本发明专利技术的气体处理炉(10)的特征在于由在内部充填有电热体的加热器主体(12)和贯通该加热器主体(12)的管状的气体流通路(14)构成。另外，气体处理炉的特征在于具备：块状的加热器主体(12)，其在上下方向延伸，在内部充填有电热体；气体流通路(14)，其在上下贯通上述加热器主体(12)的内部，在俯视时，多列气体流通路(14)在前后方向连续设置或者延伸设置并且在左右方向相互平行；以及头管箱(16)，其安装在上述加热器主体(12)的上端部，经由在其内部形成的连通空间(16a)而将上述气体流通路(14)彼此相互连通。彼此相互连通。彼此相互连通。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体处理炉以及使用气体处理炉的排出气体处理装置
[0001]本专利技术涉及适于例如包含PFCs(全氟碳化合物)等的难分解性排出气体的除害处理的气体处理炉、以及使用该气体处理炉的排出气体处理装置。
技术介绍
[0002]当前，作为制造或处理物品的工业加工开发并实施了多种多样的方案，从这样的多种多样的工业加工排出的气体(以下称为“处理对象排出气体”)的种类也非常复杂。因而，根据从工业加工排出的处理对象排出气体的种类，分别使用各个种类的排出气体处理方法以及排出气体处理装置。
[0003]其中，使用电热加热器的电热氧化分解式的排出气体处理方法是作为半导体制造加工中的排出气体处理方法当前最为普及的分解处理方法，在处理对象排出气体(除害对象气体)的分解处理时容易控制处理工序，能安全地对处理对象排出气体进行分解处理。尤其是，在使用电热加热器的加热分解装置(气体处理炉)的前后设有湿式洗涤器的排出气体处理装置中，跟随半导体制造中的多种多样的条件，无论对于处理对象排出气体中的哪种除害对象成分都进行除害处理直至TLV[Threshold Limit Value；暴露极限]以下的浓度(例如参照专利文献1)。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献1：日本特开平7－323211号公报
技术实现思路
[0006]专利技术所要解决的课题
[0007]可是，2015年9月的联合国峰会上采纳了“用于可持续开发的2030议程”，此后，关于今后的能量的有效利用等进行了各种议论及研讨。在这样的状况之下，可预想到在作为加热时的能量消耗比较大量的电力的具备上述以往的电热氧化分解式的气体处理炉的排出气体处理装置中节能化及节约空间化的需求也日益增多。
[0008]因而，本专利技术的主要课题在于提供气体处理炉和使用气体处理炉的排出气体处理装置，其能继续保持具有以往的电热氧化分解式的气体处理炉的优点，而且还能实现小型化，能降低耗电量而实现能量的有效利用。
[0009]用于解决课题的方案
[0010]为了达成上述的目的，本专利技术例如像图1所示那样以如下方式构成气体处理炉。
[0011]即，气体处理炉由加热器主体12和管状的气体流通路14构成，加热器主体12在内部充填有电热体，气体流通路14贯通该加热器主体12。
[0012]本专利技术例如发挥以下作用。
[0013]由于气体处理炉由在内部充填有电热体的加热器主体12和贯通该加热器主体12的管状的气体流通路14构成，所以，若根据在气体流通路14中流动的热处理对象的气体的流量来设定气体流通路14的口径以及其长度，则能将电热体所产生的热彻底地充分提供给
在该气体流通路14中流动的气体。另外，由于并没有像以往的气体处理炉那样在炉内设置加热器主体，而是成为在加热器主体12内设有气体流通路14的形式，加热器主体12其自身作为“炉”发挥功能，所以，能显著地使气体处理炉整体的尺寸小型化。
[0014]本专利技术将上述(图1)的气体处理炉作为基础，例如可如图2～3所示那样构成。
[0015]即，气体处理炉具备：块状的加热器主体12，该加热器主体12在上下方向延伸，在内部充填有电热体；气体流通路14，该气体流通路14在上下贯通该加热器主体12的内部，在俯视时，多列气体流通路14在前后方向连续设置或者延伸设置并且在左右方向相互平行；以及头管箱16，该头管箱16安装在上述加热器主体12的上端部，经由在其内部形成的连通空间16a而将上述气体流通路14彼此相互连通。
[0016]本专利技术例如发挥以下作用。
[0017]上下贯通加热器主体12的内部的气体流通路14在俯视时在前后方向连续设置或者延伸设置，并且以在左右方向相互平行的方式设有多列，因而，能没有浪费地对在这样的多个气体流通路14中流动的处理对象气体分别充分提供电热体所产生的热。尤其是，在气体流通路14由俯视时呈正圆形状的细管形成的场合、形成为俯视时呈细长的狭缝状的场合，其作用更加显著。另外，由于并没有像以往的气体处理炉那样在炉内设置加热器主体，而是成为在加热器主体12内设有气体流通路14的形式，加热器主体12其自身作为“炉”发挥功能，所以，能显著地使气体处理炉整体的尺寸小型化。
[0018]在本专利技术中，优选的是，除了上述的各构成以外，设置用于将堆积在上述气体流通路14内的粉尘去除的粉尘去除机构18。
[0019]在该场合，能防止由处理对象的气体所携带的粉尘或因加热处理副生的粉尘闭塞气体流通路14，进行长时间的连续运转。
[0020]本专利技术的第2专利技术是排出气体处理装置，上述排出气体处理装置使用上述的气体处理炉，其特征在于，具备：上述任一项的气体处理炉；以及预先对向上述气体处理炉导入的处理对象的排出气体E进行液洗的入口洗涤器20和对由上述气体处理炉热分解的排出气体E进行冷却以及液洗的出口洗涤器22中的至少一方。
[0021]专利技术的效果
[0022]根据本专利技术，并不是像以往的电热氧化分解式的气体处理炉那样由加热器等加热机构来加热炉内，而是在加热机构其自身设有用于加热气体的气体流通路的形式，所以，能提供气体处理炉和使用气体处理炉的排出气体处理装置，其能继续保持具有以往的电热氧化分解式的气体处理炉的优点，而且还能实现小型化，能降低耗电量而实现能量的有效利用。
附图说明
[0023]图1是示出本专利技术的气体处理炉的最基本方式(第1实施方式)的概略构成的剖视图。
[0024]图2是示出本专利技术的第2实施方式的使用气体处理炉的排出气体处理装置的概略构成的说明图。
[0025]图3是图2中的X－X
’
线剖切端面图(省略内部结构)。
[0026]图4是本专利技术的其他实施方式(第3实施方式)的气体处理炉的水平方向剖切端面
图(省略内部结构)。
[0027]图5是本专利技术的其他实施方式(第4实施方式)的气体处理炉的水平方向剖切端面图(省略内部结构)。
具体实施方式
[0028]以下，参照附图对本专利技术的气体处理炉以及使用气体处理炉的排出气体处理装置的实施方式进行说明。
[0029]图1是示出本专利技术的气体处理炉10的最基本方式(第1实施方式)的概略构成的剖视图。如该图所示那样，本专利技术的气体处理炉10具备加热器主体12和贯通该加热器主体12的管状的气体流通路14。
[0030]加热器主体12例如由不锈钢或哈斯特洛伊(HASTELLOY)(HAYNES公司注册商标)这样的金属等高耐热材料、或者可铸材料等耐火物等构成，通过在以将气体流通路14的外周大体遍及其全长地围绕的方式形成的壳体的内部充填电热体来构成。作为该电热体，例如可列举由镍铬合金线、KANTHAL(SANDVIK AB公司注册商标)线等金属线构成的物品、或者碳化硅(SiC)、二硅化钼(MoSi2)、铬酸镧(LaCrO3)等陶瓷构成的物品等，作为气体处理炉10根据必要的温度(热量)等进行适当选择。
[0031]另外，虽未图示，但是，该加本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种气体处理炉，其特征在于，上述气体处理炉由加热器主体(12)和管状的气体流通路(14)构成，上述加热器主体(12)在内部充填有电热体，上述气体流通路(14)贯通该加热器主体(12)。2.一种气体处理炉，其特征在于，上述气体处理炉具备：块状的加热器主体(12)，该加热器主体(12)在上下方向延伸，在内部充填有电热体；气体流通路(14)，该气体流通路(14)在上下贯通上述加热器主体(12)的内部，在俯视时，多列上述气体流通路(14)在前后方向连续设置或者延伸设置并且在左右方向相互平行；以及头管箱(16)，该头管箱(16)安装在上述加热器主体(12)的上端部，经由在其内部形成的连通空间(16a)而将上述气体流通路(14)彼此相互连通。3.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：今村启志，
申请(专利权)人：北京康肯环保设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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