一种基于ATE平台的芯片测试方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种基于ATE平台的芯片测试方法及装置，该方法包括：测试机获取测试数据，将测试数据上传到服务器；数据分析单元解析测试机上传的数据，得到并记录晶圆测试或者成品测试的测试结果；根据测试结果，计算每个测试项的优先级；根据每个测试项的优先级调整芯片测试的流程。本申请在不用删减测试项，也不用调整每个测试项的时间的前提下，降低了芯片测试的时间，提高了测试效率，同时保证了测试的准确性。准确性。准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种基于ATE平台的芯片测试方法及装置


[0001]本专利技术属于半导体检测
，具体而言，涉及一种基于ATE平台的芯片测试方法及装置。

技术介绍

[0002]自动测试机(ATE，Automatic Test Equipment)用于检测集成电路功能的完整性，为集成电路生产制造的最后流程，以确保集成电路生产制造的品质。
[0003]在半导体领域中，晶圆测试(Chip Probe)和成品测试(Final Test)是常见的测试要求，晶圆测试(CP)是以圆片为单位的，成品测试(FT)是以批为单位的，每批芯片数量从几千颗到几十万颗不等。测试效率的提升是一个很大方向，单位时间内测试的颗数越多，单位成本越低，效益更高，一颗芯片节省0.1S，在大量的芯片测试下来能起到不小的经济效益。半导体集成电路芯片的供应链中，现有的优化测试时间常用的方法是调整每个测试项的时间或者删减无用测试项，此方法存在一定的局限性。
[0004]Wafer的质量好坏除了芯片内部的电路结构的影响，还受到工艺的种类和水平影响，不同工艺制造出来的wafer也会有一定的差异，可能会影响到某些测试项的结果，不同的治具的工艺水平也会影响wafer的良率。FT是wafer封装出来的，不同的wafer会影响其良率，不同的封装工艺和水平也会影响其良率，且不同封装厂和不同的批次之间的良率也会有差异。若是采用传统的删减测试项和调整每个测试项的时间，不能很好的应对此类差异，调整不灵活，也会降低芯片测试的准确性。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供了一种基于ATE平台的芯片测试方法及装置，在不用删减测试项，也不用调整每个测试项的时间的前提下，实现了降低芯片测试时间的目的，提高了测试效率，同时保证了测试的准确性。
[0006]第一方面，本申请实施例提供了一种基于ATE平台的芯片测试方法，包括：
[0007]测试机获取测试数据，将测试数据上传到服务器；
[0008]数据分析单元解析测试机上传的数据，得到并记录晶圆测试或者成品测试的测试结果；
[0009]根据测试结果，计算每个测试项的优先级；
[0010]根据每个测试项的优先级调整芯片测试的流程。
[0011]其中，测试机获取测试数据，将测试数据上传到服务器，包括：
[0012]测试数据默认放在测试机的主机里，测试机本地有上传脚本，每隔固定的时间将测试数据上传到服务器。
[0013]其中，数据分析单元解析测试机上传的数据，得到并记录晶圆测试或者成品测试的测试结果，包括：
[0014]数据分析单元解析测试数据，解析的结果存放在固定的位置，解析的结果包括每
个测试项的良率和失效率、每个测试项的时间、总的测试时间、总的测试数量。
[0015]其中，根据测试结果，计算每个测试项的优先级，包括：
[0016]根据以下计算式计算每个测试项的优先级：
[0017]n＝TTi*M*Fi/Time；
[0018]其中，TTi为测试项i的测试时间，Fi为测试项i的失效率，M为总的测试数量，Time为总的测试时间。
[0019]其中，根据每个测试项的优先级调整芯片测试的流程，包括：
[0020]在芯片测试过程中，根据每个测试项的优先级的大小排序，先测试优先级大的测试项，后测试优先级小的测试项。
[0021]第二方面，本申请提供了一种基于ATE平台的芯片测试装置，包括：
[0022]获取单元，用于测试机获取测试数据，将测试数据上传到服务器；
[0023]解析单元，用于解析测试机上传的数据，得到并记录晶圆测试或者成品测试的测试结果；
[0024]计算单元，用于根据测试结果，计算每个测试项的优先级；
[0025]调整单元，用于根据每个测试项的优先级调整芯片测试的流程。
[0026]其中，解析单元用于：
[0027]解析测试数据，解析的结果存放在固定的位置，解析的结果包括每个测试项的良率和失效率、每个测试项的时间、总的测试时间、总的测试数量。
[0028]其中，计算单元用于：
[0029]根据以下计算式计算每个测试项的优先级：
[0030]n＝TTi*M*Fi/Time；
[0031]其中，TTi为测试项i的测试时间，Fi为测试项i的失效率，M为总的测试数量，Time为总的测试时间。
[0032]第三方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现上述任一项所述方法的步骤。
[0033]第四方面，一种芯片测试系统，包括上述任一项所述基于ATE平台的芯片测试装置。
[0034]本申请实施例基于ATE平台的芯片测试方法及装置具有如下有益效果：
[0035]本申请基于ATE平台的芯片测试方法包括：测试机获取测试数据，将测试数据上传到服务器；数据分析单元解析测试机上传的数据，得到并记录晶圆测试或者成品测试的测试结果；根据测试结果，计算每个测试项的优先级；根据每个测试项的优先级调整芯片测试的流程。本申请在不用删减测试项，也不用调整每个测试项的时间的前提下，降低了芯片测试的时间，提高了测试效率，同时保证了测试的准确性。
附图说明
[0036]图1为本申请实施例基于ATE平台的芯片测试方法流程示意图；
[0037]图2为本申请实施例基于ATE平台的芯片测试方法另一种流程示意图；
[0038]图3为初始测试顺序示意图；
[0039]图4为按照优先级进行排序之后的测试顺序；
[0040]图5为本申请实施例基于ATE平台的芯片测试装置的结构示意图。
具体实施方式
[0041]下面结合附图和实施例对本申请进行进一步的介绍。
[0042]在下述介绍中，术语“第一”、“第二”仅为用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。下述介绍提供了本专利技术的多个实施例，不同实施例之间可以替换或者合并组合，因此本申请也可认为包含所记载的相同和/或不同实施例的所有可能组合。因而，如果一个实施例包含特征A、B、C，另一个实施例包含特征B、D，那么本申请也应视为包括含有A、B、C、D的一个或多个所有其他可能的组合的实施例，尽管该实施例可能并未在以下内容中有明确的文字记载。
[0043]如图1
‑
2所示，本申请基于ATE平台的芯片测试方法包括：S101，测试机获取测试数据，将测试数据上传到服务器；S103，数据分析单元解析测试机上传的数据，得到并记录晶圆测试或者成品测试的测试结果；S105，根据测试结果，计算每个测试项的优先级；S107，根据每个测试项的优先级调整芯片测试的流程。下面介绍每一步骤。
[0044]S101，测试机获取测试数据，将测试数据上传到服务器，包括：测试数据默认放在测试机的主机里，测试机本地有上传脚本，每隔固定的时间将测试数据上传到服务器。
[0045]测试的数据会默认放在测试机的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于ATE平台的芯片测试方法，其特征在于，包括：测试机获取测试数据，将测试数据上传到服务器；数据分析单元解析测试机上传的数据，得到并记录晶圆测试或者成品测试的测试结果；根据测试结果，计算每个测试项的优先级；根据每个测试项的优先级调整芯片测试的流程。2.根据权利要求1所述基于ATE平台的芯片测试方法，其特征在于，测试机获取测试数据，将测试数据上传到服务器，包括：测试数据默认放在测试机的主机里，测试机本地有上传脚本，每隔固定的时间将测试数据上传到服务器。3.根据权利要求2所述基于ATE平台的芯片测试方法，其特征在于，数据分析单元解析测试机上传的数据，得到并记录晶圆测试或者成品测试的测试结果，包括：数据分析单元解析测试数据，解析的结果存放在固定的位置，解析的结果包括每个测试项的良率和失效率、每个测试项的时间、总的测试时间、总的测试数量。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述基于ATE平台的芯片测试方法，其特征在于，根据测试结果，计算每个测试项的优先级，包括：根据以下计算式计算每个测试项的优先级：n＝TTi*M*Fi/Time；其中，TTi为测试项i的测试时间，Fi为测试项i的失效率，M为总的测试数量，Time为总的测试时间。5.根据权利要求1
‑
3任一项所述基于ATE平台的芯片测试方法，其特征在于，根据每个测试项的优先级...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏广峰，姜有伟，王伟，黄超，
申请(专利权)人：安测半导体技术义乌有限公司，
类型：发明
国别省市：