第二随机序列集合发送至所述第三方终端，以基于所述第三方终端计算所述第一随机序列集合以及第二随机序列集合中相同的元素，得到相同元素集合；其中，所述第三方终端是所述中央管理器以及所述厂商终端预先协商好的可信第三方；所述第三方终端分...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱佰喜，薛抗美，林梓峰，李铭湛，邹明蓓，
申请(专利权)人：广州志橙半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：