测试数据的评估方法、系统、晶圆测试系统及存储介质技术方案

本申请实施例公开了一种测试数据的评估方法、系统、晶圆测试系统及存储介质，所述测试数据的评估方法包括：获取多个测试程序的测试数据；每个测试程序包括多个测试项目；对于每个所述测试程序，根据所述测试数据，计算每个所述测试项目的相关系数；根据不同测试程序中的各个所述测试项目之间的相关系数，对多个测试程序中每两个测试程序绘制差异分析图；其中，所述差异分析图的横轴和纵轴分别对应一个测试程序；根据所述差异分析图，评估各个所述测试项目在两个不同测试程序中的差异。测试项目在两个不同测试程序中的差异。测试项目在两个不同测试程序中的差异。

【技术实现步骤摘要】
测试数据的评估方法、系统、晶圆测试系统及存储介质


[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种测试数据的评估方法、系统、晶圆测试系统及存储介质。

技术介绍

[0002]当晶圆生产完成后，需要进行晶圆电性测试(Circuit Probing)，并生成大量的晶圆测试数据。在实际分析中，需要分析不同电性测试所获取的晶圆测试数据的相关情况，以此找出不同测试项目(test item)之间的关联性。在实际量产中，这些数据量是巨大的，其中包含的测试项目将会有上千项，且每一个测试项目将会有上百万的数据。
[0003]然而在生产过程中，测试程序(test program)常常需要进行更新和优化，因而对晶圆的测试数据进行相关性检测时，不同测试程序所带来的晶圆测试数据之间相关性异常更加难以检测。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请实施例为解决现有技术中存在的至少一个问题而提供一种测试数据的评估方法、系统、晶圆测试系统及存储介质。
[0005]为达到上述目的，本申请实施例的技术方案是这样实现的：
[0006]第一方面，本申请实施例提供一种测试数据的评估方法，所述方法包括：
[0007]获取多个测试程序的测试数据；每个测试程序包括多个测试项目；
[0008]对于每个所述测试程序，根据所述测试数据，计算每个所述测试项目的相关系数；
[0009]根据不同测试程序中的各个所述测试项目之间的相关系数，对多个测试程序中每两个测试程序绘制差异分析图；其中，所述差异分析图的横轴和纵轴分别对应一个测试程序；
[0010]根据所述差异分析图，评估各个所述测试项目在两个不同测试程序中的差异。
[0011]在一种可选的实施方式中，所述计算每个所述测试项目的相关系数之前，所述方法还包括：
[0012]根据每个所述测试项目在不同测试程序中的测试数据，对每个所述测试项目绘制箱线图；
[0013]对于每个所述测试项目，利用所述箱线图去除异常测试数据。
[0014]在一种可选的实施方式中，所述根据所述测试数据，计算每个所述测试项目的相关系数，包括：
[0015]根据去除异常测试数据后的测试数据，计算每个所述测试项目之间的相关系数。
[0016]在一种可选的实施方式中，每个测试程序包括相同的测试项目。
[0017]在一种可选的实施方式中，所述方法还包括：
[0018]通过所述箱线图，评估每个所述测试项目在不同测试程序中的差异。
[0019]在一种可选的实施方式中，所述评估每个所述测试项目在不同测试程序中的差
异，包括：
[0020]对于每个所述测试项目，若多个测试程序中的一个测试程序的中位数大于另一测试程序的上四分位数或小于另一测试程序的下四分位数，则评估得到该测试项目在不同测试程序中存在显著性差异。
[0021]在一种可选的实施方式中，所述计算每个所述测试项目的相关系数，包括：
[0022]利用皮尔逊相关系数计算公式计算每个所述测试项目之间的相关系数。
[0023]在一种可选的实施方式中，对于所述差异分析图的第一象限和第三象限，所述评估各个所述测试项目在两个不同测试程序中的差异，包括：
[0024]对于多个测试项目中每两个测试项目，若两个测试项目在一测试程序中的相关系数与这两个测试项目在另一测试程序的相关系数之间的差异值大于第一预设值，则评估得到所述两个测试项目在两个不同测试程序中存在显著性差异。
[0025]在一种可选的实施方式中，对于所述差异分析图的第二象限和第四象限，所述评估各个所述测试项目在两个不同测试程序中的差异，还包括：
[0026]对于多个测试项目中每两个测试项目，若两个测试项目在一测试程序中的相关系数与这两个测试项目在另一测试程序的相关系数构成的坐标点到所述差异分析图原点的距离大于第二预设值，则评估得到所述两个测试项目在两个不同测试程序中存在显著性差异。
[0027]在一种可选的实施方式中，所述第一预设值大于所述第二预设值。
[0028]在一种可选的实施方式中，所述获取多个测试程序的测试数据，包括：
[0029]根据设定参数确定与多个测试程序对应的目标产品；
[0030]在测试数据库中获取所述目标产品的预设测试类别的测试数据；
[0031]其中，所述预设测试类别包括多个测试类别，每个测试类别对应多个测试项目。
[0032]在一种可选的实施方式中，所述根据所述测试数据，计算每个所述测试项目的相关系数之前，所述方法还包括：
[0033]根据所述设定参数将所述预设测试类别的测试数据进行合并，生成合并数据表。
[0034]在一种可选的实施方式中，所述设定参数包括测试程序标识、产品标识、晶圆标识、晶粒标识和工艺步骤标识。
[0035]在一种可选的实施方式中，根据评估得到的各个所述测试项目在两个不同测试程序中的差异生成差异报告；
[0036]定时上传所述差异报告。
[0037]在一种可选的实施方式中，所述测试数据为晶圆电性测试阶段产生的测试数据。
[0038]第二方面，本申请实施例提供一种测试数据的评估系统，所述系统包括：
[0039]数据获取模块，用于获取多个测试程序的测试数据；每个测试程序包括多个测试项目；
[0040]计算模块，用于对于每个所述测试程序，根据所述测试数据，计算每个所述测试项目的相关系数；
[0041]第一绘制模块，用于根据不同测试程序中的各个所述测试项目之间的相关系数，对多个测试程序中每两个测试程序绘制差异分析图；其中，所述差异分析图的横轴和纵轴分别对应一个测试程序；
[0042]第一评估模块，用于根据所述差异分析图，评估各个所述测试项目在两个不同测试程序中的差异。
[0043]第三方面，本申请实施例提供一种晶圆测试系统，包括如第二方面所述的测试数据的评估系统。
[0044]第四方面，本申请实施例提供一种计算机可读存储介质，存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现第一方面任一项所述的测试数据的评估方法。
[0045]在本申请所提供的技术方案中，提供了一种测试数据的评估方法，该方法中根据不同测试程序中的各个测试项目之间的相关系数，对多个测试程序中每两个测试程序绘制差异分析图，并根据该差异分析图，评估各个所述测试项目在两个不同测试程序中的差异。由此，通过本申请提供的测试数据的评估方法，实现了各个测试项目在不同测试程序中的差异评估。根据该差异评估即可得到不同测试程序所带来的各个测试项目之间相关性差异异常。
附图说明
[0046]在附图中，除非另外规定，否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解，这些附图仅描绘了根据本申请公开的一些实施方式，而不应将其视为是对本申请范围的限制。
[0047]图1为本申请实施例提供的一种测试数据的评估本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试数据的评估方法，其特征在于，所述方法包括：获取多个测试程序的测试数据；每个测试程序包括多个测试项目；对于每个所述测试程序，根据所述测试数据，计算每个所述测试项目的相关系数；根据不同测试程序中的各个所述测试项目之间的相关系数，对多个测试程序中每两个测试程序绘制差异分析图；其中，所述差异分析图的横轴和纵轴分别对应一个测试程序；根据所述差异分析图，评估各个所述测试项目在两个不同测试程序中的差异。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计算每个所述测试项目的相关系数之前，所述方法还包括：根据每个所述测试项目在不同测试程序中的测试数据，对每个所述测试项目绘制箱线图；对于每个所述测试项目，利用所述箱线图去除异常测试数据。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述测试数据，计算每个所述测试项目的相关系数，包括：根据去除异常测试数据后的测试数据，计算每个所述测试项目之间的相关系数。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，每个测试程序包括相同的测试项目。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：通过所述箱线图，评估每个所述测试项目在不同测试程序中的差异。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述评估每个所述测试项目在不同测试程序中的差异，包括：对于每个所述测试项目，若多个测试程序中的一个测试程序的中位数大于另一测试程序的上四分位数或小于另一测试程序的下四分位数，则评估得到该测试项目在不同测试程序中存在显著性差异。7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计算每个所述测试项目的相关系数，包括：利用皮尔逊相关系数计算公式计算每个所述测试项目之间的相关系数。8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对于所述差异分析图的第一象限和第三象限，所述评估各个所述测试项目在两个不同测试程序中的差异，包括：对于多个测试项目中每两个测试项目，若两个测试项目在一测试程序中的相关系数与这两个测试项目在另一测试程序的相关系数之间的差异值大于第一预设值，则评估得到所述两个测试项目在两个不同测试程序中存在显著性差异。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，对于所述差异分析图的第二象限和第四象限，所述评估各个所述测试项目在两个不...

【专利技术属性】
技术研发人员：王世生，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：