【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电容式硅基微麦克风,其特征在于包含有:一背板晶片,是具有相对的一第一面与一第二面,其中该第一面是设有至少一音孔,以及一与该音孔电气连接的第一电极,而该第二面则开设有一连通该音孔的共振槽;以及一振动晶片,是设有一基座,一覆盖于该基座表面的振动膜,以及一与该振动膜电气连接的第二电极,此外,该基座更开设有一连通该振动膜与外界的音源槽;其中:该二晶片是以该第一面对应于该振动膜的方式进行接合,并使该第一电极与该第二电极完成电气连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李志成,邢泰刚,魏文杰,何鸿钧,邱瑞易,
申请(专利权)人:美律实业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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