本实用新型专利技术涉及一种晶圆用钢环支撑料架装置，从下往上依次包括钢环料架基板和钢环料架滑板，钢环料架滑板可相对于钢环料架基板沿着X轴方向移动；钢环料架滑板上的中间位置的四周均设置有导向卡槽，导向卡槽内安装有钢环料架限位机构；其中一个外钢环料架限位架或内钢环料架限位架两侧的钢环料架滑板上分别设置有第一钢环限位架和第二钢环限位架。本实用新型专利技术通过第一钢环限位架和第二钢环限位架的结构设置，具有钢环放置的防呆功能；本实用新型专利技术可对8寸钢环和12寸钢环进行自由切换。型可对8寸钢环和12寸钢环进行自由切换。型可对8寸钢环和12寸钢环进行自由切换。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆用钢环支撑料架装置
[0001]本技术涉及晶圆加工相关
，尤其涉及一种晶圆用钢环支撑料架装置。
技术介绍
[0002]在现有技术中在对晶圆进行自动贴膜撕膜的加工设备中，都需要有供应钢环的支撑装置。现有技术中，例如公开号为CN107452660A，专利名称为晶圆载具及其制作方法的专利，目前这种技术在使用过程中不能进行8寸和12寸晶圆的自由切换，在对钢环是否有重叠方面，也没有检测，同时钢环的收放也不方便。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆用钢环支撑料架装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种晶圆用钢环支撑料架装置。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种晶圆用钢环支撑料架装置，从下往上依次包括钢环料架基板和钢环料架滑板，钢环料架滑板可相对于钢环料架基板沿着X轴方向移动；
[0007]钢环料架滑板上的中间位置的四周均设置有导向卡槽，导向卡槽内安装有钢环料架限位机构，钢环料架限位机构从外到内依次包括外钢环料架限位架和内钢环料架限位架，外钢环料架限位架和内钢环料架限位架依次从外到内安装在第一活动底板上，第一活动底板安装在导向卡槽内，外钢环料架限位架靠近内侧的第一活动底板上设置有外钢环垫板，内钢环料架限位架靠近内侧的第一活动底板上设置有内钢环垫板；
[0008]其中一个外钢环料架限位架或内钢环料架限位架两侧的钢环料架滑板上分别设置有第一钢环限位架和第二钢环限位架，第一钢环限位架的底部通过支撑底板安装在钢环料架滑板上，第二钢环限位架的底部通过第二活动底板安装在钢环料架滑板上开设的斜槽内。
[0009]作为本技术的进一步改进，钢环料架基板上沿着Y轴方向的两侧均设置有滑轨，滑轨沿着X轴方向设置且通过滑轨支撑架固定安装在钢环料架基板上，钢环料架滑板底部沿着Y轴方向的两侧分别通过滑轨导架与滑轨相连接。
[0010]作为本技术的进一步改进，钢环料架基板上沿着X轴负方向的一侧设置有用于对钢环料架滑板限位处理的滑板限位挡板，钢环料架基板上沿着X轴正方向的一侧设置有两联放大器，钢环料架滑板上沿着X轴负方向的一侧设置有把手；钢环料架基板上沿着X轴负方向的一侧还设置有旋钮柱塞，钢环料架滑板上沿着X轴负方向的一侧还设置有与旋钮柱塞相适配的柱塞限位块。
[0011]作为本技术的进一步改进，第一活动底板的外侧和内侧均设置有第一靠板，导向卡槽内设置有导向槽口，第一活动底板的底部通过位于钢环料架滑板底部的第一导向
块与导向槽口相连接。
[0012]作为本技术的进一步改进，第二活动底板的外侧和内侧均设置有第二靠板，斜槽内设置有斜槽口，第二活动底板的底部通过位于钢环料架滑板底部的第二导向块与斜槽口相连接，第二活动底板上还设置有调节旋钮，调节旋钮穿过第二活动底板后与位于钢环料架滑板底部的旋钮螺母相连接。
[0013]作为本技术的进一步改进，钢环料架基板上靠近X轴正方向的一侧设置有两个传感器立架，两个传感器立架分别位于钢环料架基板上沿着Y轴方向的两侧，传感器立架上沿着Z轴方向安装有若干个第一传感器。
[0014]作为本技术的进一步改进，钢环料架滑板下方的钢环料架基板上设置有传感器支架，传感器支架上设置有两个第二传感器，两个第二传感器正上方的钢环料架滑板上分别开设有通孔，两个通孔分别位于外钢环和内钢环的正下方。
[0015]作为本技术的进一步改进，沿着X轴负方向一侧的外钢环料架限位架上还设置有第三传感器。
[0016]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0017]1、本技术通过第一钢环限位架和第二钢环限位架的结构设置，具有钢环放置的防呆功能；
[0018]2、本技术可对8寸钢环和12寸钢环进行自由切换；
[0019]3、本技术钢环料架滑板可相对于钢环料架基板沿着X轴方向移动，放置钢环简单便捷；
[0020]4、本技术带有钢环检测功能，能够检测钢环是否充足；
[0021]5、本技术带有钢环厚度检测功能，能够防止叠环。
[0022]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0024]图1是本技术一种晶圆用钢环支撑料架装置的结构示意图；
[0025]图2是图1另一侧的结构示意图；
[0026]图3是图1或图2中钢环料架滑板的结构示意图；
[0027]图4是图1中钢环料架滑板上部分去除第一钢环限位架、第二钢环限位架后的结构示意图；
[0028]图5是图4中钢环料架滑板底部的结构示意图；
[0029]图6是图1中钢环料架滑板上部分中第一钢环限位架、第二钢环限位架后的结构示意图；
[0030]图7是图6中钢环料架滑板底部的结构示意图。
[0031]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0032]1 钢环料架基板
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2 钢环料架滑板
[0033]3 滑板限位挡板
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4 滑轨支撑架
[0034]5 滑轨
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6 滑轨导架
[0035]7 把手
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8 旋钮柱塞
[0036]9 柱塞限位块
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10 外钢环料架限位架
[0037]11 内钢环料架限位架
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12 第一钢环限位架
[0038]13 第二钢环限位架
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14 传感器立杆
[0039]15 外钢环
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16 内钢环
[0040]17 第一传感器
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18 两联放大器
[0041]19 第二传感器
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20 传感器支架
[0042]21 第三传感器
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22 导向卡槽
[0043]23 导向槽口
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24 斜槽
[0044]25 斜槽口
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26 第一活动底板
[0045]27 外钢环垫板
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆用钢环支撑料架装置，其特征在于：从下往上依次包括钢环料架基板(1)和钢环料架滑板(2)，所述钢环料架滑板(2)可相对于钢环料架基板(1)沿着X轴方向移动；所述钢环料架滑板(2)上的中间位置的四周均设置有导向卡槽(22)，所述导向卡槽(22)内安装有钢环料架限位机构，所述钢环料架限位机构从外到内依次包括外钢环料架限位架(10)和内钢环料架限位架(11)，所述外钢环料架限位架(10)和内钢环料架限位架(11)依次从外到内安装在第一活动底板(26)上，所述第一活动底板(26)安装在导向卡槽(22)内，所述外钢环料架限位架(10)靠近内侧的第一活动底板(26)上设置有外钢环垫板(27)，所述内钢环料架限位架(11)靠近内侧的第一活动底板(26)上设置有内钢环垫板(28)；其中一个所述外钢环料架限位架(10)或内钢环料架限位架(11)两侧的钢环料架滑板(2)上分别设置有第一钢环限位架(12)和第二钢环限位架(13)，所述第一钢环限位架(12)的底部通过支撑底板(31)安装在钢环料架滑板(2)上，所述第二钢环限位架(13)的底部通过第二活动底板(32)安装在钢环料架滑板(2)上开设的斜槽(24)内。2.如权利要求1所述的一种晶圆用钢环支撑料架装置，其特征在于，所述钢环料架基板(1)上沿着Y轴方向的两侧均设置有滑轨(5)，所述滑轨(5)沿着X轴方向设置且通过滑轨支撑架(4)固定安装在钢环料架基板(1)上，所述钢环料架滑板(2)底部沿着Y轴方向的两侧分别通过滑轨导架(6)与滑轨(5)相连接。3.如权利要求1或2任一所述的一种晶圆用钢环支撑料架装置，其特征在于，所述钢环料架基板(1)上沿着X轴负方向的一侧设置有用于对钢环料架滑板(2)限位处理的滑板限位挡板(3)，所述钢环料架基板(1)上沿着X轴正方向的一侧设置有两联放大器(18)，所述钢环料架滑板(2)上沿着X轴负方向的一侧设置有把手(7)；所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，王乾宝，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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