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本实用新型涉及一种晶圆用钢环支撑料架装置，从下往上依次包括钢环料架基板和钢环料架滑板，钢环料架滑板可相对于钢环料架基板沿着X轴方向移动；钢环料架滑板上的中间位置的四周均设置有导向卡槽，导向卡槽内安装有钢环料架限位机构；其中一个外钢环料架限位...
该专利属于苏州德龙激光股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州德龙激光股份有限公司授权不得商用。

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