一种移动式无烟检修设备制造技术

技术编号:36348719 阅读:45 留言:0更新日期:2023-01-14 18:03
本申请涉及多晶硅生产技术领域,公开了一种移动式无烟检修设备,包括水箱、气瓶以及射流器,所述水箱的出液口通过出液管与射流器的进液口连接,出液管的管路上设置有离心泵,射流器的出液口与水箱的进气口连接,所述气瓶上分别设置有止回阀和吸气口,止回阀通过出气管与射流器连接,吸气口通过管路与待检修的设备连通,所述水箱上设置有与水箱连通的淋洗塔。本申请的无烟检修设备利用真空原理,将带硅烷的烟雾通过负压吸入烟道进入水箱中进行水解,并且配置小型淋洗塔将尾气进行淋洗,彻底去除氯硅烷,解决了多晶硅生产设备开环检修作业时,残余的氯硅烷气体对环境的污染和人员的伤害的问题。害的问题。害的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种移动式无烟检修设备


[0001]本申请涉及多晶硅生产
,具体涉及一种移动式无烟检修设备。

技术介绍

[0002]多晶硅生产过程中,许多生产设备内部都会存在硅烷气体,其中包含的氯硅烷对人体的眼部以及呼吸道黏膜有强烈的刺激作用。上述生产设备在开环检修作业时,包含有氯硅烷的硅烷气体一般直接弥漫在空气中,检修作业人员需要穿好防化服,戴防毒口罩或者正压式空气呼吸器的情况下进行检修,因此存在作业不便,造成检修效率低的问题。
[0003]目前,为了提高设备的检修效率,多晶硅生产企业一般通过氮气吹扫的方式将设备内部的硅烷气体吹散或者降低其浓度,然后人员再进行设备的开环检修作业,但是这种处理方式并不能将设备内的硅烷气体完全置换干净,仍然有一部分硅烷气体会残留在设备中。因此,在开环作业时,设备内未置换干净的硅烷气体不仅会损害现场工作人员的人身健康,同时还会对环境造成污染。

技术实现思路

[0004]为了解决上述现有技术中存在的问题和不足,本申请提出了一种移动式无烟检修设备,将带氯硅烷的烟雾利用负压吸入烟道进入水箱进行水解,并且配置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种移动式无烟检修设备,其特征在于,包括水箱(1)、气瓶(2)以及射流器(3),所述水箱(1)的出液口通过出液管(4)与射流器(3)的进液口连接,出液管(4)的管路上设置有离心泵(5),射流器(3)的出液口与水箱(1)的进气口连接,所述气瓶(2)上分别设置有止回阀(6)和吸气口(7),止回阀(6)通过出气管与射流器(3)连接,吸气口(7)通过管路与待检修的设备连通,所述水箱(1)上设置有与水箱(1)连通的淋洗塔(8)。2.根据权利要求1所述的一种移动式无烟检修设备,其特征在于,所述淋洗塔(8)包括塔体(81)以及设置在塔体(81)内部的喷淋管(82),塔体(81)的顶部设置有排气口,喷淋管(82)的进液口设置在水箱(1)内,并且位于液面以下,喷淋管(82)上设置有喷淋泵(83)。3.根据权利要求2所述的一种移动式无烟检修设备,其特征在于,所述喷淋管(82)包括喷淋竖管(821)以及喷淋横管(822),喷淋竖管(821)的进液口设置在液面以下,喷淋横管(822)设置在喷淋竖管(821)上,喷淋横管(822)上设置有喷头(823)。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:张俊蔡勇何鹏飞涂嵬韦鹤超蒲勇
申请(专利权)人:四川永祥新能源有限公司
类型:新型
国别省市:

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