一种自动化晶圆传输系统技术方案

本实用新型专利技术涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种自动化晶圆传输系统，包括传输座、上料机构以及下料机构；所述传输座设有移动座以及传输组件；所述移动座设有取料板以及取料驱动件；所述上料机构包括上料座；所述上料座设有上料放置板；所述下料机构包括下料座；所述下料座设有下料放置板；所述晶圆传输系统还包括若干个定位支撑组件；所述定位支撑组件包括左夹板、右夹板以及夹持驱动组件；所述传输组件用于驱动移动座在上料放置板、左夹板与右夹板之间以及下料放置板移动。本实用新型专利技术通设置传输座、上料机构、下料机构以及定位支撑组件，能够驱动晶圆在上料机构、多个工位以及下料机构之间实现自动化传输，提高了工作效率，并且能够节省成本。够节省成本。够节省成本。

【技术实现步骤摘要】
一种自动化晶圆传输系统


[0001]本技术涉及晶圆生产
，具体涉及一种自动化晶圆传输系统。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。
[0003]在晶圆的生产过程中，需要在多个设备工位中进行加工，例如裂片机、划片机、探针检测机等等，故需要将晶圆在多个设备工位中进行传输。
[0004]目前晶圆在多个设备工位中进行传输的方式主要有两种：第一种是通过人工的方式，将晶圆在多个设备工位中进行转移，但是该方式需要人力不断地进行工作，存在浪费人力成本以及工作效率低下的问题；第二种是通过在相邻的两个设备工位中设置机械手，但是该方式需要多个机械手，大大地增加了成本。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种自动化晶圆传输系统，实现多个工位之间的自动化传输。
[0006]本技术的目的通过以下技术方案实现：一种自动化晶圆传输系统，包括传输座、上料机构以及下料机构；所述上料机构以及下料机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动化晶圆传输系统，其特征在于：包括传输座(1)、上料机构以及下料机构；所述上料机构以及下料机构分别设于传输座(1)的两侧；所述传输座(1)设有移动座(2)以及用于驱动移动座(2)移动的传输组件；所述移动座(2)设有取料板(22)以及用于驱动取料板(22)升降的取料驱动件；所述上料机构包括上料座(3)；所述上料座(3)设有多个上料放置板(31)；所述下料机构包括下料座(4)；所述下料座(4)设有多个下料放置板(41)；所述晶圆传输系统还包括若干个定位支撑组件；所述定位支撑组件包括左夹板(51)、右夹板(52)以及用于驱动左夹板(51)与右夹板(52)靠近或者远离的夹持驱动组件；所述传输组件用于驱动移动座(2)在上料放置板(31)、左夹板(51)与右夹板(52)之间以及下料放置板(41)移动。2.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆传输系统，其特征在于：所述传输组件包括设于传输座(1)一侧的第一同步轮(11)、设于传输座(1)另一侧的第二同步轮(12)、设于第一同步轮(11)与第二同步轮(12)之间的同步带(13)以及用于驱动第二同步轮(12)转动的步进电机(14)；所述移动座(2)设有与同步带(13)连接的连接块(21)。3.根据权利要求2所述的一种自动化晶圆传输系统，其特征在于：所述传输组件还包括设于传输座(1)的导向轨道(15)以及与导向轨道(15)滑动连接的导向滑块(16)；所述导向滑块(16)设于移动座(2)。4.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆传输系统，其特征在于：所述取料驱动件包括设于移动座(2)的电缸(23)；所述电缸(23)的输出端与取料板(22)连接；所述取料驱动件还包括设于移动座(2)的导向套(24)以及滑动设于导向套(24)...

【专利技术属性】
技术研发人员：令龙军，钟国华，周军，李雄，廖大军，
申请(专利权)人：纳美半导体设备东莞有限公司，
类型：新型
国别省市：