一种带有暂存功能的晶圆传输系统技术方案

本发明专利技术涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种带有暂存功能的晶圆传输系统，包括传输座、上料机构、下料机构以及若干个暂存台；所述传输座设有移动座以及传输组件；所述移动座设有取料板以及取料驱动件；所述上料机构包括上料座以及上料放置板；所述下料机构包括下料座、下料放置板；还包括定位支撑组件。本发明专利技术通设置传输座、上料机构、下料机构以及定位支撑组件，能够驱动晶圆在上料机构、多个工位、暂存台以及下料机构之间实现自动化传输，提高了工作效率，并且能够节省成本；同时通过在相邻两个工位之间设置暂存台，能够将不良品进行区分放置；同时能够在下一个设备工位忙于作业的时候，将晶圆放置在暂存台上进行暂存。将晶圆放置在暂存台上进行暂存。将晶圆放置在暂存台上进行暂存。

【技术实现步骤摘要】
一种带有暂存功能的晶圆传输系统


[0001]本专利技术涉及晶圆生产
，具体涉及一种带有暂存功能的晶圆传输系统。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。
[0003]在晶圆的生产过程中，需要在多个设备工位中进行加工，例如裂片机、划片机、探针检测机等等，故需要将晶圆在多个设备工位中进行传输。
[0004]目前晶圆在多个设备工位中进行传输的方式主要有两种：第一种是通过人工的方式，将晶圆在多个设备工位中进行转移，但是该方式需要人力不断地进行工作，存在浪费人力成本以及工作效率低下的问题；第二种是通过在相邻的两个设备工位中设置机械手，但是该方式需要多个机械手，大大地增加了成本。
[0005]除此以外，在晶圆的生产过程中，若其中一个环节出现问题的时候，需要及时地对不良品进行下料操作，或者在下一个设备工位忙于作业的时候，需要停止上一个设备工位的晶圆传输。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种带有暂存功能的晶圆传输系统，实现多个工位之间的自动化传输，并且具有暂存的功能。
[0007]本专利技术的目的通过以下技术方案实现：一种带有暂存功能的晶圆传输系统，包括传输座、上料机构、下料机构以及若干个暂存台；所述上料机构以及下料机构分别设于传输座的两侧；所述暂存台设于相邻两个工位之间；所述传输座设有移动座以及用于驱动移动座移动的传输组件；所述移动座设有取料板以及用于驱动取料板升降的取料驱动件；所述上料机构包括上料座；所述上料座设有多个上料放置板；所述下料机构包括下料座；所述下料座设有多个下料放置板；带有暂存功能的晶圆传输系统还包括若干个定位支撑组件；所述定位支撑组件设于每个暂存台以及每个工位；所述定位支撑组件包括左夹板、右夹板以及用于驱动左夹板与右夹板靠近或者远离的夹持驱动组件；所述传输组件用于驱动移动座在上料放置板、左夹板与右夹板之间以及下料放置板移动。
[0008]本专利技术进一步设置为，所述暂存台设有让位通道；所述传输座穿设于让位通道；所述暂存台在左夹板与右夹板之间设有与让位通道连通的送料开槽。
[0009]本专利技术进一步设置为，所述传输组件包括设于传输座一侧的第一同步轮、设于传输座另一侧的第二同步轮、设于第一同步轮与第二同步轮之间的同步带以及用于驱动第二同步轮转动的步进电机；所述移动座设有与同步带连接的连接块；
所述传输组件还包括设于传输座的导向轨道以及与导向轨道滑动连接的导向滑块；所述导向滑块设于移动座。
[0010]本专利技术进一步设置为，所述取料驱动件包括设于移动座的电缸；所述电缸的输出端与取料板连接；所述取料驱动件还包括设于移动座的导向套以及滑动设于导向套内的滑动柱；所述滑动柱与取料板连接。
[0011]本专利技术进一步设置为，所述取料板的顶部设有第一固定块；所述取料板设于移动座的顶部；所述电缸设于移动座的底部。
[0012]本专利技术进一步设置为，所述上料座升降设有上料升降板；所述上料座设有用于驱动上料升降板升降的上料升降件；多个上料放置板沿上料升降板高度方向间隔设置；所述上料升降板的一侧设有上料开口。
[0013]本专利技术进一步设置为，所述下料座升降设有下料升降板；所述下料座设有用于驱动下料升降板升降的下料升降件；多个下料放置板沿下料升降板高度方向间隔设置；所述下料升降板的一侧设有下料开口。
[0014]本专利技术进一步设置为，所述上料放置板的顶部以及下料放置板的顶部均设有第二固定块。
[0015]本专利技术进一步设置为，所述夹持驱动组件包括左气缸以及右气缸；所述左气缸的输出端与左夹板连接；所述右气缸的输出端与右夹板连接；所述夹持驱动组件还包括夹持滑轨；所述左夹板的底部以及右夹板的底部均设有与夹持滑轨滑动连接的夹持滑块。
[0016]本专利技术进一步设置为，所述左夹板的顶部以及右夹板的顶部均设有第三固定块。
[0017]本专利技术的有益效果：本专利技术通设置传输座、上料机构、下料机构以及定位支撑组件，能够驱动晶圆在上料机构、多个工位、暂存台以及下料机构之间实现自动化传输，提高了工作效率，并且能够节省成本；同时通过在相邻两个工位之间设置暂存台，能够将不良品进行区分放置；同时能够在下一个设备工位忙于作业的时候，将晶圆放置在暂存台上进行暂存。
附图说明
[0018]利用附图对专利技术作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本专利技术的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。
[0019]图1是本专利技术与设备工位配合的结构示意图；图2是图1中A部位的局部放大图；图3是本专利技术隐藏暂存台后的结构示意图；图4是图3中B部位的局部放大图；图5是本专利技术上料机构的结构示意图；图6是本专利技术下料机构的结构示意图；图7是晶圆的结构示意图；图8是本专利技术暂存台的结构示意图；
其中：1、传输座；11、第一同步轮；12、第二同步轮；13、同步带；14、步进电机；15、导向轨道；16、导向滑块；2、移动座；21、连接块；22、取料板；23、电缸；24、导向套；25、滑动柱；26、第一固定块；3、上料座；31、上料放置板；32、上料升降板；33、上料升降件；34、上料开口；4、下料座；41、下料放置板；42、下料升降板；43、下料升降件；44、下料开口；45、第二固定块；5、工位；51、左夹板；52、右夹板；53、左气缸；54、右气缸；55、夹持滑轨；56、夹持滑块；57、第三固定块；61、晶圆座；62、晶圆片；63、第一固定孔；64、第二固定孔；7、暂存台；71、让位通道；72、送料开槽。
具体实施方式
[0020]结合以下实施例对本专利技术作进一步描述。
[0021]由图1至图8可知，本实施例所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，包括传输座1、上料机构、下料机构以及若干个暂存台7；所述上料机构以及下料机构分别设于传输座1的两侧；所述暂存台7设于相邻两个工位5之间；所述传输座1设有移动座2以及用于驱动移动座2移动的传输组件；所述移动座2设有取料板22以及用于驱动取料板22升降的取料驱动件；所述上料机构包括上料座3；所述上料座3设有多个上料放置板31；所述下料机构包括下料座4；所述下料座4设有多个下料放置板41；带有暂存功能的晶圆传输系统还包括若干个定位支撑组件；所述定位支撑组件设于每个暂存台7以及每个工位5；所述定位支撑组件包括左夹板51、右夹板52以及用于驱动左夹板51与右夹板52靠近或者远离的夹持驱动组件；所述传输组件用于驱动移动座2在上料放置板31、左夹板51与右夹板52之间以及下料放置板41移动。
[0022]具体地，本实施例所述的带有暂存功能的晶圆传输系统，将传输座1设置在多个工位5之间，并且在每个工位5上均设置定位支撑组件，同时在相邻的两个工位5之间设置暂存台7，并且在每个暂存台7均设置定位支撑组件；其晶圆包括晶圆座61以及设于晶圆座61本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：包括传输座(1)、上料机构、下料机构以及若干个暂存台(7)；所述上料机构以及下料机构分别设于传输座(1)的两侧；所述暂存台(7)设于相邻两个工位(5)之间；所述传输座(1)设有移动座(2)以及用于驱动移动座(2)移动的传输组件；所述移动座(2)设有取料板(22)以及用于驱动取料板(22)升降的取料驱动件；所述上料机构包括上料座(3)；所述上料座(3)设有多个上料放置板(31)；所述下料机构包括下料座(4)；所述下料座(4)设有多个下料放置板(41)；带有暂存功能的晶圆传输系统还包括若干个定位支撑组件；所述定位支撑组件设于每个暂存台(7)以及每个工位(5)；所述定位支撑组件包括左夹板(51)、右夹板(52)以及用于驱动左夹板(51)与右夹板(52)靠近或者远离的夹持驱动组件；所述传输组件用于驱动移动座(2)在上料放置板(31)、左夹板(51)与右夹板(52)之间以及下料放置板(41)移动。2.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述暂存台(7)设有让位通道(71)；所述传输座(1)穿设于让位通道(71)；所述暂存台(7)在左夹板(51)与右夹板(52)之间设有与让位通道(71)连通的送料开槽(72)。3.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述传输组件包括设于传输座(1)一侧的第一同步轮(11)、设于传输座(1)另一侧的第二同步轮(12)、设于第一同步轮(11)与第二同步轮(12)之间的同步带(13)以及用于驱动第二同步轮(12)转动的步进电机(14)；所述移动座(2)设有与同步带(13)连接的连接块(21)；所述传输组件还包括设于传输座(1)的导向轨道(15)以及与导向轨道(15)滑动连接的导向滑块(16)；所述导向滑块(16)设于移动座(2)。4.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述取料驱动件包括设于移动座...

【专利技术属性】
技术研发人员：令龙军，钟国华，周军，李雄，廖大军，
申请(专利权)人：纳美半导体设备东莞有限公司，
类型：发明
国别省市：