透明导电性薄膜制造技术

本发明专利技术提供一种在触摸面板中使用时的笔滑动耐久性、笔重加压耐久性、高精细性优异的透明导电性薄膜。透明导电性薄膜，在透明塑料薄膜基材上的一个面上层叠有铟

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】透明导电性薄膜


[0001]本专利技术涉及在透明塑料薄膜基材上层叠有结晶性的铟
‑
锡复合氧化物的透明导电膜的透明导电性薄膜，特别是涉及用于电阻膜式触摸面板时的笔滑动耐久性、笔重加压耐久性、高精细性优异的透明导电性薄膜。

技术介绍

[0002]在透明塑料基材上层叠透明且电阻小的薄膜而成的透明导电性薄膜，作为利用其导电性的用途例如液晶显示器、电致发光(EL)显示器等那样的平板显示器、触摸面板的透明电极等，广泛用于电气/电子领域的用途。
[0003]电阻膜式触摸面板是将在玻璃、塑料的基板上涂敷了透明导电性薄膜的固定电极、和在塑料薄膜上涂敷了透明导电性薄膜的可动电极(＝薄膜电极)组合而成的触摸面板，重叠在显示体的上侧来使用。用手指、笔按压薄膜电极，使固定电极与薄膜电极的透明导电性薄膜彼此接触，成为用于触摸面板的位置识别的输入。与手指相比，笔对触摸面板施加的力大多较强。如果用笔持续对触摸面板进行输入，则有时会在薄膜电极侧的透明导电性薄膜上产生裂缝、剥离、磨损等破坏。此外，若用笔剧烈地敲击触摸面板或以非常强的力进行笔输入等，将通常使用假定以上的强的力施加于触摸面板，则有时会在透明导电性薄膜上产生裂缝、剥离等破坏。为了解决这些课题，期望兼具优异的笔滑动耐久性和优异的笔重加压耐久性的透明导电性薄膜。进而，对于触摸面板的影像也要求高精细。
[0004]作为提高笔滑动耐久性的手段，有使薄膜电极侧的透明导电性薄膜成为结晶性的方法(例如，参照专利文献1)。然而，以往的透明导电性薄膜通过控制铟
‑r/>锡复合氧化物的结晶性而实现笔滑动耐久性优异的透明导电性薄膜。但是，以往的透明导电性薄膜若实施后述的笔重加压耐久性试验，则不充分。
[0005]在先技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2004
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071171号公报

技术实现思路

[0008]‑
专利技术所要解决的课题
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[0009]本专利技术的目的在于，鉴于上述以往的问题点，提供一种使用于触摸面板时的笔滑动耐久性优异并且笔重加压耐久性也优异、进而能提供高精细的影像的透明导电性薄膜。
[0010]‑
用于解决课题的手段
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[0011]本专利技术是鉴于上述那样的状况而完成的，能够解决上述课题的本专利技术的透明导电性薄膜由以下的结构构成。
[0012]1.一种透明导电性薄膜，在透明塑料薄膜基材上的一个面上层叠有铟
‑
锡复合氧化物的透明导电膜，通过以下的笔滑动耐久性试验得到的透明导电性薄膜的透明导电膜的导通电阻为10kΩ以下，进一步通过以下的笔重加压试验得到的透明导电性薄膜的透明导
电膜的表面电阻值的增加率为1.5以下，并且在梳宽0.125mm、0.25mm、0.5mm、1.0mm、2.0mm下的透明导电性薄膜的透射像鲜明度的总和为250％以上且小于500％。
[0013](笔滑动耐久性试验方法)
[0014]将所述透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一个面板，使用包含在玻璃基板上通过溅射法形成且厚度为20nm的铟
‑
锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜。隔着直径30μm的环氧珠配置上述2个面板，以使得透明导电性薄膜对置，用厚度为170μm的双面胶带粘贴薄膜侧的面板和玻璃侧的面板，制作触摸面板。接下来，对聚缩醛制的笔(前端的形状：0.8mmR)施加2.5N的载荷，在触摸面板上进行18万往复的直线滑动试验。在该试验中，对所述透明导电性薄膜面施加笔的载荷。
[0015]此时的滑动距离为30mm，滑动速度为180mm/秒。在该滑动耐久性试验后，测定以笔载荷0.8N按压滑动部时的导通电阻(可动电极(薄膜电极)与固定电极接触时的电阻值)。
[0016](笔重加压试验方法)
[0017]将切割成50mm
×
50mm的所述透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一个面板，使用包含在玻璃基板上通过溅射法形成且厚度为20nm的铟
‑
锡复合氧化物薄膜(氧化锡含量：10质量％)的透明导电性薄膜。隔着直径30μm的环氧珠配置上述2个面板，以使得透明导电性薄膜对置，利用已调整成厚度为120μm的双面胶带将薄膜侧的面板与玻璃侧的面板粘贴，制作出触摸面板。利用聚缩醛制的笔(前端的形状0.8mmR)对距双面胶带的端部为2.0mm的位置施加35N的载荷，与双面胶带平行地实施10次(往复5次)的直线滑动。在该试验中，对所述透明导电性薄膜面施加笔的载荷。此时的滑动距离为30mm，滑动速度为20mm/秒。在没有环氧珠的位置进行滑动。滑动后，取下透明导电性薄膜，测定滑动部的任意5处的表面电阻(4端子法)，求出平均值。在测定表面电阻时，在与滑动部垂直的方向上排列4端子，使得滑动部出现在第二端子与第三端子之间。将滑动部的表面电阻值的平均值除以未滑动部的表面电阻值(用4端子法测定)，计算表面电阻值的增加率。
[0018]2.根据上述1所述的透明导电性薄膜，其中，
[0019]铟
‑
锡复合氧化物的透明导电膜的晶体粒径为10～100nm，铟
‑
锡复合氧化物的透明导电膜的晶化度为20～80％，铟
‑
锡复合氧化物的透明导电膜含有0.5～10质量％的氧化锡，铟
‑
锡复合氧化物的透明导电膜的厚度为10～30nm，将铟
‑
锡复合氧化物的透明导电性薄膜的三维表面粗糙度SRa设为X时，X为1～100nm，进而将透明塑料薄膜基材上的与透明导电膜侧相反的面的三维表面粗糙度SRa设为Y时，(X3+Y3)
1/3
为140nm以下。
[0020]3.根据上述1或2所述的透明导电性薄膜，其中，
[0021]即使在透明导电膜的表面实施附着性试验(JIS K5600
‑5‑
6：1999)，透明导电膜也不剥离，在透明导电性薄膜的铟
‑
锡复合氧化物的透明导电膜侧进行耐弯曲性试验(JIS K5600
‑5‑
1：1999)并用10倍放大镜观察弯曲部时产生破裂或剥离的心轴直径小于20mm。
[0022]4.根据上述1～3中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，
[0023]透明导电性薄膜的厚度为100～250μm。
[0024]5.根据上述1～4中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，
[0025]在铟
‑
锡复合氧化物的透明导电膜与透明塑料薄膜基材之间具有固化型树脂层。
[0026]‑
专利技术效果
‑
[0027]根据本专利技术，能够提供兼具优异的笔滑动耐久性以及优异的笔重加压耐久性、进
而能提供高精细的影像的透明导电性薄膜。所得到的透明导电性薄膜对于电阻膜式触摸面板等用途极其有用。
附图说明
[0028]图1是表示本专利技术中的晶体粒的最本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种透明导电性薄膜，在透明塑料薄膜基材上的一个面层叠有铟
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锡复合氧化物的透明导电膜，通过以下的笔滑动耐久性试验得到的透明导电性薄膜的透明导电膜的导通电阻为10kΩ以下，通过以下的笔重加压试验得到的透明导电性薄膜的透明导电膜的表面电阻值的增加率为1.5以下，并且梳宽0.125mm、0.25mm、0.5mm、1.0mm、2.0mm下的透明导电性薄膜的透射像鲜明度的总和为250％以上且小于500％，在笔滑动耐久性试验方法中，将所述透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一个面板，使用包含铟
‑
锡复合氧化物薄膜的透明导电性薄膜，该铟
‑
锡复合氧化物薄膜是在玻璃基板上通过溅射法形成的，且厚度为20nm，其中氧化锡含量为10质量％，隔着直径30μm的环氧珠配置2个所述面板，以使得透明导电性薄膜对置，用厚度为170μm的双面胶带粘贴薄膜侧的面板和玻璃侧的面板，来制作触摸面板，接下来，对聚缩醛制的笔施加2.5N的载荷，在触摸面板进行18万往复的直线滑动试验，其中该笔的前端的形状为0.8mmR，在该试验中，对所述透明导电性薄膜面施加笔的载荷，此时的滑动距离为30mm，滑动速度为180mm/秒，在该滑动耐久性试验后，测定以笔载荷0.8N按压滑动部时的导通电阻，该导通电阻是作为薄膜电极的可动电极与固定电极接触时的电阻值，在笔重加压试验方法中，将切割成50mm
×
50mm的所述透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一个面板，使用包含铟
‑
锡复合氧化物薄膜的透明导电性薄膜，该铟
‑
锡复合氧化物薄膜是在玻璃基板上通过溅射法形成的，且厚度为20nm，其中氧化锡含量为10质量％，隔着直径30μm的环氧珠配置2个所述面板，以使得透明导电性薄膜对置，利用已调整成厚度为120μm的双面胶带将薄膜侧的面板与玻璃侧的面板粘贴，制作出触摸面板，利用聚缩醛制的笔对距双面胶带的端部为2.0mm的位置施加35N的载荷，与双面胶带平行地实施10...

【专利技术属性】
技术研发人员：多多见央，
申请(专利权)人：东洋纺株式会社，
类型：发明
国别省市：