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本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种自动化晶圆传输系统，包括传输座、上料机构以及下料机构；所述传输座设有移动座以及传输组件；所述移动座设有取料板以及取料驱动件；所述上料机构包括上料座；所述上料座设有上料放置板；所述下料机构包括下料座...
该专利属于纳美半导体设备（东莞）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纳美半导体设备（东莞）有限公司授权不得商用。

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